弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话的滤波器等。在下述的专利文献1公开了包含多个声表面波谐振器的弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在压电性基板上构成有多个声表面波谐振器的声表面波芯片被搭载于封装基板。压电性基板的晶体z轴的朝向倾斜，使得随着从压电性基板的封装基板侧的面朝向相反侧的面而从封装基板的中央部朝向外侧。由此，可谋求对由温度变化造成的压电性基板的变形的抑制。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2016－009874号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、由于压电性基板被施加应力，或者声表面波谐振器的idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极被施加电压，从而有时在压电性基板中产生极化反转。若极化反转的影响波及到在压电性基板上构成的声表面波谐振器，则声表面波谐振器的电特性有可能劣化。在专利文献1记载的弹性波装置中，难以充分抑制极化反转。

3、本发明的目的在于，提供一种能够抑制极化反转的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、在本发明涉及的弹性波装置的某个宽泛的方面中，具备：封装基板，包含第1主面；以及弹性波元件芯片，搭载在所述封装基板的所述第1主面，所述弹性波元件芯片具有：压电体层，包含相互对置的第2主面和第3主面；以及多个idt电极，设置在所述第2主面以及所述第3主面中的位于所述第1主面侧的所述第2主面，分别具有多个电极指，所述封装基板的所述第1主面具有相互对置的第1边和第2边，所述压电体层的所述第2主面具有在俯视下位于所述第1边以及所述第2边中的所述第1边侧的第1端缘部以及与所述第1端缘部对置的第2端缘部，在俯视下，所述第1边与所述第1端缘部之间的距离比所述第2边与所述第2端缘部之间的距离长，所述压电体层具有作为晶轴的z轴，所述z轴相对于所述压电体层的厚度方向倾斜，使得随着从所述压电体层的所述第3主面朝向所述第2主面而朝向所述第1端缘部侧，在从与所述多个电极指延伸的方向正交的方向观察所述idt电极时相邻的所述电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域的沿着所述多个电极指延伸的方向的尺寸为交叉宽度，在将所述多个idt电极中的最靠近所述第1端缘部的位置的idt电极设为端缘侧idt电极时，在所述多个idt电极各自的所述多个电极指的对数与所述交叉宽度的积之中，所述端缘侧idt电极的所述多个电极指的对数与所述交叉宽度的积最小。

6、在本发明涉及的弹性波装置的另一个宽泛的方面中，具备：封装基板，包含第1主面；以及弹性波元件芯片，搭载在所述封装基板的所述第1主面，所述弹性波元件芯片具有：压电体层，包含相互对置的第2主面和第3主面；以及多个idt电极，设置在所述第2主面以及所述第3主面中的位于所述第1主面侧的所述第2主面，分别具有多个电极指，在所述压电体层的所述第2主面中，构成有分别包含所述idt电极的串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，所述封装基板的所述第1主面具有相互对置的第1边和第2边，所述压电体层的所述第2主面具有在俯视下位于所述第1边以及所述第2边中的所述第1边侧的第1端缘部以及与所述第1端缘部对置的第2端缘部，在俯视下，所述第1边与所述第1端缘部之间的距离比所述第2边与所述第2端缘部之间的距离长，所述压电体层具有作为晶轴的z轴，所述z轴相对于所述压电体层的厚度方向倾斜，使得随着从所述压电体层的所述第3主面朝向所述第2主面而朝向所述第1端缘部侧，在将所述多个idt电极中的最靠近所述第1端缘部的位置的idt电极设为端缘侧idt电极时，所述多个并联臂谐振器中的位于最靠输入端侧的并联臂谐振器的所述idt电极为所述端缘侧idt电极。

7、在本发明涉及的弹性波装置的又一个宽泛的方面中，具备：封装基板，包含第1主面；以及弹性波元件芯片，搭载在所述封装基板的所述第1主面，所述弹性波元件芯片具有：压电体层，包含相互对置的第2主面和第3主面；以及多个idt电极，设置在所述第2主面以及所述第3主面中的位于所述第1主面侧的所述第2主面，分别具有多个电极指，在所述压电体层的所述第2主面中，构成有分别包含所述idt电极的多个声表面波谐振器，所述多个声表面波谐振器包含串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，所述封装基板的所述第1主面具有相互对置的第1边和第2边，所述压电体层的所述第2主面具有在俯视下位于所述第1边以及所述第2边中的所述第1边侧的第1端缘部以及与所述第1端缘部对置的第2端缘部，在俯视下，所述第1边与所述第1端缘部之间的距离比所述第2边与所述第2端缘部之间的距离长，所述压电体层具有作为晶轴的z轴，所述z轴相对于所述压电体层的厚度方向倾斜，使得随着从所述压电体层的所述第3主面朝向所述第2主面而朝向所述第1端缘部侧，在从与所述多个电极指延伸的方向正交的方向观察所述idt电极时相邻的所述电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域的沿着所述多个电极指延伸的方向的尺寸为交叉宽度，在将所述多个idt电极中的最靠近所述第1端缘部的位置的idt电极设为端缘侧idt电极时，未被串联分割的所述并联臂谐振器的所述idt电极为所述端缘侧idt电极，并且所述端缘侧idt电极的所述多个电极指的对数与所述交叉宽度的积比位于最靠输入端侧的所述声表面波谐振器中的至少一个声表面波谐振器中的所述idt电极的所述多个电极指的对数与所述交叉宽度的积小。

8、发明效果

9、根据本发明涉及的弹性波装置，能够抑制极化反转。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.一种弹性波装置，具备：

3.一种弹性波装置，具备：

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

技术总结本发明提供一种能够抑制极化反转的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备：封装基板(2)，包含第1主面(2a)；以及弹性波元件芯片(1)，搭载在封装基板(2)的第1主面(2a)，弹性波元件芯片具有：压电体层(压电性基板(3))，包含相互对置的第2主面(3a)和第3主面；以及多个IDT电极，设置在第2主面(3a)以及第3主面中的位于第1主面(2a)侧的第2主面(3a)，分别具有多个电极指。封装基板(2)的第1主面(2a)具有相互对置的第1边(2d)和第2边(2e)。压电体层的第2主面(3a)具有在俯视下位于第1边(2d)以及第2边(2e)中的第1边(2d)侧的第1端缘部(3d)以及与第1端缘部(3d)对置的第2端缘部(3e)。在俯视下，第1边(2d)与第1端缘部(3d)之间的第1外周缘间距离(A1)比第2边(2e)与第2端缘部(3e)之间的第2外周缘间距离(A2)长。压电体层具有作为晶轴的Z轴。Z轴相对于压电体层的厚度方向倾斜，使得随着从压电体层的第3主面朝向第2主面(3a)而朝向第1端缘部(3d)侧。在从与多个电极指延伸的方向正交的方向观察IDT电极时相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域，交叉区域的沿着多个电极指延伸的方向的尺寸为交叉宽度。在将多个IDT电极中的最靠近第1端缘部(3d)的位置的IDT电极设为端缘侧IDT电极时，在多个IDT电极各自的多个电极指的对数与交叉宽度的积之中，端缘侧IDT电极的多个电极指的对数与交叉宽度的积最小。技术研发人员：照田千寻,新保昭,冈野芳久,安田润平受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/25