用于主辊激光加工的吸尘罩装置的制作方法

本发明涉及太阳能硅片或半导体晶圆切片领域，具体涉及一种用于主辊激光加工的吸尘罩装置。

背景技术：

1、光伏行业、半导体行业的晶硅片切割由主辊、金刚线等完成，金刚线通过缠绕在主辊上开设的容纳金刚线的沟槽上，对晶硅片进行切割。目前行业主辊容纳沟槽采用的是机械切割方式，机械切割产生的粉尘，伴随着冷却液直接作用于切割刀具加工槽上，由于粉尘具有一定粘性，刀具接触主辊切割，在长时间切割中容易产生丝状飞絮，加上主辊高速旋转产生离心力，飞絮、粉尘极易到处飞溅，加工设备内部比较脏乱。

2、现有的主辊容纳槽加工方式为机械切割，需配合冷却液，易于产生丝状飞絮，加工环境相对恶劣。机械加工刀具磨损大，主辊沟槽槽型前后容易出现质量偏差，影响品质。同时机械加工沟槽属于接触式加工，刀片比较薄，主辊表面材料具有一定弹性，受主辊表面加工精度、旋转夹持夹具精度影响，很容易出现加工槽型偏离标准值，出现槽型不对称、劈裂、边缘缺口等情况。进而影响金刚线在主辊上和容纳槽不匹配，影响硅晶片加工品质。

3、基于此，需要提供一种可以配合主辊激光加工方式的粉尘除尘和收集设备。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够较好清除粉尘，保证加工沟槽一致性好、加工区域洁净等问题的用于主辊激光加工的吸尘罩装置。

2、其所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实施。

3、一种用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特点为，包括一激光头，所述激光头与主辊间设有一吸尘罩，所述吸尘罩包括一罩体，所述罩体的一端为连接端，另一端为开口端，所述连接端与所述激光头连接固定并保持与激光头光路同轴连接，所述激光头发出的光束经所述罩体内部形成的腔室到达主辊表面，所述开口端的开口轮廓适宜于对接或包覆所述主辊即时激光加工区域外围的辊面。

4、进一步，还包括与主辊辊轴平行的x轴滑轨，所述x轴滑轨上设有可沿其滑动的x轴滑动板；所述x轴滑动板上设置有与x轴滑轨相垂直的y轴滑轨，所述y轴滑轨上设有可沿其滑动的y轴滑动板；所述激光头和吸尘罩定位于所述y轴滑动板上。

5、进一步，开口端的开口轮廓包括顺次连接的四段，分别为上下的平直段与两侧的弧形段。

6、更进一步，上下的平直段与主辊辊轴相平行，两侧的弧形段则与主辊弧面弧度相匹配。

7、优选的，两侧的弧形段分别与辊轴相垂直。

8、进一步，所述吸尘罩外接有吸尘器。

9、与现有设备相比，本发明装置具有以下优点：

10、1、本发明装置配合激光非接触加工沟槽，避免产生丝状飞絮，吸尘罩与激光头光路同轴，保证吸尘罩罩住主辊外圆区域吸力均匀、对称。

11、2、本发明装置采用吸尘罩固定于y轴上，旋转夹持夹具旋转主辊，通过移动x轴加工整个主辊外圆，保证整个加工过程有效清除粉尘。

12、3、本发明装置的吸尘罩外形为弧形口，可尽可能贴近主辊外圆，保证最大范围内罩住加工区域，达到有效的吸尘效果。

技术特征：

1.一种用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，包括一激光头，所述激光头与主辊间设有一吸尘罩，所述吸尘罩包括一罩体，所述罩体的一端为连接端，另一端为开口端，所述连接端与所述激光头连接固定并保持与激光头光路同轴连接，所述激光头发出的光束经所述罩体内部形成的腔室到达主辊表面，所述开口端的开口轮廓适宜于对接或包覆所述主辊即时激光加工区域外围的辊面。

2.根据权利要求1所述用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，还包括与主辊辊轴平行的x轴滑轨，所述x轴滑轨上设有可沿其滑动的x轴滑动板；所述x轴滑动板上设置有与x轴滑轨相垂直的y轴滑轨，所述y轴滑轨上设有可沿其滑动的y轴滑动板；所述激光头和吸尘罩定位于所述y轴滑动板上。

3.根据权利要求1所述用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，开口端的开口轮廓包括顺次连接的四段，分别为上下的平直段与两侧的弧形段。

4.根据权利要求3所述用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，上下的平直段与主辊辊轴相平行，两侧的弧形段则与主辊弧面弧度相匹配。

5.根据权利要求4所述用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，两侧的弧形段分别与辊轴相垂直。

6.根据权利要求1所述用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特征在于，所述吸尘罩外接有吸尘器。

技术总结本发明提供了一种用于主辊激光加工的吸尘罩装置，其特点为，包括一激光头，所述激光头与主辊间设有一吸尘罩，所述吸尘罩包括一罩体，所述罩体的一端为连接端，另一端为开口端，所述连接端与所述激光头连接固定并保持与激光头光路同轴连接，所述激光头发出的光束经所述罩体内部形成的腔室到达主辊表面，所述开口端的开口轮廓适宜于对接或包覆所述主辊即时激光加工区域外围的辊面。技术研发人员：罗海燕,王丽,汪于涛,骆公序受保护的技术使用者：上海市激光技术研究所有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/1