一种存储区块机构、存储系统及其加工方法和布局方法与流程

本发明涉及半导体，特别是涉及一种存储区块机构、存储系统及其加工方法和布局方法。

背景技术：

1、目前，随着电子产品的高速发展以及大众对电子产品性能的要求不断提升，半导体作为其中的核心组成部分，它几乎渗透到我们生活的每个方面，无论是从智能手机、电脑和平板电脑等消费电子产品，还是到汽车、医疗设备、通信设备、家电、太阳能电池板等各个行业都需要使用到半导体来实现功能，因此，对于半导体的整体性能提升已成为当下各行各业的迫切需求。

2、而随着半导体行业的发展，亟待需要降低对半导体的加工难度，制造半导体芯片需要高度精密的仪器和设备，以及复杂的工艺流程，而降低加工难度可以提高生产效率、降低成本，并且有助于满足日益增长的市场需求；不仅如此，对半导体器件的良率和驱动性能要求也越来越高，良率是指生产过程中可用产品的比例，高良率意味着更少的废品和更高的成品率，提高良率对于降低成本和保证产品质量至关重要，而驱动性能指的是器件在工作状态下的性能表现，如处理器的运算速度、显示器的刷新率等，高驱动性能可以提供更好的性能体验和用户满意度，因此，对于存储器的优化已经成为持续努力的常态化目标。

3、现有技术中，把板线驱动器集中在一个区域，通过密集走线驱动多个存储单元阵列区块，首先过于密集的走线会降低良率；其次由于走线的长短不同，导致电阻差别较大，使得不同的存储单元阵列区块驱动性能不均，从而降低芯片整体性能；再次，在做完存储单元之后，后端需要使用0.25μm及更先进的工艺节点，导致局限于专门的fab厂进行加工，且产品造价相对较高，为打破这一现状，突破存储器整体的驱动性能和良率、降低生产上的工艺难度，我们提出了一种存储区块机构、存储系统及其加工方法和布局方法。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本发明的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

2、鉴于上述的问题，提出了本发明。

3、因此，本发明的第一个目的是提供一种存储区块机构，通过存储单元阵列区块与板线驱动器对应排列布置，改变板线驱动器集中一个区域，需密集走线驱动多个存储单元阵列区块的现况，保证良率且使驱动性能更均匀。

4、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种存储区块机构，其包括，存储单元阵列区块，以及，板线驱动器，与存储单元阵列区块对应设置；以及，触点，与板线驱动器对应连接，并与对应的存储单元阵列区块连接。

5、作为本发明所述存储区块机构的一种优选方案，其中：所述触点，与所述板线驱动器分别设置于存储单元阵列区块相邻两个边的外侧。

6、作为本发明所述存储区块机构的一种优选方案，其中：所述存储单元阵列区块包括若干个存储单元，且若干个所述存储单元呈m*n矩形阵列排布；m、n均为大于1的自然数。

7、作为本发明所述存储区块机构的一种优选方案，其中：各个存储单元还包括一个对应的开关单元；所述存储单元阵列区块还包括对应于m行存储单元的m条字线以及对应于n列存储单元的n条位线；各个开关单元的栅极连接至对应的字线，源漏两级中的一极连接至对应的位线，另一极连接对应的极化电容。

8、作为本发明所述存储区块机构的一种优选方案，其中：还包括与所述存储单元阵列区块对应连接板线；存储单元阵列区块通过板线连接至相应的板线驱动器。

9、作为本发明所述存储区块机构的一种优选方案，其中：绝缘层，覆盖于所述存储单元阵列区块之上，所述绝缘层设置有触点通孔；板线，一端通过所述触点通孔与所述存储区块机构的存储单元阵列区块连接，另一端连接至对应的触点。

10、本发明的第二个目的是提供一种存储系统，其包括，存储区块机构，所述存储区块机构呈x*y矩形阵列排布，x、y均为大于等于1的自然数；所述存储系统还包括，行外围电路，其包括与字线进行连接的字线驱动器以及与字线驱动器进行连接的行地址译码器；列外围电路，其包括与存储区块机构进行连接的感应放大器、与位线连接的位线驱动器，以及与位线驱动器进行连接的列地址译码器。

11、作为本发明所述存储系统的一种优选方案，其中：所述感应放大器通过对应的位线与相应的存储区块机构连接；字线驱动器通过对应的字线与相应的存储区块机构连接。

12、本发明的第三个目的是提供一种板线驱动器布局方法，其包括，将同一存储单元阵列区块中的各存储单元与相应的板线连接；将每个存储单元阵列区块对应一个板线驱动器；将每个板线驱动器连接一个相应的触点，并使得每个触点通过相应的板线连接至相应的存储单元阵列区块。

13、作为本发明所述板线驱动器布局方法的一种优选方案，其中：所述触点，与所述板线驱动器分别设置于存储单元阵列区块相邻两个边的外侧。

14、本发明的第四个目的是提供一种存储器加工方法，其包括，将所述存储器进行存储区块机构的布局；在所述存储区块机构上沉积绝缘层；在所述绝缘层上对应于触点的位置开设触点通孔；在各个触点上设置对应的板线，并使得板线与触点通孔内的触点形成电性连接。

15、本发明的有益效果：通过板线驱动器与存储单元阵列区块一一对应、错位布置，从而使走线从容，后端工艺可采用0.8um以上工艺节点，降低制造难度且解决了密集布线影响良率的问题，该布局使走线长短一致，确保不会因为电阻差别较大，使不同的存储单元阵列区块驱动性能不均，导致芯片性能降低。

技术特征：

1.一种存储区块机构，其特征在于：包括，

2.如权利要求1所述的存储区块机构，其特征在于：所述触点(300)，与所述板线驱动器(200)分别设置于存储单元阵列区块(100)相邻两个边的外侧。

3.如权利要求2所述的存储区块机构，其特征在于：所述存储单元阵列区块(100)包括若干个存储单元(101)，且若干个所述存储单元(101)呈m*n矩形阵列排布；m、n均为大于1的自然数。

4.如权利要求3所述的存储区块机构，其特征在于：各个存储单元(101)还包括一个对应的开关单元(102)；

5.如权利要求1～4任一所述的存储区块机构，其特征在于：还包括与所述存储单元阵列区块(100)对应连接板线(106)；

6.如权利要求1～5所述的存储区块机构，还包括，

7.一种存储系统，其特征在于：包括所述权利要求1～6任一所述的存储区块机构，所述存储区块机构(q)呈x*y矩形阵列排布，x、y均为大于等于1的自然数；所述存储系统还包括，

8.如权利要求7所述的存储系统，其特征在于：所述感应放大器(501)通过对应的位线(104)与相应的存储区块机构(q)连接。

9.一种板线驱动器布局方法，其特征在于：包括，

10.如权利要求9所述的板线驱动器布局方法，其特征在于：所述触点(300)，与所述板线驱动器(200)分别设置于存储单元阵列区块(100)相邻两个边的外侧。

11.一种存储器加工方法，其特征在于：包括，

技术总结本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种存储区块机构、存储系统及其加工方法和布局方法，其包括，存储单元阵列区块，以及，板线驱动器，与存储单元阵列区块对应设置；以及，触点，与板线驱动器对应连接，并与对应的存储单元阵列区块连接，通过每个存储单元阵列区块与每个板线驱动器一一对应设置，并通过板线连接，可以放宽对密集布线的要求，解决密集布线影响良率的问题，并且使得走线长短一致，确保存储单元阵列区块驱动性能一致，并通过该方案，0.8μm的工艺节点也可以做到，降低了制造难度和制造成本。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：温州核芯智存科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/15