一种硅棒切割液回收处理系统的制作方法

本发明属于晶硅切割的，更具体地说，是涉及一种硅棒切割液回收处理系统。

背景技术：

1、硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。较长的单晶硅棒在进行加工时一般采用单线切割机进行切割截断。

2、单线切割机中通常使用较长的滑轨为载体，通过在滑轨上滑动设置用于支撑硅棒的滑台实现硅棒的传送，通过金刚石切割线对硅棒进行切割，同时需要使用切割液对金刚石切割线切割的位置进行降温。

3、目前仅是在机体位于金刚石切割线下方的位置设置回收箱用于回收切割液，且金刚石切割线的切割位置一般位于整条滑轨的中部位置；但由于切割液会通过滑台和硅棒的移动跟随流动至整条滑轨上及两侧，造成切割液回收效果差和晶硅碎屑的浪费。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种硅棒切割液回收处理系统，以解决现有技术中存在的切割液回收效果差和晶硅碎屑的浪费的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种硅棒切割液回收处理系统，包括设置在机体上并位于滑轨两侧的收集槽，两个所述收集槽的中部位于金刚石切割线下方的位置开设有回收口，所述回收口的下方连通有带有排液口的回收腔，所述回收口处设置有用于对切割液进行过滤的过滤组件，每个所述收集槽内均设置有集中机构，所述集中机构用于将所述收集槽内位于所述回收口两侧位置的切割液和晶硅碎屑集中至所述回收口内。

3、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述过滤组件包括粗过滤网和细过滤网，所述粗过滤网和所述细过滤网呈上下分布设置在所述回收口内。

4、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述回收口呈阶梯状，所述粗过滤网通过螺栓安装在所述回收口内，所述细过滤网放置在所述粗过滤网下方。

5、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述粗过滤网低于所述回收口的上开口。

6、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述集中机构包括刮板和驱动组件，所述刮板有两个并对称分布在所述回收口的两侧，所述驱动组件设置在所述机体上，所述驱动组件用于同时带动两个所述刮板在所述收集槽内相向滑动，所述刮板底面和两侧面均与所述收集槽内壁贴合。

7、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述驱动组件包括驱动电机、驱动螺杆、连接板和折叠伸缩罩，所述机体上设置有位于对应所述收集槽外侧的容纳腔，所述驱动螺杆转动连接在所述容纳腔内并平行于所述收集槽长度方向，所述驱动电机设置在所述机体上并与所述驱动螺杆传动连接；所述收集槽与对应所述容纳腔之间连通有侧口，所述侧口底壁高与所述收集槽底壁；所述驱动螺杆由自身中部分为两段旋向相反的螺纹，两个所述连接板对应螺纹连接在所述驱动螺杆不同旋向的螺纹上，所述连接板贯穿侧口后与所述刮板连接；所述折叠伸缩罩设置在所述侧口内并与所述连接板连接。

8、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述收集槽内底壁由自身两端至所述回收口的方向倾斜降低；所述刮板包括固定板和升降板，所述固定板与所述驱动组件连接并保持水平移动，所述升降板顶面开设有升降槽并滑动连接在所述固定板底部，所述升降槽内设置有与所述固定板连接的顶紧弹簧，所述顶紧弹簧始终处于压缩状态，所述升降板外底壁与所述收集槽内底壁贴合。

9、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述固定板底部开设有释放槽，所述释放槽内升降有连接块，所述顶紧弹簧顶端与所述连接块连接；所述机体与每个所述固定板之间均设置有具有自锁功能的自动升降组件，所述连接块处于初始状态时通过所述自动升降组件自锁在所述释放槽的底部；所述自动升降组件用于在所述固定板移动至所述收集槽端部时带动所述连接块向上滑动，并在所述固定板朝向所述回收口移动时带动所述连接块向下滑动复位。

10、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，所述自动升降组件包括升降块、传动螺杆、传动齿轮和传动齿条，所述释放槽一侧开设有下压槽，所述传动螺杆竖直转动连接在所述下压槽内，所述升降块滑动升降在所述下压槽内并与所述传动螺杆螺纹连接，所述升降块一端延伸至所述释放槽内并抵接所述连接块上方；所述传动齿轮同轴固定在所述传动螺杆上；所述固定板上开设有传动孔，所述传动齿轮一侧位于所述传动孔内；所述传动齿条水平固定在所述收集槽两端的内侧壁上并用于插入所述传动孔内，所述刮板朝向所述收集槽端部移动使所述传动齿条插入所述传动孔内时，所述升降块向上滑动。

11、结合上述技术方案，在一种可能的实现方式中，每个所述固定板上共有两组对应位于所述释放槽两侧的所述自动升降组件，两个所述升降块均抵接在所述连接块上方。

12、本发明提供的一种硅棒切割液回收处理系统的有益效果在于：与现有技术相比，本发明通过两个收集槽能够对整条滑轨上的切割液和晶硅碎屑进行收集，通过集中机构将收集槽内的切割液和晶硅碎屑集中收集到回收口处，并经过过滤组件的过滤实现固液分离，回收口的位置位于金刚石切割线的正下方，能够对大部分切割液和晶硅碎屑进行收集，减小了集中机构的工作负担，整体提高了切割液的回收效果并减少了晶硅碎屑的浪费。

技术特征：

1.一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，包括设置在机体(1)上并位于滑轨(11)两侧的收集槽(2)，两个所述收集槽(2)的中部位于金刚石切割线下方的位置开设有回收口(21)，所述回收口(21)的下方连通有带有排液口的回收腔(22)，所述回收口(21)处设置有用于对切割液进行过滤的过滤组件(3)，每个所述收集槽(2)内均设置有集中机构(4)，所述集中机构(4)用于将所述收集槽(2)内位于所述回收口(21)两侧位置的切割液和晶硅碎屑集中至所述回收口(21)内。

