一种自动复制还原炉最佳批次的方法与流程

本发明涉及还原炉，特别涉及一种自动复制还原炉最佳批次的方法。

背景技术：

1、多晶硅还原炉内是一种非常复杂的化学反应，进料三氯氢硅、二氯二氢硅质量及组分，氢气的质量及其中氮气含量的变化都会引起炉内气场的及温厂的波动。硅棒通电生长状态下，因其电压不断下降，电流不断上升，总功率时时变化，又因炉内清洗度不同，炉体冷却水和底盘冷却水带走的热量时时变化，故炉内情况时时变化，复制最佳炉次很难实现。

2、现行业常用实现自动复制最佳炉次的放法为通过复制优秀批次电流、进料量，取电压下降趋势斜率来作为调整氢气的量，改变配比实现最优批次的调整。其缺点为未考虑炉体、底盘水带走的热量变化，炉内容易雾化或硅棒生长缓慢，复制偏差较高，为此，我们提出一种自动复制还原炉最佳批次的方法。

技术实现思路

1、解决的技术问题：针对现有技术的不足，本发明提供了一种自动复制还原炉最佳批次的方法，实现最佳批次的复制性生产，提高产品质量的稳定性，因其气场为上批次定值、温场为接近值不易发生雾化和硅棒生长缓，可实现指标2％以内浮动，减少人工干预而造成的人为误差，可以有效解决背景技术中的问题。

2、技术方案：为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种自动复制还原炉最佳批次的方法，包括以下操作步骤：

3、s1：在还原炉上设置进料量监测系统、氢气量监测系统与电流监测系统，实时记录还原炉中的进料量、氢气量与电流；

4、s2：将还原炉中的进料量、氢气量与电流制成曲线，在得到最佳批次的结论后进行记录；

5、s3：复制最佳批次的进料量、氢气量和电流；

6、s4：通过计算硅芯所用电功率q总减去冷却水带走热能q损得出到气场中的能量值△q，得到最佳批次温场曲线；

7、s5：复制过程中通过△q实际值与最佳温场△q标差值的斜率，在最佳电流的基础值上增减电流来实现△q实与△q标趋势接近值，来实现最佳批次的复制。

8、作为本申请一种优选的技术方案，所述s4步骤中能量值△q标＝q总-q损。

9、作为本申请一种优选的技术方案，所述s4、s5步骤中复制还原炉最佳批次即对还原炉中最佳温场进行观察与复制。

10、作为本申请一种优选的技术方案，所述s4、s5步骤在复制还原炉最佳批次时通过电流的改变来缩小实际值的差值。

11、作为本申请一种优选的技术方案，所述s1-s3步骤中复制还原炉最佳批次的进料量、氢气量与电流。

12、作为本申请一种优选的技术方案，所述s1-s3步骤中进料量监测系统、氢气量监测系统与电流监测系统内部设置进料量监测模块、氢气量监测模块、电流监测模块、数据采集模块、数据传输模块、中央处理模块、曲线制作模块、显示模块与自动复制模块。

13、作为本申请一种优选的技术方案，所述进料量监测模块、氢气量监测模块和电流监测模块均连接数据采集模块，所述数据采集模块连接数据传输模块，所述数据传输模块连接中央处理模块，所述中央处理模块连接曲线制作模块、显示模块与自动复制模块。

14、作为本申请一种优选的技术方案，所述进料量监测模块、氢气量监测模块和电流监测模块的输出端通过数据采集模块、数据传输模块与中央处理模块的输入端电性连接，所述中央处理模块的输出端与曲线制作模块、显示模块和自动复制模块的输入端电性连接。

15、有益效果：与现有技术相比，本发明提供了一种自动复制还原炉最佳批次的方法，具备以下有益效果：该一种自动复制还原炉最佳批次的方法，实现最佳批次的复制性生产，提高产品质量的稳定性，因其气场为上批次定值、温场为接近值不易发生雾化和硅棒生长缓，可实现指标2％以内浮动，减少人工干预而造成的人为误差，在还原炉上设置进料量监测系统、氢气量监测系统与电流监测系统，实时记录还原炉中的进料量、氢气量与电流；将还原炉中的进料量、氢气量与电流制成曲线，在得到最佳批次的结论后进行记录；复制最佳批次的进料量、氢气量和电流；通过计算硅芯所用电功率q总减去冷却水带走热能q损得出到气场中的能量值△q，得到最佳批次温场曲线；复制过程中通过△q实际值与最佳温场△q标差值的斜率，在最佳电流的基础值上增减电流来实现△q实与△q标趋势接近值，来实现最佳批次的复制，整个自动复制还原炉最佳批次的方法操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

技术特征：

1.一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：包括以下操作步骤：

2.根据权利要求1所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述s4步骤中能量值△q标＝q总-q损。

3.根据权利要求1所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述s4、s5步骤中复制还原炉最佳批次即对还原炉中最佳温场进行观察与复制。

4.根据权利要求1所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述s4、s5步骤在复制还原炉最佳批次时通过电流的改变来缩小实际值的差值。

5.根据权利要求1所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述s1-s3步骤中复制还原炉最佳批次的进料量、氢气量与电流。

6.根据权利要求1所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述s1-s3步骤中进料量监测系统、氢气量监测系统与电流监测系统内部设置进料量监测模块、氢气量监测模块、电流监测模块、数据采集模块、数据传输模块、中央处理模块、曲线制作模块、显示模块与自动复制模块。

7.根据权利要求6所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述进料量监测模块、氢气量监测模块和电流监测模块均连接数据采集模块，所述数据采集模块连接数据传输模块，所述数据传输模块连接中央处理模块，所述中央处理模块连接曲线制作模块、显示模块与自动复制模块。

8.根据权利要求7所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，其特征在于：所述进料量监测模块、氢气量监测模块和电流监测模块的输出端通过数据采集模块、数据传输模块与中央处理模块的输入端电性连接，所述中央处理模块的输出端与曲线制作模块、显示模块和自动复制模块的输入端电性连接。

技术总结本发明公开了一种自动复制还原炉最佳批次的方法，包括以下操作步骤：在得到最佳批次的结论后进行记录，复制最佳批次的进料量、氢气量和电流；通过计算硅芯所用电功率Q<subgt;总</subgt;减去冷却水带走热能Q<subgt;损</subgt;得出到气场中的能量值△Q，得到最佳批次温场曲线；复制过程中通过△Q实际值与最佳温场△Q<subgt;标</subgt;差值的斜率，在最佳电流的基础值上增减电流来实现△Q<subgt;实</subgt;与△Q<subgt;标</subgt;趋势接近值，来实现最佳批次的复制。本发明所述的一种自动复制还原炉最佳批次的方法，实现最佳批次的复制性生产，提高产品质量的稳定性，因其气场为上批次定值、温场为接近值不易发生雾化和硅棒生长缓，可实现指标2％以内浮动，减少人工干预而造成的人为误差。技术研发人员：姬胜永,高锋,张志强受保护的技术使用者：弘元能源科技(包头)有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20