一种自平衡式抗静电晶圆载具的制作方法

本发明涉及晶圆载具，具体为一种自平衡式抗静电晶圆载具。

背景技术：

1、抗静电晶圆载具是设计用于存储和运输晶圆的设备，晶圆载具是用于在加工制程中以及工厂之间晶圆的存储、传送、运输以及防护的重要半导体塑料制品，晶圆厂搬运方案的必备部件，但是现有的晶圆载具无法自动调节平衡度容易使晶圆倾斜翻倒。

2、现有的晶圆载具存在的缺陷是：

3、1、专利文件cn109524337b公开了一种晶圆载具，“其包含下侧板、左侧板、右侧板、上侧板、后侧板、左滑轨组、右滑轨组、左止挡部件、右止挡部件以及控制闸门。左侧板可连接于下侧板的左端。右侧板可连接于下侧板的右端。上侧板可连接于左侧板及右侧板的上端。后侧板可连接于下侧板、左侧板及上侧板的后端。左滑轨组可设置于左侧板的内表面上。右滑轨组可设置于右侧板的内表面上。左止挡部件可设置于左滑轨组上。右止挡部件可设置于右滑轨组上。控制闸门可包含前侧板及锁设部件，锁设部件可将前侧板固定于左侧板、右侧板、上侧板及下侧板的前端”，但是现有的晶圆载具无法自动调节平衡度容易使晶圆倾斜翻倒；

4、2、专利文件cn110641841a公开了一种晶圆框架载具，“包括一盒体。所述盒体由开口、顶板、底板、后板及两侧板所构成。其中每个侧板都包括一卡匣结构。且每个卡匣结构后方都设有一金属防撞部，以避免微小粒子的生成或置入晶圆框架时盒体因碰撞而受损”，但是现有的晶圆载具不能稳定晶圆晶圆容易在运输移动过程中意外损坏安全性不高；

5、3、专利文件cn107452660a公开了一种晶圆载具及其制作方法，“使适用于加工单一大直径晶圆的设备能加工多种直径的晶圆。载具包括晶圆仓、两个侧耳加宽部和腿垫高部。两个侧耳加宽部和腿垫高部使得载具等效于在宽度、高度上与对应的机械手匹配的装载较大直径晶圆的晶圆仓。这样不用修改机械手的运动程序，就能取放移动装载着晶圆的载具，同时腿垫高部使不同直径的晶圆的顶部处于同一水平面，使晶圆加工流体流过不同直径的晶圆时产生的加工效果一致，提高了生产效率和设备利用率，提高了设备的适应性，避免重复购置同类设备，节省成本。晶圆载具的制作方法简单”，但是现有的晶圆载具在各种晶圆尺寸的情况不能适应制造需求；

6、4、专利文件cn115142048a公开了一种晶圆载具及氮化硅介质膜的制备方法，“晶圆载具包括：底座，底座内设置有间隔分布的多个容置槽，容置槽用于承载晶圆；以及盖体，盖体盖合于底座，盖体和底座盖合后形成用于容纳晶圆的腔体，盖体上开设有与多个容置槽分别对应的多个进气槽，腔体内通过进气槽通入硅烷和氨气的混合气体，进气槽沿其对应晶圆的周向方向延伸。本技术提供的晶圆载具，在晶圆上生长氮化硅介质膜的时候，设置了可以盖合的底座和盖体，在底座和盖体之间的腔体放置晶圆，使得晶圆载具较为密闭，颗粒度容易控制，另外，由于进气槽沿其对应晶圆的周向方向延伸，提升了均匀性”，但是现有的晶圆载具无法提高晶圆放置的安全性晶圆容易损坏。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种自平衡式抗静电晶圆载具，以解决上述背景技术中提出的晶圆载具无法自动调节平衡度容易使晶圆倾斜翻倒的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自平衡式抗静电晶圆载具，包括撑板、一号动杆、撑底、放置盒和平衡模块，所述撑板的顶部安装有一号动杆，所述一号动杆的输出端通过转环安装有撑底，所述撑底的顶部安装有放置盒，所述放置盒为中间分裂移动式，所述撑板的顶部安装有平衡模块，所述放置盒的内壁安装有一号抗静电块；

3、所述平衡模块包括二号动杆、水平传感器、控制箱，所述二号动杆位于撑板的顶部，且二号动杆的输出端通过转环与撑底的底部连接，水平传感器位于撑底的底部，控制箱位于撑板的顶部，控制箱内安装有集成电路处理板，所述二号动杆与集成电路处理板电性连接，所述一号动杆与集成电路处理板电性连接，所述水平传感器与集成电路处理板电性连接，水平传感器能检测出撑底的实时偏移状态数据，集成电路处理板内置水平传感器偏移数据库。

4、优选的，所述实时偏移状态数据传输至集成电路处理板内与偏移数据库进行对比，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为正常状态，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为左偏移状态，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为右偏移状态。

