一种单晶硅生产炉结构的制作方法

本技术涉及单晶硅生产炉领域，特别涉及一种单晶硅生产炉结构。

背景技术：

1、单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备，生产过程即是将硅料经过高温熔融，随后在晶体生长炉内进行晶体生长，再通过切割和加工等环节得到产品，直拉法生产的单晶硅的晶体纯度高，多晶硅的缺陷和杂质得到了很大程度上的减少，同时可生产直径大、厚度薄、纯度高的单晶硅大片，由于晶体生长速度快，因此该方法生产效率高产量大。

2、然而对于晶体棒的直径大小一般取决于拉动的速度，但是若是生长炉的本身直径较小，那么此时就会限制晶体棒的直径，生产中一般会选择更换直径大小更大的生长炉，然而更换十分的繁琐同时整体的生产成本也相当大。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种单晶硅生产炉结构，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种单晶硅生产炉结构，包括生长腔体，所述生长腔体的顶部设置为倾斜状，所述生长腔体的底部设置为半球状，所述生长腔体的表面安装有安装轴，所述生长腔体的外部安装有固定底座，所述安装轴活动安装在固定底座的内部，所述固定底座的表面安装有驱动组件，用于使得安装轴转动。

3、所述驱动组件包括步进电机，所述固定底座的内部安装有转杆，所述转杆的表面套接有直齿轮，所述直齿轮的表面活动贯穿固定底座并延伸至外部，所述固定底座的下表面固定安装有弧形齿条，所述弧形齿条与直齿轮啮合，所述转杆的表面安装有卡位组件。

4、所述卡位组件包括两个卡槽，两个所述卡槽均开设在转杆的表面，所述固定底座的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有可移动的卡块，所述卡块的一端卡在卡槽的内部。

5、所述卡块的两端为磁极极性不同的磁块，所述固定底座的内部安装有电磁块，所述电磁块位于安装槽的正上方。

6、所述固定底座设置为u型，所述固定底座位于生长腔体转动方向的两侧设置为敞开状。

7、所述安装轴安装在生长腔体半球状的圆心位置。

8、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

9、1、本实用新型中，通过设置生长腔体，当需要生产更大直径的单晶硅棒时，就可以使得生长腔体进行转动，直至生长腔体的斜切口处于完全水平的状态，此时的出口直径相对于初始的生长腔体直径更大，因此就可以直拉出直径更大的单晶硅棒，结构十分简单方便，节约生产成本。

10、2、本实用新型中，通过设置直齿轮、弧形齿环和步进电机，步进电机启动，步进电机的输出轴带动转杆进行转动，从而通过直齿轮带动弧形齿条的移动，进而就能够使得生长腔体绕着安装轴的圆心转动，根据力矩的计算公式，由于安装轴为圆心，因此对比于将步进电机之间安装在安装轴的端部更省力。

技术特征：

1.一种单晶硅生产炉结构，包括生长腔体(1)，其特征在于：所述生长腔体(1)的顶部设置为倾斜状，所述生长腔体(1)的底部设置为半球状，所述生长腔体(1)的表面安装有安装轴(2)，所述生长腔体(1)的外部安装有固定底座(3)，所述安装轴(2)活动安装在固定底座(3)的内部，所述固定底座(3)的表面安装有驱动组件，用于使得安装轴(2)转动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产炉结构，其特征在于：所述驱动组件包括步进电机(4)，所述固定底座(3)的内部安装有转杆(5)，所述转杆(5)的表面套接有直齿轮(6)，所述直齿轮(6)的表面活动贯穿固定底座(3)并延伸至外部，所述固定底座(3)的下表面固定安装有弧形齿条(7)，所述弧形齿条(7)与直齿轮(6)啮合，所述转杆(5)的表面安装有卡位组件。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅生产炉结构，其特征在于：所述卡位组件包括两个卡槽(8)，两个所述卡槽(8)均开设在转杆(5)的表面，所述固定底座(3)的内部开设有安装槽(9)，所述安装槽(9)的内部安装有可移动的卡块(10)，所述卡块(10)的一端卡在卡槽(8)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅生产炉结构，其特征在于：所述卡块(10)的两端为磁极极性不同的磁块，所述固定底座(3)的内部安装有电磁块(11)，所述电磁块(11)位于安装槽(9)的正上方。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产炉结构，其特征在于：所述固定底座(3)设置为u型，所述固定底座(3)位于生长腔体(1)转动方向的两侧设置为敞开状。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产炉结构，其特征在于：所述安装轴(2)安装在生长腔体(1)半球状的圆心位置。

技术总结本技术公开了一种单晶硅生产炉结构，包括生长腔体，所述生长腔体的顶部设置为倾斜状，所述生长腔体的底部设置为半球状，生长腔体的表面安装有安装轴，生长腔体的外部安装有固定底座，安装轴活动安装在固定底座的内部，固定底座的表面安装有驱动组件，用于使得安装轴转动，驱动组件包括步进电机，固定底座的内部安装有转杆。本技术所述的一种单晶硅生产炉结构，通过设置生长腔体，当需要生产更大直径的单晶硅棒时，就可以使得生长腔体进行转动，直至生长腔体的斜切口处于完全水平的状态，此时的出口直径相对于初始的生长腔体直径更大，因此就可以直拉出直径更大的单晶硅棒，结构十分简单方便，节约生产成本。技术研发人员：王俊生,李豹,霍然,李恒,许普,韩东,秦建新,王永强,荆辉受保护的技术使用者：内蒙古晶祥工贸有限公司技术研发日：20240116技术公布日：2024/9/17