压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件与流程

本发明涉及一种压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件。

背景技术：

1、以往，晶体谐振器等压电振动器件的制造工序中包含有频率调整制程(process)，通过该频率调整制程，晶体谐振器的频率被调整到规定的目标频率范围内(例如，参照专利文献1)。

2、在用密封构件将晶体振动片的振动部密封之后实施频率调整制程的情况下，要从晶体谐振器的外部照射激光等光束。在此情况下，如果光束的输出功率太大，则振动部的激励电极有可能受到损坏。另外，在晶体谐振器的内部空间中有可能产生飞散物、气体。

3、为了解决上述现有技术的问题，本申请人在日本专利申请第2021－161534号(本申请提出时尚未公开)中公开了以下频率调整方法，即，在密封构件的与激励电极相向的主面上，形成由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；通过从密封构件的外部对频率调整用金属膜照射光束，而将基底金属层加热，以使金属层的至少一部分熔化而蒸发、并附着在激励电极上。

4、然而，日本专利申请第2021－161534号公开的频率调整方法中，存在因在频率调整用金属膜的端部等无法使金属层良好地蒸发，从而金属层上会产生残渣(异物形状)而引起调整后的频率变动这样的问题。

5、【专利文献1】：日本专利第5762811号公报

技术实现思路

1、鉴于上述情况，本发明的目的在于：提供一种在用密封构件将压电振动片的振动部密封之后也能不使压电振动器件的特性降低地容易地进行频率调整、并能防止金属层的残渣产生的压电振动器件及其频率调整方法。

2、为了解决上述技术问题，作为本发明的第一形态的压电振动器件是形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上，形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；从所述密封构件的外部对所述频率调整用金属膜照射光束，通过使所述光束透射到所述密封构件的内部对所述基底金属层加热，而使所述金属层的至少一部分熔化而蒸发并附着在所述激励电极上，来进行频率调整；所述光束的照射至少从所述金属层的区域外开始；并配置为，在光束的扫描方向上，所述基底金属层的长度大于所述金属层的长度，且所述金属层的端部存在于所述基底金属层的端部的内侧。

3、基于上述结构，通过使基底金属层上侧的金属层熔化而蒸发，并使蒸发后的金属附着在激励电极上，能够增加激励电极的质量，使频率向低侧移动。此时，由于光束的照射从金属层的区域外开始，并配置为，在光束的扫描方向上金属层的端部存在于基底金属层的端部的内侧，所以能够确保在金属层与密封构件之间存在基底金属层，从而能经由基底金属层稳定地将金属层加热。其结果，能够避免在频率调整用金属膜的端部金属层材料(例如au)成为异物形状的残渣，从而能够防止残渣从金属层被切成丝而附着在激励电极上。

4、另外，上述压电振动器件的频率调整方法中，可以采用所述频率调整用金属膜具有所述基底金属层的一部分未被所述金属层覆盖而露出的露出部，所述露出部被形成为线状，所述光束沿着所述露出部的线条照射的结构。

5、基于上述结构，能够防止在光束扫描途中的照射线条中，金属层材料(例如au)蒸发不均匀、熔化后的金属层材料呈桥状地残留的情况发生。这样，便能防止因金属层材料呈桥状地残留而导致残渣产生。

6、另外，上述压电振动器件的频率调整方法中，可以采用通过使所述光束不穿透所述基底金属层地进行照射而使所述金属层熔化的结构。

7、基于上述结构，由于光束不穿透频率调整用金属膜，所以能够可靠地避免激励电极受到损坏的情况发生。

8、另外，为了解决上述技术问题，作为本发明的第二形态的压电振动器件是一种形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件，其特征在于：在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上，形成有由基底金属层及层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；所述频率调整用金属膜被配置为，俯视时至少在一个方向上所述基底金属层的长度大于所述金属层的长度，且所述金属层的端部存在于所述基底金属层的端部的内侧。

9、另外，上述压电振动器件中，可以采用至少所述金属层被构成为俯视时与所述激励电极大小相同或小于所述激励电极的结构。

10、基于上述结构，能够防止从金属层蒸发后的金属向激励电极的外侧飞散，确保蒸发后的金属附着在激励电极上。

11、＜发明的效果＞

12、本发明的压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件通过使基底金属层的上层的金属层熔化而蒸发，并使蒸发后的金属附着在激励电极上，即便在将振动部密封之后，也能够进行压电振动器件的频率调整。此时，通过使光束的照射从金属层的区域外开始，并配置为，在光束的扫描方向上金属层的端部位于基底金属层的端部的内侧，能够经由基底金属层稳定地将金属层加热，从而能够避免在频率调整用金属膜的端部产生金属层材料的残渣，防止残渣从金属层被切成丝而附着在激励电极上。

技术特征：

1.一种压电振动器件的频率调整方法，是形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：

2.如权利要求1所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：

3.如权利要求1或2所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：

4.一种压电振动器件，该压电振动器件是形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件，其特征在于：

5.如权利要求4所述的压电振动器件，其特征在于：

技术总结晶体谐振器(100)中，在第二密封构件(30)的第一主面(301)上形成有由基底金属层(36a)和金属层(36b)构成的频率调整用金属膜(36)。晶体谐振器(100)的频率调整中，通过从第二密封构件(30)的外部对频率调整用金属膜(36)照射激光将基底金属层(36a)加热，而使金属层(36b)的至少一部分熔化而蒸发并附着在第二激励电极(112)上。光束的照射从金属层(36b)的区域外开始。并配置为，在光束的扫描方向上，金属层(36b)的端部存在于基底金属层(36a)的端部的内侧。技术研发人员：丸本学受保护的技术使用者：株式会社大真空技术研发日：技术公布日：2024/9/2