5、优选的，所述一号抗静电块的内壁安装有稳定晶圆组件，稳定晶圆组件用于防止晶圆在运输过程中意外损坏，撑底的内壁安装有调整组件，调整组件用于各种晶圆尺寸的兼容。

6、优选的，所述稳定晶圆组件包括移动道、滑块、五号弹簧、连接柱、弧形压头，移动道位于一号抗静电块的内壁，滑块位于移动道的内壁，五号弹簧位于一号抗静电块的内壁，连接柱位于五号弹簧的一端，一号抗静电块的外壁设有六号口，且连接柱的一端通过六号口延伸至一号抗静电块的外壁，弧形压头位于连接柱的一端，一号抗静电块的内壁安装有三号支筒，三号支筒的内壁安装有四号缓冲块，三号支筒的内壁贯穿安装有t形杆，且t形杆的一端与四号缓冲块的外壁连接，t形杆的一端与滑块的外壁连接。

7、优选的，所述t形杆通过三号支筒进行移动，滑块通过移动道进行移动，连接柱通过六号口进行移动，四号缓冲块为橡胶材质。

8、优选的，所述调整组件包括t形架、七号口、推头、六号弹簧，t形架位于撑底的内壁，t形架的外壁安装有滑套，滑套的外壁安装有支撑柱，七号口位于撑底的顶部，且支撑柱通过七号口与放置盒的底部连接，推头位于t形架的外壁，且推头的一端与支撑柱的外壁连接，六号弹簧位于支撑柱的外壁，且六号弹簧的一端与t形架的外壁连接。

9、优选的，所述支撑柱通过七号口进行移动，滑套通过t形架的支撑进行移动。

10、优选的，所述放置盒的内壁安装有缓动组件，缓动组件用于晶圆放置时的缓冲，一号抗静电块均匀的铺设在放置盒的内壁。

11、优选的，所述缓动组件包括限位杆、八号筒、阻尼块、九号弹簧，限位杆位于放置盒的内壁，八号筒包裹在限位杆的外壁，阻尼块位于放置盒的内壁，八号筒的外壁安装有板体，且阻尼块的一端与板体的底部连接，九号弹簧位于放置盒的内壁，且九号弹簧的一端与板体的底部连接，板体的顶部安装有二号抗静电块，二号抗静电块和一号抗静电块均为聚醚醚酮材质。

12、优选的，该电晶圆载具的工作步骤如下：

13、s1、正常状态时由水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，一号动杆和二号动杆均不启动，左偏移状态时集成电路处理板控制一号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态，右偏移状态时集成电路处理板控制二号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态，实现电晶圆载具自动调节平衡度避免晶圆倾斜翻倒功能；

14、s2、晶圆放在弧形压头处时带动弧形压头移动，弧形压头移动带动连接柱移动，连接柱移动带动五号弹簧移动，五号弹簧移动使连接柱带动t形杆移动，t形杆移动带动滑块移动，滑块移动使t形杆带动四号缓冲块移动，四号缓冲块移动通过弧形压头将晶圆压固，实现了稳定晶圆防止晶圆在运输移动过程中意外损坏提高安全性的功能；

15、s3、t形架的一端有限位头，限位头用于限制滑套的移动，推头移动带动支撑柱移动，支撑柱移动带动滑套移动，滑套移动使支撑柱带动六号弹簧移动，六号弹簧移动使支撑柱带动放置盒移动，放置盒移动对其进行调节宽度，实现了各种晶圆尺寸兼容以适应不同制造需求的功能；

16、s4、限位杆的作用是为八号筒提供移动支撑，晶圆放置在二号抗静电块顶部带动板体移动，板体移动带动八号筒移动，八号筒移动使板体带动阻尼块移动，阻尼块移动使二号抗静电块带动九号弹簧移动，九号弹簧移动使二号抗静电块将晶圆放置是的冲击力缓冲，实现了提高晶圆放置的安全性防止晶圆损坏的功能。

17、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

18、1.本发明通过安装有正常状态时由水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，一号动杆和二号动杆均不启动，左偏移状态时集成电路处理板控制一号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态，右偏移状态时集成电路处理板控制二号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态，实现电晶圆载具自动调节平衡度的功能；

19、2.本发明通过安装有晶圆放在弧形压头处时带动弧形压头移动，弧形压头移动带动连接柱移动，连接柱移动带动五号弹簧移动，五号弹簧移动使连接柱带动t形杆移动，t形杆移动带动滑块移动，滑块移动使t形杆带动四号缓冲块移动，四号缓冲块移动通过弧形压头将晶圆压固，实现了稳定晶圆防止晶圆在运输移动过程中意外损坏提高安全性的功能；

20、3.本发明通过安装有t形架的一端有限位头，限位头用于限制滑套的移动，推头移动带动支撑柱移动，支撑柱移动带动滑套移动，滑套移动使支撑柱带动六号弹簧移动，六号弹簧移动使支撑柱带动放置盒移动，放置盒移动对其进行调节宽度，实现了各种晶圆尺寸兼容以适应不同制造需求的功能；

21、4.本发明通过安装有限位杆的作用是为八号筒提供移动支撑，晶圆放置在二号抗静电块顶部带动板体移动，板体移动带动八号筒移动，八号筒移动使板体带动阻尼块移动，阻尼块移动使二号抗静电块带动九号弹簧移动，九号弹簧移动使二号抗静电块将晶圆放置是的冲击力缓冲，实现了提高晶圆放置的安全性防止晶圆损坏的功能。