Chuck盘快速降温装置的制作方法

本发明涉及降温装置，尤其涉及chuck盘快速降温装置。

背景技术：

1、prober针测机中的chuck盘在设备加热使用后，温度可达到100℃，此时需要对chuck盘进行降温，使chuck盘的温度降低到室温(约28℃)，在对chuck盘进行降温时，通过采用风冷的方式，使chuck盘的温度降至室温大约需要40分钟，设备在此时间段只能处于等候状态，无法继续使用，时效性差。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的问题：

2、在对chuck盘进行降温时，通过采用风冷的方式，耗费的时间较长。

3、而提出的chuck盘快速降温装置。

4、为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：

5、chuck盘快速降温装置，包括安装板，所述安装板的上端面固定有多个散热片，安装板的上端面开设有多个配合散热片使用的下沉槽，每个散热片的下端面均固定有制冷片，安装板的下端面贯穿开设有多个配合制冷片使用的通槽一，安装板的下端面固定有制冷底板，每个散热片上均设置有排风组件，安装板的上端面固定有上护罩，上护罩的上端面开设有多个排风口，上护罩的上端面对称设置有两个把手组件，上护罩的上端面固定贯穿设置有电源插口和蜂鸣器。

6、作为本发明的进一步技术方案，每个所述散热片均包括底座部和延伸部。

7、作为本发明的进一步技术方案，每个所述排风组件均包括散热风扇，每个散热风扇均转动设置于对应散热片的底座部上端面，散热风扇位于对应底座部的圆心位置。

8、作为本发明的进一步技术方案，每个所述把手组件均包括两个对称设置于上护罩上端面的u形底座，每个u形底座的内壁上均转动设置有转动板，相邻两个转动板之间固定有握杆，每个u形底座上均设置有配合转动板使用的限位组件。

9、作为本发明的进一步技术方案，每个所述限位组件均包括开设于u形底座内壁上的圆形凹槽，圆形凹槽的内壁上固定有弹簧一，弹簧一远离圆形凹槽的一端固定有抵触球，转动板的侧壁上开设有配合抵触球使用的抵触槽。

10、作为本发明的进一步技术方案，所述上护罩的上端面且位于圆心位置转动设置有转动盘，转动盘的外侧壁上固定有延伸臂一，延伸臂一的下端面固定有毛刷层一，延伸臂一远离转动盘的一端转动设置有延伸臂二，延伸臂二的下端面固定有毛刷层二，延伸臂一与延伸臂二之间设置有弹性复位件一，上护罩上设置有配合转动盘使用的驱动组件。

11、作为本发明的进一步技术方案，所述弹性复位件一包括两个弹性条，每个弹性条均与延伸臂一和延伸臂二的侧壁固定连接。

12、作为本发明的进一步技术方案，所述驱动组件包括开设于上护罩上端面的通槽二，通槽二的内壁上固定有安装框一，安装框一的外侧壁上固定有隔热层，安装框一的内底部固定有步进电机，步进电机的驱动轴与转动盘的下端面转动连接。

13、作为本发明的进一步技术方案，所述上护罩的上端面对称开设有两个通槽三，每个通槽三的内壁上均固定有安装框二，每个安装框二的外侧壁上也固定有隔热层，每个安装框二内均活动设置有u形架，u形架的内壁上转动设置有抵触轮，u形架的下端面固定有接触开关，安装框二内设置有配合u形架使用的弹性复位件二。

14、作为本发明的进一步技术方案，每个所述弹性复位件二均包括固定于对应安装框二和u形架之间的弹簧二，安装框二的内底部与u形架的下端面还固定有伸缩杆，弹簧二活动套设于对应伸缩杆的外侧壁上。

15、本发明的有益效果：

16、1、在使用时，将本装置放置到待处理的chuck盘上，此时制冷底板与待降温的物体表面相接触，将chuck盘上的热量通过制冷底板和制冷片传导至散热片上，然后排风组件工作，产生气流的流动，气流在流动的过程中，将散热片上的热量通过排风口向上护罩外部排出，从而对chuck盘进行快速降温，大幅度缩短降温时间，减少等候时间。

17、2、在对该装置进行拿取搬运时，首先通过握杆带动对应的转动板转动，直至转动板与上护罩呈现垂直的状态，在此过程中，转动板的侧壁会抵触到抵触球，抵触球受力后向圆形凹槽内移动，当转动板转动至与上护罩垂直时，此时转动板上的抵触槽正好对着抵触球，抵触球在弹簧一弹力的作用下，朝向抵触槽移动，从而对转动板和握杆进行限位固定，从而方便工作人员搬运拿取该冷却装置，当该装置放置到chuck盘的待降温位置后，将两个握杆朝向上护罩的边缘位置拨动，握杆在转动的过程中，带动对应的转动板一起转动，从而使抵触球解除对转动板的限位固定，直至握杆不正对着排风口，避免排风口排出的热空气直接接触到握杆的表面，加剧握杆的老化。