2.如权利要求1所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述过滤组件(3)包括粗过滤网(31)和细过滤网(32)，所述粗过滤网(31)和所述细过滤网(32)呈上下分布设置在所述回收口(21)内。

3.如权利要求2所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述回收口(21)呈阶梯状，所述粗过滤网(31)通过螺栓安装在所述回收口(21)内，所述细过滤网(32)放置在所述粗过滤网(31)下方。

4.如权利要求3所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述粗过滤网(31)低于所述回收口(21)的上开口。

5.如权利要求1所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述集中机构(4)包括刮板(41)和驱动组件(42)，所述刮板(41)有两个并对称分布在所述回收口(21)的两侧，所述驱动组件(42)设置在所述机体(1)上，所述驱动组件(42)用于同时带动两个所述刮板(41)在所述收集槽(2)内相向滑动，所述刮板(41)底面和两侧面均与所述收集槽(2)内壁贴合。

6.如权利要求5所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述驱动组件(42)包括驱动电机(421)、驱动螺杆(422)、连接板(423)和折叠伸缩罩(424)，所述机体(1)上设置有位于对应所述收集槽(2)外侧的容纳腔(12)，所述驱动螺杆(422)转动连接在所述容纳腔(12)内并平行于所述收集槽(2)长度方向，所述驱动电机(421)设置在所述机体(1)上并与所述驱动螺杆(422)传动连接；所述收集槽(2)与对应所述容纳腔(12)之间连通有侧口(13)，所述侧口(13)底壁高与所述收集槽(2)底壁；所述驱动螺杆(422)由自身中部分为两段旋向相反的螺纹，两个所述连接板(423)对应螺纹连接在所述驱动螺杆(422)不同旋向的螺纹上，所述连接板(423)贯穿侧口(13)后与所述刮板(41)连接；所述折叠伸缩罩(424)设置在所述侧口(13)内并与所述连接板(423)连接。

7.如权利要求5所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述收集槽(2)内底壁由自身两端至所述回收口(21)的方向倾斜降低；所述刮板(41)包括固定板(411)和升降板(412)，所述固定板(411)与所述驱动组件(42)连接并保持水平移动，所述升降板(412)顶面开设有升降槽(4121)并滑动连接在所述固定板(411)底部，所述升降槽(4121)内设置有与所述固定板(411)连接的顶紧弹簧(4122)，所述顶紧弹簧(4122)始终处于压缩状态，所述升降板(412)外底壁与所述收集槽(2)内底壁贴合。

8.如权利要求7所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述固定板(411)底部开设有释放槽(4111)，所述释放槽(4111)内升降有连接块(4112)，所述顶紧弹簧(4122)顶端与所述连接块(4112)连接；所述机体(1)与每个所述固定板(411)之间均设置有具有自锁功能的自动升降组件(5)，所述连接块(4112)处于初始状态时通过所述自动升降组件(5)自锁在所述释放槽(4111)的底部；所述自动升降组件(5)用于在所述固定板(411)移动至所述收集槽(2)端部时带动所述连接块(4112)向上滑动，并在所述固定板(411)朝向所述回收口(21)移动时带动所述连接块(4112)向下滑动复位。

9.如权利要求8所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，所述自动升降组件(5)包括升降块(51)、传动螺杆(52)、传动齿轮(53)和传动齿条(54)，所述释放槽(4111)一侧开设有下压槽(511)，所述传动螺杆(52)竖直转动连接在所述下压槽(511)内，所述升降块(51)滑动升降在所述下压槽(511)内并与所述传动螺杆(52)螺纹连接，所述升降块(51)一端延伸至所述释放槽(4111)内并抵接所述连接块(4112)上方；所述传动齿轮(53)同轴固定在所述传动螺杆(52)上；所述固定板(411)上开设有传动孔(541)，所述传动齿轮(53)一侧位于所述传动孔(541)内；所述传动齿条(54)水平固定在所述收集槽(2)两端的内侧壁上并用于插入所述传动孔(541)内，所述刮板(41)朝向所述收集槽(2)端部移动使所述传动齿条(54)插入所述传动孔(541)内时，所述升降块(51)向上滑动。

10.如权利要求9所述的一种硅棒切割液回收处理系统，其特征在于，每个所述固定板(411)上共有两组对应位于所述释放槽(4111)两侧的所述自动升降组件(5)，两个所述升降块(51)均抵接在所述连接块(4112)上方。

技术总结本发明提供了一种硅棒切割液回收处理系统，属于晶硅切割的技术领域，本发明提供的一种硅棒切割液回收处理系统包括设置在机体上并位于滑轨两侧的收集槽，两个收集槽的中部位于金刚石切割线下方的位置开设有回收口，回收口的下方连通有带有排液口的回收腔，回收口处设置有用于对切割液进行过滤的过滤组件，每个收集槽内均设置有集中机构，集中机构用于将收集槽内位于回收口两侧位置的切割液和晶硅碎屑集中至回收口内。本发明通过两个收集槽能够对整条滑轨上的切割液和晶硅碎屑进行收集，通过集中机构将收集槽内的切割液和晶硅碎屑集中收集到回收口处，提高了切割液的回收效果并减少了晶硅碎屑的浪费。技术研发人员：李建华,李新亮,赵金秋,薄永春受保护的技术使用者：唐山晶玉科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20