支撑基板、复合基板、电子器件和模块的制作方法

本发明涉及电子器件加工制造，尤其涉及一种支撑基板、复合基板、电子器件和模块。

背景技术：

1、近年来，随着技术的发展对弹性波器件例如saw（surface acoustic wave，声表面波滤波器）器件的性能也提出了更高性能的要求。在一些saw器件，例如tc-saw（温度补偿型滤波器）中需要使用压电层基板和支撑基板键合得到的复合基板。因此saw器件的相关工艺中，支撑基板的设计仍然是重点研究方向，例如何种材料适用于做支撑基板也是业内重点关注的问题，比如单晶蓝宝石同样热导性能极好，广泛用于led行业，但也由于其单晶的特性，采用单晶蓝宝石制作的tc-saw一直受到杂讯（spurious）的影响，无法正常滤波。因此如何对支撑基板进行设计以减缓杂讯的反射，实现正常滤波是需要解决的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种能够减缓杂讯的支撑基板、复合基板、电子器件和模块。

2、本发明的一个实施例提供一种支撑基板，所述支撑基板的材料为多晶材料，所述支撑基板中取向差角为2~15°的小角晶界的数量占晶界总数量的1~5%。

3、本发明的一个实施例提供一种支撑基板，所述支撑基板的材料为多晶材料，所述支撑基板中任一表面上任意一个计量区域内，取向差角为2~15°的小角晶界的数量大于或者等于5条；所述计量区域为长度为150微米且宽度为150微米的区域。

4、本发明的一个实施例提供一种复合基板，包括前述任意一项所述的支撑基板，还包括压电层，所述压电层设置于所述支撑基板之上。

5、本发明的一个实施例提供一种电子器件，包括前述任意一项所述的支撑基板或者前述复合基板。

6、本发明的一个实施例提供一种模块，包括布线基板、多个外部连接端子、集成电路部件、电感器和密封部，以及前述电子器件。

7、本发明上述实施例至少具有如下一个或多个有益效果：通过具有特殊的晶界占比的支撑基板可以有效削减纵波传输的能量，进而有效减缓杂讯的反射，实现正常滤波，可以适用于3.5g以上的频段。

技术特征：

1.一种支撑基板，其特征在于，所述支撑基板的材料为多晶材料，所述支撑基板中取向差角为2~15°的小角晶界的数量占晶界总数量的1~5%。

2.如权利要求1所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板具有主支撑面，所述支撑基板中横向截面或横向表面的所述小角晶界的数量占所述晶界总数量的1~5%，所述横向表面为所述主支撑面或者平行于所述主支撑面；所述横向截面平行于所述主支撑面。

3.如权利要求1所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板的任一表面上所述小角晶界的数量占所述晶界总数量的1~5%。

4.如权利要求1所述的支撑基板，其特征在于，在所述支撑基板的任一表面上任意一个计量区域内，所述小角晶界的数量大于或者等于5条，所述计量区域为长度为150微米且宽度为150微米的区域。

5.如权利要求4所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中晶粒的粒径为5~60微米，在所述支撑基板的任一表面上任意一个所述计量区域内所述小角晶界的数量大于或者等于25条。

6.如权利要求4所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中晶粒的粒径为1~5微米，在所述支撑基板的任一表面上任意一个所述计量区域内所述小角晶界的数量大于或者等于40条。

7.如权利要求1所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中所述小角晶界的数量占所述晶界总数量的3~4%。

8.如权利要求1所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中所述取向差角的分布峰值为30~60°。

9.如权利要求1~8任意一项所述的支撑基板，其特征在于，所述多晶材料为多晶镁铝尖晶石、多晶蓝宝石、多晶氮化铝、多晶氧化镁、多晶石英中的任意一种。

10.如权利要求4所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中所述小角晶界的数量占晶界总数量的3~4%。

11.如权利要求10所述的支撑基板，其特征在于，所述支撑基板中所述取向差角的分布峰值为30~60°。

12.一种复合基板，其特征在于，包括如权利要求1~11中任意一项所述的支撑基板，还包括压电层，所述压电层设置于所述支撑基板之上。

13.一种电子器件，其特征在于，包括如权利要求12所述的复合基板。

14.如权利要求13所述的电子器件，其特征在于，还包括idt电极，所述idt电极位于所述压电层背向所述支撑基板的主面上。

15.如权利要求14所述的电子器件，其特征在于，还包括位于所述压电层和所述支撑基板之间的中间层，所述中间层的声速低于所述压电层的声速。

16.如权利要求15所述的电子器件，其特征在于，所述中间层的厚度大于或者等于0.5λ，其中λ为以所述idt电极的电极周期所确定的弹性波的波长。

17.如权利要求14所述的电子器件，其特征在于，所述压电层的厚度小于或者等于2λ，其中λ为以所述idt电极的电极周期所确定的弹性波的波长。

18.一种模块，其特征在于，包括布线基板、多个外部连接端子、集成电路部件、电感器和密封部，以及如权利要求13~17任意一项所述的电子器件。

技术总结本发明实施例提供一种支撑基板、复合基板、电子器件和模块，本发明实施例公开的支撑基板的材料为多晶材料，所述支撑基板中取向差角为2~15°的小角晶界的数量占晶界总数量的1~5%。本发明实施例通过具有特定小角晶界占比的支撑基板能够有效抑制杂讯保证正常滤波。技术研发人员：枋明辉,蔡文必,林仲和,黄世维,刘艺霖受保护的技术使用者：泉州市三安集成电路有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2