半导体传送设备的动画匹配方法、装置、设备及介质与流程

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种半导体传送设备的动画匹配方法、装置、设备及介质。

背景技术：

1、半导体制造流程中会涉及到各种各样的机台，由于其工艺复杂，且加工材料种类繁多，通常会采用如机械臂等传送设备来实现晶圆在各个机台部件之间的传输工作。而大部分晶圆传输都是在机台内部进行操作的，无法用肉眼直接观测到传送设备的实际机械动作，因此，会通过机台监控软件对当前的传送设备动作进行动画展示。

2、为了能够使得机台监控软件上，对应的传送设备动画能够尽可能的贴近实际传送设备的动作，机台监控软件对每个传送动作的时间都预先设定了对应的动作参数。但是，如果传送设备由于年久失修、润滑不足或者人为对该设备的速度参数进行调整，导致其整体速度发生变化，比如：伸出时间由1秒变为2秒，缩回时间由1.5秒变为5秒，那么机台监控软件所展示的动画就会与实际动作发生脱节。此时如果基于动画所展示的状态向传送设备发送下一操作指令，则容易导致晶圆或设备发送碰撞损坏。

3、对于上述问题，通常是直接将上一次的传送设备实际动作时间作为当前动画动作时间。但在当机台维护人员发现故障问题并进行修复之后，机台传送设备的动作又恢复正常，而此时机台监控软件的动画时间还是上一次的传送设备实际动作时间，那么，当机台进入正常作业时，就又会出现动画与实际传送设备机械动作完全匹配不上的问题。

4、因此，如何提供一种能够实现半导体传送设备与动画自主匹配的技术方案，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本技术提供了一种半导体传送设备的动画匹配方法、装置、设备及介质，实现了对虚拟动画中动作参数的自主纠偏，能够及时有效地避免操作人员在基于虚拟动画进行机台操作时因动画展示误差而产生误判的风险，从而保证半导体传送设备的安全性和工作效率。

2、根据本技术的一方面，提供了一种半导体传送设备的动画匹配方法，该方法包括：

3、根据半导体工艺流程确定半导体传送设备在执行目标动作时所需的预设时长，以控制所述半导体传送设备按照所述预设时长执行当前目标动作，以及控制虚拟动画中半导体传送设备模型按照所述预设时长演示所述当前目标动作；

4、对所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作时的数据进行采集，确定所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作所用的当前时长；

5、根据所述预设时长、所述当前时长以及所述半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长构建预测模型，基于所述预测模型对所述虚拟动画中半导体传送设备模型演示下一目标动作时所需的时长进行预测，确定目标时长。

6、进一步的，根据所述预设时长、所述当前时长以及所述半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长构建预测模型，基于所述预测模型对所述虚拟动画中半导体传送设备模型演示下一目标动作时所需的时长进行预测，确定目标时长，包括：

7、根据所述预设时长、所述当前时长以及所述半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长，构建目标函数；其中，所述目标函数采用如下公式进行表示：，式中，表示时长，表示半导体传送设备执行目标动作的次序；

8、对所述目标函数在所述当前时长处的增量进行求解，确定与所述当前时长对应的梯度；其中，所述梯度为所述当前时长在所述目标函数上对应的变化率；

9、根据所述梯度和预设步长，确定变化时长，并将与所述梯度相反的方向作为所述变化时长的方向；

10、根据所述变化时长和所述当前时长，确定目标时长。

11、进一步的，根据所述梯度和预设步长，确定变化时长，包括：

12、将所述梯度和预设步长进行相乘，并将乘积结果确定为变化时长。

13、进一步的，所述预设步长根据所述当前时长和所述预设时长进行确定。

14、进一步的，对所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作时的数据进行采集，确定所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作所用的当前时长，包括：

15、对所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作时的动作进行识别，确定执行开始时间和执行结束时间；

16、根据所述执行开始时间和所述执行结束时间，确定所述半导体传送设备的实际动作时长。

17、进一步的，控制所述半导体传送设备按照所述预设时长执行当前目标动作，以及控制虚拟动画中半导体传送设备模型按照所述预设时长演示所述当前目标动作，包括：

18、根据所述目标动作和所述预设时长，确定第一目标速度和第二目标速度；

19、控制所述半导体传送设备按照所述第一目标速度执行当前目标动作，以及控制虚拟动画中半导体传送设备模型按照所述第二目标速度演示所述当前目标动作。

20、根据本技术的另一方面，提供了一种半导体传送设备的动画匹配装置，该装置包括：

21、预设时长确定模块，用于根据半导体工艺流程确定半导体传送设备在执行目标动作时所需的预设时长，并控制所述半导体传送设备按照所述预设时长执行当前目标动作，以及控制虚拟动画中半导体传送设备模型按照所述预设时长演示所述当前目标动作；

22、当前时长确定模块，用于对所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作时的数据进行采集，确定所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作所用的当前时长；

23、目标函数构建模块，用于根据所述预设时长、所述当前时长以及所述半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长，构建目标函数；其中，所述目标函数采用如下公式进行表示：，式中，表示时长，表示半导体传送设备执行目标动作的次序；

24、梯度确定模块，用于对所述目标函数在所述当前时长处的增量进行求解，确定与所述当前时长对应的梯度；其中，所述梯度为所述当前时长在所述目标函数上对应的变化率；

25、变化时长确定模块，用于根据所述梯度和预设步长，确定变化时长，并将与所述梯度相反的方向作为所述变化时长的方向；

26、目标时长确定模块，用于根据所述变化时长和所述当前时长，确定目标时长。

27、根据本技术的另一方面，提供了一种电子设备，该设备包括：

28、至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本技术任一实施例所述的半导体传送设备的动画匹配方法。

29、根据本技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本技术任一实施例所述的半导体传送设备的动画匹配方法。

30、本技术提供的技术方案，通过根据半导体工艺流程确定半导体传送设备在执行目标动作时所需的预设时长，以控制半导体传送设备以及虚拟动画中半导体传送设备模型按照预设时长执行或演示当前目标动作；对半导体传送设备在执行当前目标动作时的数据进行采集，确定半导体传送设备在执行当前目标动作所用的当前时长；根据预设时长、当前时长以及半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长，对虚拟动画中半导体传送设备模型演示下一目标动作时所需的时长进行预测，确定目标时长。本技术方案，实现了对虚拟动画中动作参数的自主纠偏，从而保证半导体传送设备的安全性和工作效率。

31、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。