18、3、本装置在使用以及存放的过程中，在静电等因素的影响下，排风口的表面会粘附上灰尘等，积累过多后，会影响排风口的实际通风量，当需要对排风口的表面进行清理时，此时步进电机的驱动轴转动，从而带动转动盘转动，转动盘在转动的过程中，会带动延伸臂一与延伸臂二一起转动，延伸臂一与延伸臂二在转动的过程中，带动毛刷层一和毛刷层二一起转动，从而对上护罩的上表面进行清扫，从而清扫去除掉粘附在排风口表面的灰尘等，延伸臂一与延伸臂二在转动的过程中，延伸臂二会碰撞到u形底座，此时的延伸臂二相对于延伸臂一发生转动，此时的两个弹性条产生弹性形变，存储弹性势能，当延伸臂二越过对应的u形底座时，弹性条上存储的弹性势能释放，会促使延伸臂二恢复到与延伸臂一处于同一直线的状态，当时在恢复的过程中，在弹性条弹性势能的作用下，会使延伸臂二相对于延伸臂一左右摆动，从而带动延伸臂一小幅度震动，从而将粘附在毛刷层一和毛刷层二上的灰尘等抖落下来，然后在排风口排出的气流的作用下，将灰尘等吹走，从而完成对毛刷层一和毛刷层二的清洁作业。

技术特征：

1.chuck盘快速降温装置，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的上端面固定有多个散热片(2)，安装板(1)的上端面开设有多个配合散热片(2)使用的下沉槽，每个散热片(2)的下端面均固定有制冷片(3)，安装板(1)的下端面贯穿开设有多个配合制冷片(3)使用的通槽一，安装板(1)的下端面固定有制冷底板(4)，每个散热片(2)上均设置有排风组件，安装板(1)的上端面固定有上护罩(5)，上护罩(5)的上端面开设有多个排风口(6)，上护罩(5)的上端面对称设置有两个把手组件，上护罩(5)的上端面固定贯穿设置有电源插口(7)和蜂鸣器(8)。

2.根据权利要求1所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，每个所述散热片(2)均包括底座部(9)和延伸部(10)。

3.根据权利要求2所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，每个所述排风组件均包括散热风扇(11)，每个散热风扇(11)均转动设置于对应散热片(2)的底座部(9)上端面，散热风扇(11)位于对应底座部(9)的圆心位置。

4.根据权利要求1所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，每个所述把手组件均包括两个对称设置于上护罩(5)上端面的u形底座(12)，每个u形底座(12)的内壁上均转动设置有转动板(13)，相邻两个转动板(13)之间固定有握杆(14)，每个u形底座(12)上均设置有配合转动板(13)使用的限位组件。

5.根据权利要求4所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，每个所述限位组件均包括开设于u形底座(12)内壁上的圆形凹槽，圆形凹槽的内壁上固定有弹簧一，弹簧一远离圆形凹槽的一端固定有抵触球(15)，转动板(13)的侧壁上开设有配合抵触球(15)使用的抵触槽。

6.根据权利要求1所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，所述上护罩(5)的上端面且位于圆心位置转动设置有转动盘(16)，转动盘(16)的外侧壁上固定有延伸臂一(17)，延伸臂一(17)的下端面固定有毛刷层一(18)，延伸臂一(17)远离转动盘(16)的一端转动设置有延伸臂二(19)，延伸臂二(19)的下端面固定有毛刷层二(20)，延伸臂一(17)与延伸臂二(19)之间设置有弹性复位件一，上护罩(5)上设置有配合转动盘(16)使用的驱动组件。

7.根据权利要求6所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，所述弹性复位件一包括两个弹性条(21)，每个弹性条(21)均与延伸臂一(17)和延伸臂二(19)的侧壁固定连接。

8.根据权利要求7所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，所述驱动组件包括开设于上护罩(5)上端面的通槽二，通槽二的内壁上固定有安装框一(22)，安装框一(22)的外侧壁上固定有隔热层，安装框一(22)的内底部固定有步进电机(23)，步进电机(23)的驱动轴与转动盘(16)的下端面转动连接。

9.根据权利要求1所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，所述上护罩(5)的上端面对称开设有两个通槽三，每个通槽三的内壁上均固定有安装框二(24)，每个安装框二(24)的外侧壁上也固定有隔热层，每个安装框二(24)内均活动设置有u形架(25)，u形架(25)的内壁上转动设置有抵触轮(26)，u形架(25)的下端面固定有接触开关(27)，安装框二(24)内设置有配合u形架(25)使用的弹性复位件二。

10.根据权利要求9所述的chuck盘快速降温装置，其特征在于，每个所述弹性复位件二均包括固定于对应安装框二(24)和u形架(25)之间的弹簧二(28)，安装框二(24)的内底部与u形架(25)的下端面还固定有伸缩杆(29)，弹簧二(28)活动套设于对应伸缩杆(29)的外侧壁上。

技术总结本发明公开了Chuck盘快速降温装置，包括安装板，安装板的上端面固定有多个散热片，每个散热片的下端面均固定有制冷片，安装板的上端面贯穿开设有多个配合制冷片使用的通槽一，安装板的下端面固定有制冷底板，每个散热片上均设置有排风组件，安装板的上端面固定有上护罩，上护罩的上端面开设有多个排风口，上护罩的上端面对称设置有两个把手组件，上护罩的上端面固定贯穿设置有电源插口和蜂鸣器；本发明在使用时，可对Chuck盘进行快速降温，大幅度缩短降温时间，减少等候时间。技术研发人员：陈世杰,陈汉宗,葛小虎,王大为受保护的技术使用者：合肥新汇成微电子股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23