弹性波装置以及复合滤波器装置的制作方法

本公开涉及弹性波装置以及复合滤波器装置。

背景技术：

1、在专利文献1记载了弹性波装置。弹性波装置具备具有空间部的支承基板、压电层、以及idt电极。压电层在支承基板的上方设置为与空间部重叠，idt电极在压电层的上方设置为与空间部重叠。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2007－312164号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、有时使用多个专利文献1所示的弹性波谐振器来设置作为滤波器的弹性波装置。在该情况下，有时从一个谐振子产生的泄漏波在支承基板的未设置空间部的部分反射并传导到另一个谐振子，由此在另一个谐振子产生纹波。此时，若纹波在该另一个谐振子的通带中产生，则有可能使弹性波装置的频率特性显著地劣化。因此，要求按每个谐振子使支承基板的厚度不同。但是，在按每个元件使支承基板的厚度不同的情况下，在通过带式供料器拾取弹性波装置并安装到模块基板时，会变得需要复杂的拾取作业，弹性波装置向模块基板的安装作业有可能变得困难。

3、本公开用于解决上述的问题，其目的在于，提供一种能够在抑制由纹波造成的频率特性的劣化的同时使拾取作业变得简便、能够使得向模块基板的安装变得容易的弹性波装置以及能够提高滤波器特性的复合滤波器装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置包含：第1压电层，具有第1主面和在第1方向上与所述第1主面相反侧的第2主面；第1支承构件，具有在所述第1方向上与所述第1压电层重叠的第1支承基板；第1谐振子，至少设置在所述第1压电层的所述第1主面；第2压电层，具有第3主面和在所述第1方向上与所述第3主面相反侧的第4主面；第2支承构件，具有在所述第1方向上与所述第2压电层重叠的第2支承基板；以及第2谐振子，至少设置在所述第2压电层的所述第3主面，所述第1谐振子以及所述第2谐振子分别具有功能电极，在所述第1支承构件具有在所述第1方向上俯视时与所述第1谐振子的功能电极的至少一部分重叠的空间部，在所述第2支承构件具有在所述第1方向上俯视时与所述第2谐振子的功能电极的至少一部分重叠的空间部，所述第1支承基板的所述第1压电层侧的主面和所述第2支承基板的所述第2压电层侧的主面在所述第1方向上对置，所述第1谐振子和所述第2谐振子通过在所述第1方向上延伸的导电性的接合部电连接，所述第1支承基板与所述第2支承基板之间的空间被密封构件密封，所述第1支承基板和所述第2支承基板的厚度不同。

6、一个方式涉及的复合滤波器装置具备：所述一个方式涉及的弹性波装置，连接于与天线连接的天线端子；以及至少一个其它弹性波装置，公共连接于所述天线端子。

7、在另一个方式涉及的复合滤波器装置中，在与天线连接的天线端子经由开关公共连接有多个弹性波装置，所述多个弹性波装置中的至少一个弹性波装置是所述一个方式涉及的弹性波装置。

8、发明效果

9、根据本公开，能够在抑制由纹波造成的弹性波装置的劣化的同时使拾取作业变得简便，能够使得向模块基板的安装变得容易。

技术特征：

1.一种弹性波装置，包含：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1至13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1至13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求1至15中的任一项所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求1至16中的任一项所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求1至17中的任一项所述的弹性波装置，其中，

19.根据权利要求1至18中的任一项所述的弹性波装置，其中，

20.根据权利要求1至19中的任一项所述的弹性波装置，其中，

21.根据权利要求1至18中的任一项所述的弹性波装置，其中，

22.根据权利要求1至21中的任一项所述的弹性波装置，其中，

23.根据权利要求1至22中的任一项所述的弹性波装置，其中，

24.根据权利要求23所述的弹性波装置，其中，

25.根据权利要求1至24中的任一项所述的弹性波装置，其中，

26.根据权利要求1至21中的任一项所述的弹性波装置，其中，

27.根据权利要求1至26中的任一项所述的弹性波装置，其中，

28.根据权利要求27所述的弹性波装置，其中，

29.一种复合滤波器装置，具备：

30.根据权利要求29所述的复合滤波器装置，其中，

31.一种复合滤波器装置，其中，

技术总结本发明在抑制由纹波造成的频率特性的劣化的同时，使拾取作业变得简便，并使得向模块基板的安装变得容易。弹性波装置包含：第1压电层，具有第1主面和第2主面；第1支承构件，具有在第1方向上与第1压电层重叠的第1支承基板；第1谐振子，至少设置在第1压电层的第1主面；第2压电层，具有第3主面和第4主面；第2支承构件，具有在第1方向上与第2压电层重叠的第2支承基板；以及第2谐振子，至少设置在第2压电层的第3主面。第1谐振子以及第2谐振子分别具有功能电极。在支承构件具有在第1方向上俯视时与谐振子的功能电极的至少一部分重叠的空间部。第1支承基板的第1压电层侧的主面和第2支承基板的第2压电层侧的主面在第1方向上对置。第1谐振子和第2谐振子通过在第1方向上延伸的导电性的接合部电连接。第1支承基板与第2支承基板之间的空间被密封构件密封。第1支承基板和第2支承基板的厚度不同。技术研发人员：井上和则受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/25