衬底和发光二极管的制作方法

本公开涉及光电子制造，特别涉及一种衬底和发光二极管。

背景技术：

1、发光二极管(英文：light emitting diode，简称：led)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。led的核心结构是外延片，外延片的制作对led的光电特性有着较大的影响。

2、相关技术中，gan基led通常采用蓝宝石衬底作为生长外延层的基底。蓝宝石衬底通常是图形化衬底，图形化衬底会采用刻蚀的方式，在用于生长外延层的表面形成具有周期性的图形结构，这些图形结构有利于提升后续生长的外延层的晶体质量。

3、生长外延层的过程中，由于蓝宝石衬底的边缘区域温度要低于中央区域的温度，因而蓝宝石衬底的边缘区域的生长外延层的难度更大。并且，对于图形化衬底，其上的图形结构通常在5μm左右，尺寸较大的图形结构也会进一步增大外延生长难度，因此，就会导致蓝宝石衬底上不同区域的外延生长速率不同的问题，进而导致后续生长的外延层的厚度均匀性较差。

技术实现思路

1、本公开实施例提供了一种衬底和发光二极管，能改善蓝宝石衬底上不同区域生长的外延层厚度均匀性较差的问题。所述技术方案如下：

2、本公开实施例提供了一种衬底，所述衬底包括基底和位于所述基底的表面的多个凸起，所述多个凸起间隔排布；所述凸起的高度为0.75μm至1.05μm，所述凸起的最大宽度为1.60μm至2.05μm，相邻两个所述凸起的间距为0.10μm至0.30μm。

3、在本公开实施例的一种实现方式中，所述凸起的最大宽度与所述凸起的高度的比值为1.52至2.70。

4、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述凸起的最大宽度与所述凸起的间距的比值为5.30至20.5。

5、在本公开实施例的另一种实现方式中，各所述凸起的最大宽度均相同，各所述凸起的高度均相同；或者，各所述凸起的最大宽度不同，且各所述凸起的高度不同。

6、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述基底的表面具有多个平行间隔的图形组，每个所述图形组均包括沿同一直线间隔排布的多个所述凸起；任意相邻的两个所述图形组中，第一个所述图形组的相邻两个所述凸起为第一凸起，第二个所述图形组中距两个所述第一凸起最近的凸起为第二凸起，两个所述第一凸起的中心和所述第二凸起的中心的连线为等边三角形。

7、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述凸起在平行于所述基底的表面的方向上的宽度，沿远离所述基底的方向逐渐减小。

8、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述凸起的远离所述基底的端面具有凹槽。

9、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述凸起的远离所述基底的端面为平面，且所述平面与所述基底的表面平行；或者，所述凸起的远离所述基底的一端呈点状。

10、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述凸起的横截面的形状为圆形、椭圆形和多边形中的一种，所述凸起的横截面平行于所述基底的表面。

11、本公开实施例提供了一种发光二极管，所述发光二极管包括如前文所述的衬底和位于所述衬底上的外延层。

12、本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

13、本公开实施例提供的衬底包括基底和位于基底上的凸起，其中，凸起的高度为0.75μm至1.05μm，凸起的最大宽度为1.60μm至2.05μm，相邻两个凸起的间距为0.10μm至0.30μm。相比于相关技术中在图形化衬底的表面设计大尺寸的凸起，这样将凸起的宽度和高度控制在一定范围内，有效缩减了凸起的尺寸。并且，控制相邻的两个凸起之间的间距在合理的范围内，使得凸起之间分布更加合理，凸起分布不会过于紧凑，而使得衬底的表面在单位面积内的起伏变化较大。这样衬底从整体上看趋近于平片，相较于相关技术中的图形化衬底，呈平片状态的衬底更加平整，因此更有利于在衬底的表面上生长外延层，能有效提升衬底的边缘区域的外延生长速率，使衬底的边缘区域和中央区域的外延生长速率趋于一致，从而提升后续生长的外延层的厚度的均匀性。

技术特征：

1.一种衬底，其特征在于，所述衬底包括基底(11)和位于所述基底(11)的表面的多个凸起(12)，所述多个凸起(12)间隔排布；

2.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的高度的比值为1.52至2.70。

3.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的间距的比值为5.30至20.5。

4.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，各所述凸起(12)的最大宽度均相同，各所述凸起(12)的高度均相同；或者，各所述凸起(12)的最大宽度不同，且各所述凸起(12)的高度不同。

5.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，所述基底(11)的表面具有多个平行间隔的图形组，每个所述图形组均包括沿同一直线间隔排布的多个所述凸起(12)；

6.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)在平行于所述基底(11)的表面的方向上的宽度，沿远离所述基底(11)的方向逐渐减小。

7.根据权利要求6所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的远离所述基底(11)的端面具有凹槽(20)。

8.根据权利要求6所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的远离所述基底(11)的端面为平面，且所述平面与所述基底(11)的表面平行；或者，所述凸起(12)的远离所述基底(11)的一端呈点状。

9.根据权利要求6所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的横截面的形状为圆形、椭圆形和多边形中的一种，所述凸起(12)的横截面平行于所述基底(11)的表面。

10.一种发光二极管，其特征在于，所述发光二极管包括如权利要求1至9任一项所述的衬底和位于所述衬底上的外延层。

技术总结本公开提供了一种衬底和发光二极管，属于光电子制造技术领域。该衬底包括基底和位于所述基底的表面的多个凸起，所述多个凸起间隔排布；所述凸起的高度为0.75μm至1.05μm，所述凸起的最大宽度为1.60μm至2.05μm，相邻两个所述凸起的间距为0.10μm至0.30μm。本公开能改善蓝宝石衬底上不同区域生长的外延层厚度均匀性较差的问题。技术研发人员：陈张笑雄,朱宸綦,龚逸品受保护的技术使用者：京东方华灿光电（苏州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29