压电元件应用器件的制作方法

本发明涉及一种压电元件应用器件。

背景技术：

1、压电元件一般具备基板、具有机电转换特性的压电体层、以及对压电体层进行夹持的两个电极。近年来，使用这样的压电元件来作为驱动源的器件(压电元件应用器件)的开发正在盛行。作为压电元件应用器件之一，具有以喷墨式记录头为代表的液体喷射头、以压电mems元件为代表的mems要素、以超声波传感器等为代表的超声波测量装置，还有压电致动器装置等。

2、作为压电元件的压电体层的材料(压电材料)，已知有锆钛酸铅(pzt)。但是，近年来，从减少环境负荷的观点出发，正在推进抑制了铅的含量的非铅系的压电材料的开发。

3、作为一种非铅系的压电材料，例如像专利文献1、2那样提出了铌酸钾钠(knn；(k，na)nbo3)。

4、具体而言，在专利文献1中，公开了一种压电元件，该压电元件具备第一电极、第二电极、设置在第一电极与第二电极之间的由包含钾、钠以及铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜的压电体层(knn系压电体层)。此外，在专利文献1中，公开了一种振动板，该振动板由弹性膜和绝缘体膜构成，所述弹性膜形成在基板上且由二氧化硅构成，所述绝缘体膜形成在弹性膜上且由氧化锆构成。专利文献1所公开的由氧化锆构成的绝缘体膜具备抑制构成压电体层的钾等成分向基板侧的扩散的功能。

5、如上文所述，迄今为止提出有作为非铅系的压电材料之一而使用了knn的压电元件(knn系压电元件)。但是，已知knn系压电体层的位移特性小于现有的铅系的压电体层(例如，pzt压电体层)的位移特性，在将基板的一部分设为了弹性膜的压电元件以及具备该压电元件的压电元件应用器件(压电器件)中，仅通过将pzt压电体层置换为knn压电体层，存在振动板的位移量降低而无法满足作为压电器件的要求标准的情况。

6、根据这样的情况，寻求一种能够提高振动板的位移量的knn系压电元件。

7、另外，这样的问题并未被限定于搭载在以喷墨式记录头为代表的液体喷射头上的压电致动器，在其他压电元件应用器件中也同样存在。

8、专利文献1：日本特开2018-133458号公报

技术实现思路

1、为了解决上述的课题，根据本发明的一个方式，提供一种压电元件应用器件，其特征在于，具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在所述振动板的上方；种子层，其形成在所述第一电极以及所述振动板的上方；压电体层，其形成在所述种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在所述压电体层上，所述振动板还包含钾和钠，在所述振动板以及所述压电体层的二次离子质谱分析中，所述振动板中的钾的强度低于所述压电体层中的钾的强度，所述振动板中的钠的强度低于所述压电体层中的钠的强度。

技术特征：

1.一种压电元件应用器件，其特征在于，具备：

2.如权利要求1所述的压电元件应用器件，其特征在于，

3.如权利要求1所述的压电元件应用器件，其特征在于，

4.如权利要求1所述的压电元件应用器件，其特征在于，

5.如权利要求4所述的压电元件应用器件，其特征在于，

6.如权利要求1所述的压电元件应用器件，其特征在于，

技术总结本发明提供一种能够提高振动板的位移量的压电元件应用器件。本发明的压电元件应用器件具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在振动板的上方；种子层，其形成在第一电极以及振动板的上方；压电体层，其形成在种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在压电体层上，振动板还包含钾和钠，在振动板以及压电体层的二次离子质谱分析中，振动板中的钾的强度低于压电体层中的钾的强度，振动板中的钠的强度低于压电体层中的钠的强度。技术研发人员：板山泰裕,堀场靖央,竹内正浩受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社技术研发日：技术公布日：2024/9/12