一种防护型晶圆转运装置的制作方法

本发明属于晶圆的存储与运输容器，尤其涉及一种防护型晶圆转运装置

背景技术：

1、晶圆是制作半导体元件的高精密产品，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品。为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载及运输工具。晶圆盒将外界可能污染晶圆的环境与晶圆隔离，同时为了在移动过程中晶圆在晶圆盒内保持相对稳定。但是现有的晶圆盒所采用的晶圆维持件是与晶圆盒的主体分离的，在晶圆盒振动时，晶圆维持件与晶圆盒的主体之间容易产生错位；而且晶圆储存盒内部的储存格体尺寸较窄且排布密集，不便于将晶圆准确插入相应的储存格体，放置晶圆片时易出现错开插入的问题，影响放片准确性，错开插入的晶圆在盖上晶圆盒盖子时，易发生破碎现象，影响正常使用；晶圆盒在使用前后，需要对其存放槽进行清理，减少对晶圆的污染。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种防护型晶圆转运装置。

2、本发明采用的技术方案如下：一种防护型晶圆转运装置，包括收纳转运件，收纳转运件为上端开口的空腔结构，所述收纳转运件内安装有限位填充组件，所述限位填充组件与收纳转运件内侧壁活动连接，所述限位填充组件的上端安装有用于存放晶圆的存放件，所述收纳转运件外侧壁安装有驱动组件；

3、所述存放件内从下至上等间隔均匀设有多组用于存放晶圆的存放槽，所述存放件内设有用于气体流通的通气腔一，所述通气腔一与任一组所述存放槽之间均通过连接管连通，任一组所述存放槽的内底壁均设有连通腔一和放置腔一，内上壁均设有连通腔二和放置腔二，所述连通腔一和连通腔二均与存放槽贯通连接，所述放置腔一与连通腔一贯通连接，所述放置腔二与连通腔二贯通连接，任一组所述存放槽内均设有弹性件，所述弹性件的一侧与存放槽内壁密封连接，弹性件和存放槽内部之间为密封空间。

4、进一步地，所述限位填充组件包括伸缩杆和弹簧，所述伸缩杆的下端和弹簧的下端均设于收纳转运件的底壁上，所述弹簧套接设于伸缩杆外侧，所述伸缩杆的上端和弹簧的上端安装有抬升座，所述存放件的下端设于抬升座上壁上，所述抬升座底壁和收纳转运件底壁之间安装有下挤压囊，抬升座底壁、收纳转运件的底壁和下挤压囊之间为密封空间，设为密封腔一，抬升座底壁设有通气孔，通气孔内设有控制阀，通气孔与密封腔一贯通连接，控制阀用于控制外部气体是否能够通过通气孔进入密封腔一中，所述通气腔一的下端贯穿抬升座与密封腔一贯通连接。

5、其中，所述收纳转运件内壁设有卡槽，所述卡槽内活动卡接有旋转环，所述限位填充组件设于旋转环内，所述旋转环内壁设有螺旋槽一和螺旋槽二，所述抬升座内安装有插杆一和插杆二，所述插杆一活动卡接设于螺旋槽一内，所述插杆二活动卡接设于螺旋槽二内，插杆一和插杆二设于螺旋槽内的一端均设有滚珠，用于减少摩擦力。

6、作为本发明优选地，所述收纳转运件外侧壁设有外防护囊，所述收纳转运件侧壁内设有通气腔二，所述通气腔二的下端与外防护囊贯通连接，所述存放件上壁安装有挡板，所述挡板底壁和收纳转运件上壁安装有上挤压囊，上挤压囊为环形结构，所述上挤压囊套接设于存放件外侧，所述通气腔二的上端与上挤压囊贯通连接，挡板上设有控制阀，便于控制外部气体进入上挤压囊内。

7、作为本发明优选地，所述存放槽的内底壁和内上壁均设有多组用于气体流通的吹气孔，存放槽内底壁的吹气孔与放置腔一贯通连接，存放槽内上壁的吹气孔与放置腔二贯通连接。

8、其中，所述存放槽的内底壁和内上壁还安装有多孔式柔性垫层，所述多孔式柔性垫层覆盖在吹气孔的外侧，放置在存放槽内的晶圆通过多孔式柔性垫层和弹性件进行柔性固定。

9、进一步地，所述收纳转运件下端内侧壁设有槽孔一，槽孔一呈环形结构，所述旋转环下端侧壁设有环形的从动齿轮，所述从动齿轮活动设于槽孔一内，所述收纳转运件下端外侧壁设有槽孔二，槽孔二为扇形结构，所述收纳转运件上端侧壁设有插孔，所述存放槽与插孔贯通连接，晶圆通过插孔设于该处的存放槽内，防止晶圆在放置时出现错开插入的问题，影响放片准确性。

10、优选地，所述驱动组件包括连接板、电机、支撑板和连接轴，所述连接板设于收纳转运件底壁上，所述支撑板设于收纳转运件侧壁上，所述电机设于连接板上，电机为正反两转电机，所述连接轴活动设于支撑板上，所述连接轴上活动安装有主动齿轮，所述主动齿轮活动卡接设于槽孔二内，所述电机的输出轴端与主动齿轮中心连接，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

11、优选地，所述弹性件为一侧开口、内部为空腔的半圆形结构，需要存放的晶圆通过存放槽插进弹性件的空腔内。

12、进一步地，任一组所述连接管内均设有控制阀，用于控制通气腔一内的气体是否进入到存放槽内；所述连通腔一和连通腔二内均设有控制阀，用于控制存放槽内的气体是否进入至连通腔一和连通腔二内。

