一种半导体器件加工用激光切割设备及其切割方法与流程

本发明涉及半导体器件加工设备，具体为一种半导体器件加工用激光切割设备及其切割方法。

背景技术：

1、半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，半导体都用加工器件，在半导体器件进行加工时都需要用到专用的激光设备来对其进行高效切割。

2、在对半导体物料进行激光切割时，为提高切割效率，可以采用堆叠切割，但在堆叠数量不同时，激光要切割物料的高度也不同，故在切割时如激光功率过低可能导致切割速度缓慢，致使加工效率低下,且长时间处于工作状态，会降低装置的使用寿命，功率过高则可能造成能源的浪费，针对以上问题，提出下列方案。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本发明提供一种半导体器件加工用激光切割设备，包括定位组件，定位组件包括工作台，工作台内壁固定连接有电机，电机输出端固定连接有蜗杆，还包括：

2、夹持组件，夹持组件包括设置在工作台顶部的齿条，齿条顶部啮合连接有齿轮杆，齿轮杆外表面转动连接有支撑板；

3、切换组件，切换组件包括设置在工作台顶部的压杆，压杆外表面滑动连接有固定盒，固定盒在靠近齿条的一侧固定连接有导气软管一；

4、跟随组件，跟随组件包括设置在工作台顶部的牵引绳二，牵引绳二顶部固定连接有固定环，固定环顶部固定连接有升降板。

5、优选的，蜗杆正面啮合连接有蜗轮，蜗轮内壁转动连接有转板，转板外表面与工作台内壁转动连接，转板内壁转动连接有连杆，连杆内壁转动连接有滑动壳，滑动壳外表面与工作台内壁滑动连接，滑动壳外表面滑动连接有限位板一，限位板一底部与工作台顶部固定连接，滑动壳内壁滑动连接有滑动板，滑动板在远离转板的一侧固定连接有弹簧一，弹簧一在远离滑动板的一端与滑动壳内壁固定连接，滑动板在靠近转板的一侧固定连接有定位板，通过设置弹簧一，可在其被压缩时，给予滑动板一个复位的力。

6、优选的，滑动板顶部与齿条底部固定连接，滑动壳外表面与支撑板外表面固定连接，齿轮杆外表面固定连接有收绳辊，收绳辊外表面固定连接有牵引绳一，牵引绳一外表面与支撑板外表面滑动连接，牵引绳一外表面接触有限位轮，限位轮外表面与定位板内壁转动连接，通过设置限位轮，可对牵引绳起限位的作用。

7、优选的，牵引绳一在远离收绳辊的一端固定连接有滑动杆，滑动杆底部固定连接有弹簧二，弹簧二底部固定连接有限位环，限位环外表面与定位板内壁固定连接，滑动杆内壁滑动连接有夹持板，夹持板外表面套接有弹簧三，弹簧三顶部与滑动杆外表面固定连接，弹簧三底部与夹持板外表面固定连接，通过设置限位环，可对滑动杆起限位的作用。

8、优选的，滑动杆外表面与压杆外表面固定连接，固定盒在靠近转板的一侧与定位板远离转板的一侧固定连接，导气软管一在远离固定盒的一侧固定连接有导气板，导气板底部固定连接有导气软管二，导气软管二在远离导气板的一端固定连接有固定块，固定块内壁滑动连接有激光发生器一，激光发生器一左侧固定连接有压板，压板外表面与固定块内壁滑动连接，压板顶部固定连接有密封板，密封板外表面与固定块内壁滑动连接，通过设置密封板，可在激光发生器一下降时，始终保持固定块的内部密封性。

9、优选的，压板底部固定连接有弹簧四，弹簧四底部固定连接有限制块，限制块左侧与固定块内壁左侧固定连接，激光发生器一内壁滑动连接有卡块，卡块底部与限制块顶部接触，卡块右侧固定连接有弹簧五，弹簧五右侧与激光发生器一内壁固定连接，固定块背面转动连接有连接杆，连接杆的外壁与激光发生器一外表面滑动连接，连接杆的外壁滑动连接有激光发生器二，激光发生器二外表面与固定块内壁滑动连接，固定块底部固定连接有接头，通过设置弹簧四，可给予压板复位的力。

10、优选的，滑动杆顶部与牵引绳二底部固定连接，工作台顶部固定连接有顶板，升降板外表面与顶板内壁滑动连接，升降板顶部固定连接有限位板二，限位板二外表面与顶板内壁滑动连接，限位板二底部固定连接有弹簧六，弹簧六底部与顶板内壁固定连接，通过设置弹簧六，可在其被压缩时，给予升降板复位的力。

11、一种半导体器件加工用激光切割设备的切割方法，包括以下几个步骤：

12、s1：在使用本装置时，先将本装置移动至指定位置，接着将要切割的圆形半导体物料堆叠放置在工作台顶部，随后启动电机，滑动板会带动定位板一并进行移动，通过定位板对物料进行定位；

