集成排气管道和衬底处理设备的制作方法

本公开涉及其中连接多个排气管道的集成排气管道以及包括该集成排气管道的衬底处理设备。

背景技术：

1、为了制造半导体器件或液晶显示器，可以在衬底上执行各种处理，诸如光刻、蚀刻、灰化、离子注入和薄膜沉积。在执行这样的处理之前或之后，执行清洁和干燥衬底的处理以去除在每个处理中产生的污染物和粒子。

2、在对衬底执行处理的处理室中，排气管线被配置为形成内部空气。在该处理期间在处理室内部产生的烟雾通过排气管线被排放到处理室的外部。

3、同时，当处理室的排气管线连接到排气管道时，形成在多个处理室中的多个排气管线连接至多个排气管道，在这种情况下，多个排气管道通过集成排气管道进行连接，然后进行排气。

4、然而，可能存在这样的限制，即气体粒子可能在集成排气管道内彼此碰撞，或与管道的内部结构碰撞，从而导致涡流的发生，这会增加排气压力损失。

5、[现有技术参考文献]

6、[专利文献]

7、(专利文献1)公开号为10-2022-0026115的韩国专利

技术实现思路

1、本公开被配置为解决上述问题，并且本公开的一方旨在提供一种能够最小化排气压力损失的集成排气管道和衬底处理设备。

2、根据本公开的一方面，集成排气管道可以包括：集成管道主体，所述集成管道主体具有多个排气区域和与所述多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，所述孔分隔壁设置在所述排气孔的内部以划分所述排气孔，使得所述多个排气区域被阻止由于穿过所述排气孔而彼此连通。

3、所述排气区域可以包括与多个排气管道连接的多个管道连接部分，以及从所述多个管道连接部分到所述排气孔所形成的公共排气路径，以及在所述公共排气路径中，可以设置有排气路径分隔壁，使得从所述多个管道连接部分到所述排气孔形成有多个单独的排气路径。

4、根据一实施例，所述多个管道连接部分中的每个的出口可以被形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及所述单独的排气路径可以从所述管道连接部分到所述排气孔被划分为多个部分，其中所述多个部分中的每个可以笔直地延伸，并且所述管道连接部分和所述单独的排气路径之间的连接部分以及所述多个部分之间的连接部分中的每个可以是弯曲的，并且弯曲的连接部分的间隙角可以被形成为钝角。

5、根据另一实施例，所述多个管道连接部分中的每个的出口可以被形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及所述单独的排气路径可以从所述多个管道连接部分到所述排气孔是弯曲的。

6、所述排气孔可以具有内部侧表面，所述内部侧表面随着接近所述排气孔的出口而朝向所述排气孔的中心方向倾斜。

7、所述排气路径分隔壁的端部可以突出到所述排气孔的内部，并且可以在与所述排气孔的出口相反的方向上倾斜。

8、所述管道连接部分可以形成为使得，所述管道连接部分的入口垂直于所述管道连接部分的出口，以及具有用于引导气体方向的引导倾斜表面的阀可以被安装在所述管道连接部分的所述入口和所述出口彼此连通的部分中。

9、所述管道连接部分的横截面面积、所述集成管道主体中流入气体的所述单独的排气路径的横截面面积、以及所述排气孔的每个划分部分的横截面面积可以被形成为顺序地增加。

10、两个排气区域可以被形成为一组，并且所述两个排气区域的两个公共排气路径可以被设置为以所述排气孔介于两者之间的方式彼此对应。

11、同时，根据本公开的一方面，一种集成排气管道可以包括：集成管道主体，所述集成管道主体具有多个排气区域和与所述多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，所述孔分隔壁设置在所述排气孔的内部以划分所述排气孔，使得所述多个排气区域被阻止由于穿过所述排气孔而彼此连通，其中，所述排气区域可以包括与多个排气管道连接的多个管道连接部分，以及从所述多个管道连接部分到所述排气孔所形成的公共排气路径，以及所述管道连接部分可以具有在相反方向上形成的两个出口，两个排气孔可以被设置为彼此间隔开，其中用于连接所述两个出口和所述两个排气孔的两个公共排气路径可以被设置为以所述管道连接部分介于两者之间的方式彼此对应。