13、采用上述结构后，本发明有益效果如下：

14、（1）放置腔一内的气体通过内底壁的吹气孔排出的气体能够对存放槽内壁、晶圆底壁、弹性件底壁进行气吹式清理，放置腔二内的气体通过内上壁的吹气孔排出的气体能够对存放槽内壁、晶圆上壁、弹性件上壁进行气吹式清理。

15、（2）晶圆通过插孔设于该处的存放槽内，防止晶圆在放置时出现错开插入的问题，影响放片准确性，同时多孔式柔性垫层和弹性件对晶圆进行柔性固定，减少运输过程中的损伤。

16、（3）在气压的作用下，弹性件能够从存放槽内部翻折到存放槽靠近开口的位置，在翻折的过程中，可将晶圆缓慢的推出插孔，便于将晶圆取出。

技术特征：

1.一种防护型晶圆转运装置，其特征在于，包括收纳转运件，所述收纳转运件内安装有限位填充组件，所述限位填充组件与收纳转运件内侧壁活动连接，所述限位填充组件的上端安装有用于存放晶圆的存放件，所述收纳转运件外侧壁安装有驱动组件；

2.根据权利要求1所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述限位填充组件包括伸缩杆和弹簧，所述伸缩杆的下端和弹簧的下端均设于收纳转运件的底壁上，所述弹簧套接设于伸缩杆外侧，所述伸缩杆的上端和弹簧的上端安装有抬升座，所述存放件的下端设于抬升座上壁上，所述抬升座底壁和收纳转运件底壁之间安装有下挤压囊，抬升座底壁、收纳转运件的底壁和下挤压囊之间为密封空间，设为密封腔一，抬升座底壁设有通气孔，通气孔内设有控制阀，通气孔与密封腔一贯通连接，所述通气腔一的下端贯穿抬升座与密封腔一贯通连接。

3.根据权利要求2所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述收纳转运件内壁设有卡槽，所述卡槽内活动卡接有旋转环，所述限位填充组件设于旋转环内，所述旋转环内壁设有螺旋槽一和螺旋槽二，所述抬升座内安装有插杆一和插杆二，所述插杆一活动卡接设于螺旋槽一内，所述插杆二活动卡接设于螺旋槽二内。

4.根据权利要求3所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述收纳转运件外侧壁设有外防护囊，所述收纳转运件侧壁内设有通气腔二，所述通气腔二的下端与外防护囊贯通连接，所述存放件上壁安装有挡板，所述挡板底壁和收纳转运件上壁安装有上挤压囊，上挤压囊为环形结构，所述上挤压囊套接设于存放件外侧，所述通气腔二的上端与上挤压囊贯通连接。

5.根据权利要求4所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述存放槽的内底壁和内上壁均设有多组用于气体流通的吹气孔，存放槽内底壁的吹气孔与放置腔一贯通连接，存放槽内上壁的吹气孔与放置腔二贯通连接。

6.根据权利要求5所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述存放槽的内底壁和内上壁还安装有多孔式柔性垫层，所述多孔式柔性垫层覆盖在吹气孔的外侧。

7.根据权利要求6所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述收纳转运件下端内侧壁设有槽孔一，槽孔一呈环形结构，所述旋转环下端侧壁设有环形的从动齿轮，所述从动齿轮活动设于槽孔一内，所述收纳转运件下端外侧壁设有槽孔二，所述收纳转运件上端侧壁设有插孔，所述存放槽与插孔贯通连接。

8.根据权利要求7所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述驱动组件包括连接板、电机、支撑板和连接轴，所述连接板设于收纳转运件底壁上，所述支撑板设于收纳转运件侧壁上，所述电机设于连接板上，所述连接轴活动设于支撑板上，所述连接轴上活动安装有主动齿轮，所述主动齿轮活动卡接设于槽孔二内，所述电机的输出轴端与主动齿轮中心连接，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

9.根据权利要求8所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，所述弹性件为一侧开口、内部为空腔的半圆形结构。

10.根据权利要求9所述的防护型晶圆转运装置，其特征在于，任一组所述连接管内均设有控制阀，用于控制通气腔一内的气体是否进入到存放槽内；所述连通腔一和连通腔二内均设有控制阀，用于控制存放槽内的气体是否进入至连通腔一和连通腔二内。

技术总结本发明公开的一种防护型晶圆转运装置，属于晶圆的存储与运输容器技术领域，包括收纳转运件，所述收纳转运件内安装有限位填充组件，所述限位填充组件与收纳转运件内侧壁活动连接，所述限位填充组件的上端安装有用于存放晶圆的存放件，所述收纳转运件外侧壁安装有驱动组件，所述存放件内从下至上等间隔均匀设有多组存放槽，所述存放件内设有通气腔一，所述通气腔一与任一组所述存放槽之间均通过连接管连通，能够对存放槽内壁、晶圆、弹性件进行气吹式清理，防止晶圆在放置时出现错开插入的问题，影响放片准确性，同时多孔式柔性垫层和弹性件对晶圆进行柔性固定，减少运输过程中的损伤，在拿取时，可将晶圆缓慢的推出插孔，便于将晶圆取出。技术研发人员：肖迪,陈二京,邹欣屹受保护的技术使用者：江苏利泷半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/1