13、s2：在滑动板缩入滑动壳的过程中，收绳辊转动会进行收绳的工作，通过牵引绳一将滑动杆向下拉动，滑动杆向下滑动会通过弹簧三带动夹持板向下移动，通过弹簧三的弹力对物料的上表面进行夹持；

14、s3：滑动杆下移带动压杆下移，进而压缩空气并通过空气的推力将激光发生器一向下推动，以进行更换不同功率的激光发生器，滑动杆下移的过程中，其还会向下拉动牵引绳二，以使激光发生器二和激光发生器一向下移动，使激光头底部始终与物料顶部保持合适的距离。

15、本发明具有以下有益效果：

16、1、本发明利用滑动杆下移带动压杆下移，进而压缩空气并通过空气的推力将激光发生器一向下推动，以进行更换不同功率的激光发生器，具体是在滑动杆向下移动的过程中，其会带动压杆并向下移动，压杆向下移动会压缩固定盒中的空气，并将空气推入导气软管一中，导气软管一会将空气通入导气板中，导气板会将空气通入导气软管二中，导气软管二会将空气通入固定块的内部，通入固定块中的空气会在其中积累并向下推动压板，压板会给予激光发生器一向下的推力，由于此时卡块卡在限制块的顶部，而压板给予的力不足以使卡块压缩弹簧五，故激光发生器一不会进行移动，随着通入固定块中的空气逐渐变多，其中的气压也会增大，当压杆下移至一定的位置后，此时压缩的空气气压足够大，卡块会压缩弹簧五缩入激光发生器一中，压板会带动激光发生器一快速向下移动一段距离，此时卡块会重新伸出并卡在限制块的底部，激光发生器一向下移动时会通过连接杆带动激光发生器二向上移动，使激光发生器二与接头脱离，而此时激光发生器一会与接头进行接触，进而可对激光发生器一通入电流，此时由激光发生器一进行切割的工作，此种设计可根据物料堆叠的高度自动判断是否需要更换激光发生器，且可在需要更换激光发生器时自动更换不同功率的激光发生器，进而可防止物料堆叠的高度较低时，使用功率较高的激光发生器，造成能源的浪费。

17、2、本发明启动电机，电机会通过蜗杆带动蜗轮进行转动，蜗轮会通过转板带动连杆进行转动，连杆会带动滑动壳在限位板一的限位作用下进行直线滑动，滑动壳会通过弹簧一带动滑动板一并进行移动，滑动板会带动定位板一并进行移动，在定位板接触物料时，其会推动物料，并通过三个定位板的共同作用对物料进行定位，在完成定位后随着滑动壳继续进行移动，滑动板会压缩弹簧一以缩入滑动壳内部，通过弹簧一的弹力作用对完成定位后的物料持续施加推力，进而对物料进行夹持固定，此种设计可自动对物料进行定位夹持，进而可以在短时间内快速完成工件的定位和夹持，减少生产周期，提高生产效率，且减少人为操作的介入，可降低因人为操作而引起的误差和不一致性。

18、3、本发明在滑动板缩入滑动壳的过程中，其会通过齿条带动齿轮杆进行转动，齿轮杆会带动收绳辊进行转动，收绳辊转动会将牵引绳一缠绕在收绳辊外表面，进行收绳的工作，需要注意的是，收绳辊的半径足够大，滑动板在缩入滑动壳的过程中，收绳辊进行转动可使牵引绳一始终保持紧绷的状态，且收绳辊转动还可通过牵引绳一将滑动杆向下拉动，牵引绳一通过支撑板与限位轮进行限位，滑动杆向下滑动会通过弹簧三带动夹持板向下移动，当夹持板向下移动至与物料接触时，继续拉动滑动杆，夹持板会压缩弹簧三，并通过弹簧三的弹力对物料的上表面进行夹持，当弹簧三完全压缩时，控制电机使其停止转动，此时即完成对物料的夹持，此种设计可对要堆叠切割的物料从顶部向下夹持，可适应不同的堆叠数量，且向下夹持可以有效减少物料在切割过程中的振动和变形，有助于维持切割过程中物料的稳定性和精度。

19、4、本发明在滑动杆下移的过程中，其还会向下拉动牵引绳二，牵引绳二会带动固定环向下移动，固定环会带动两个升降板一并向下移动，并通过限位板二压缩弹簧六，升降板在向下移动的过程中会带动固定块整体一并向下移动，进而使激光发生器二和激光发生器一向下移动，进而可使激光发生器二或激光发生器一底部始终与物料的顶部保持一定的距离，此种设计可无论物料堆叠的高度，使激光头底部始终与物料顶部保持合适的距离，进而可以更精确地控制激光焦点位置，从而提高切割的精度和准确性。