12、此外，根据本公开的一方面，一种衬底处理设备可以包括：多个处理室，在所述多个处理室中对每个衬底执行处理；多个排气管道，所述多个排气管道连接到形成在所述多个处理室中的多个排气管线；和集成排气管道，所述集成排气管道连接到所述多个排气管道，其中，所述集成排气管道可以包括：集成管道主体，所述集成管道主体具有多个排气区域和与所述多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，所述孔分隔壁设置在所述排气孔的内部以划分所述排气孔，使得所述多个排气区域被阻止由于穿过所述排气孔而彼此连通，其中，所述排气区域可以包括与多个排气管道连接的多个管道连接部分，以及从所述多个管道连接部分到所述排气孔所形成的公共排气路径。

13、在本公开中，由于孔分隔壁被配置在与多个排气区域连通的排气孔中，因此多个排气区域可以被阻止通过排气孔而彼此连通，从而稳定内部压力，同时最小化排气压力的损失。

14、此外，在本公开中，由于排气路径分隔壁被设置为使得在排气区域的公共排气中形成多个单独的排气路径，所以多个管道连接部分中的多个气体气流在多个单独的排气路径中单独流动，而不会在公共排气路径中汇合，从而稳定内部压力，同时减少排气压力的损失。

技术特征：

1.一种集成排气管道，包括：

2.根据权利要求1所述的集成排气管道，其中，所述排气区域包括与多个排气管道连接的多个管道连接部分，以及从所述多个管道连接部分到所述排气孔所形成的公共排气路径，以及

3.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，所述多个管道连接部分中的每个的出口形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及

4.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，所述多个管道连接部分中的每个的出口形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及

5.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，所述排气孔具有内部侧表面，所述内部侧表面随着接近所述排气孔的出口而朝向所述排气孔的中心方向倾斜。

6.根据权利要求5所述的集成排气管道，其中，所述排气路径分隔壁的端部突出到所述排气孔的内部，并且在与所述排气孔的出口相反的方向上倾斜。

7.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，所述管道连接部分形成为使得所述管道连接部分的入口垂直于所述管道连接部分的出口，以及

8.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，所述集成管道主体中流入气体的所述管道连接部分的横截面面积、所述单独的排气路径的横截面面积、以及所述排气孔的每个划分部分的横截面面积被形成为顺序地增加。

9.根据权利要求2所述的集成排气管道，其中，两个排气区域被形成为一组，并且所述两个排气区域的两个公共排气路径被设置为以所述排气孔介于两者之间的方式彼此对应。

10.一种集成排气管道，包括：

11.根据权利要求10所述的集成排气管道，其中，在所述公共排气路径中，设置有排气路径分隔壁使得从所述多个管道连接部分到所述排气孔形成有多个单独的排气路径。

12.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，所述多个管道连接部分中的每个的出口被形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及

13.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，所述多个管道连接部分中的每个的出口被形成在与朝向所述排气孔的方向不同的方向上，以及

14.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，所述排气孔具有内部侧表面，所述内部侧表面随着接近所述排气孔的出口而朝向所述排气孔的中心方向倾斜。

15.根据权利要求14所述的集成排气管道，其中，所述排气路径分隔壁的端部突出到所述排气孔的内部，并且在与所述排气孔的出口相反的方向上倾斜。

16.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，所述管道连接部分形成为使得，所述管道连接部分的入口垂直于所述管道连接部分的出口，以及

17.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，所述集成管道主体中流入气体的所述管道连接部分的横截面面积、所述单独的排气路径的横截面面积、以及所述排气孔的每个划分部分的横截面面积被形成为顺序地增加。

18.根据权利要求11所述的集成排气管道，其中，两个排气区域被形成为一组，并且所述两个排气区域的两个公共排气路径被设置为以所述排气孔介于两者之间的方式彼此对应。

19.一种衬底处理设备，包括：

20.根据权利要求19所述的衬底处理设备，其中，在所述公共排气路径中，设置有排气路径分隔壁，使得从所述多个管道连接部分到所述排气孔形成有多个单独的排气路径。

技术总结本公开提供了一种集成排气管道和衬底处理设备。根据本公开的集成排气管道包括：集成管道主体，该集成管道主体具有多个排气区域和与多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，该孔分隔壁设置在排气孔的内部以划分排气孔，使得多个排气区域被阻止通过排气孔而彼此连通。技术研发人员：章准桓,金钟翰,李东奎受保护的技术使用者：细美事有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/23