一种硬脆晶圆的抛光装置的制作方法

本技术涉及抛光设备，具体为一种硬脆晶圆的抛光装置。

背景技术：

1、晶圆从大硅片上切割下来，以及晶圆的边角加工等，难免发生磕碰，导致晶圆表面有划痕，此外，大硅片也是未抛光的，这时就需要对晶圆的表面进行打磨抛光。

2、现有的打磨抛光机在对晶圆进行打磨抛光时，抛光头与晶片接触时难免会产生一定的压力，若是不能将这种压力进行缓解那么在对晶圆进行抛光时可能会导致晶圆出现碎裂的现象。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硬脆晶圆的抛光装置，以解决上述背景技术中提到的现有的打磨抛光机在对晶圆进行打磨抛光时，抛光头与晶片接触时难免会产生一定的压力，若是不能将这种压力进行缓解那么在对晶圆进行抛光时可能会导致晶圆出现碎裂的现象的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硬脆晶圆的抛光装置，包括操作台，所述操作台的底部固定安装有四个支撑腿，四个所述支撑腿呈矩形阵列在操作台底部，所述操作台的上表面两侧位置均固定安装有两个缩放杆，所述操作台的上表面两侧位置固定安装有两个竖板，所述竖板的内侧表面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的前端活动插设有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿至电动推杆，所述螺纹杆的顶端固定安装有旋钮，所述螺纹杆的底部固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的底部固定安装有压块。

3、采用上述技术方案，通过操作台底部所安装的支撑腿便于对抛光装置进行支撑，然后当晶圆放置好之后，先通过竖板内表面所安装的电动推杆推动至所需要的位置，然后再转动旋钮，当旋钮转动时会带动贯穿至电动推杆的螺纹杆进行下降，当螺纹杆下降时会带动底部缓冲弹簧底部的压块对晶圆进行限制，然后螺纹杆底部安装的缓冲弹簧可以减缓压块对晶圆限位时的压力，因压块所使用的软质橡胶可以防止压块在对晶圆进行限位时而导致晶圆上出现压痕的效果，同时也达到了对晶圆进行限位的效果。

4、优选的，所述缩放杆的顶端固定安装有顶板，所述顶板的底部两侧位置均固定安装有调节块，所述调节块底部活动安装有风机。

5、采用上述技术方案，通过顶板底部所安装的调节块可以使调节块底部所安装的风机进行调整角度，当在对晶圆进行抛光时会产生一些碎屑，然后当风机调整好角度时会将抛光出来的碎屑吹散，将碎屑吹进到滤网内。

6、优选的，所述顶板的上表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿至顶板，所述驱动电机的输出端外表面固定安装有限位块，所述驱动电机的输出端套设有缓冲块。

7、采用上述技术方案，通过顶板上所安装的驱动电机便于带动抛光盘对晶圆进行抛光，然后驱动电机输出端固定安装的限位块可以使驱动电机输出端转动时带动缓冲块进行转动，然后缓冲块可以减缓抛光圆与晶圆所接触时的压力。

8、优选的，所述驱动电机的底部输出端固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲块的外表面开设有四个呈圆周整列的滑槽，所述缓冲块的底部固定安装有抛光盘。

9、采用上述技术方案，通过电机输出端底部固定安装的缓冲弹簧来对抛光盘与晶圆所接触的压力进行缓冲，同时缓冲块外表面呈圆周开设的滑槽便于使在驱动电机输出端所安装的限位块进行上下平移，且限位块呈十字设置可以使缓冲块带动抛光盘进行转动，当缓冲块内的缓冲弹簧带动抛光盘上下移动时会减缓抛光盘与晶圆所接触时产生的压力。

10、优选的，所述操作台的上表面设置有升降板，所述操作台的中间位置固定安装有漏网，所述操作台的底部固定安装有收集抽屉。

11、采用上述技术方案，通过操作台上的升降板可以进行升降防止碎屑飞散出去，且升降板升降的高度不会影响到电动推杆，当碎屑吹散时会经过操作台上的滤网将抛光出来的碎屑吹进收集抽屉内，以便于对抛光出来的碎屑进行收集，防止抛光出来的碎屑影响到晶圆抛光时的最终效果。

12、优选的，所述压块所使用的材质为软质橡胶。

13、采用上述技术方案，通过压块所使用的软质橡胶可以防止压块在对晶圆进行限位时而导致晶圆上出现压痕的效果。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

15、1、该一种硬脆晶圆的抛光装置，通过缓冲块外表面呈圆周开设的滑槽便于使在驱动电机输出端所安装的限位块进行上下平移，且限位块呈十字设置可以使缓冲块带动抛光盘进行转动，当缓冲块内的缓冲弹簧带动抛光盘上下移动时会减缓抛光盘与晶圆所接触时产生的压力，防止晶圆出现碎裂的现象。

16、2、该一种硬脆晶圆的抛光装置，通过竖板内表面所安装的电动推杆推动至所需要的位置，然后再转动旋钮，当旋钮转动时会带动贯穿至电动推杆的螺纹杆进行下降，当螺纹杆下降时会带动底部缓冲弹簧底部的压块对圆晶进行限制防止在对圆晶进行抛光时圆晶出现晃动而导致抛光的效果差。

17、3、该一种硬脆晶圆的抛光装置，当风机调整好角度时会将抛光出来的碎屑吹散，当碎屑吹散时会经过操作台上的滤网将抛光出来的碎屑吹进收集抽屉内，以便于对抛光出来的碎屑进行收集，同时也便于对碎屑进行清理，有效的防止抛光出来的碎屑影响到晶圆抛光时的最终效果。

技术特征：

1.一种硬脆晶圆的抛光装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)的底部固定安装有四个支撑腿(2)，四个所述支撑腿(2)呈矩形阵列在操作台(1)底部，所述操作台(1)的上表面两侧位置均固定安装有两个缩放杆(3)，所述操作台(1)的上表面两侧位置固定安装有两个竖板(4)，所述竖板(4)的内侧表面固定安装有电动推杆(5)，所述电动推杆(5)的前端活动插设有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)贯穿至电动推杆(5)，所述螺纹杆(6)的顶端固定安装有旋钮(7)，所述螺纹杆(6)的底部固定安装有缓冲弹簧(8)，所述缓冲弹簧(8)的底部固定安装有压块(9)。

2.根据权利要求1所述的一种硬脆晶圆的抛光装置，其特征在于：所述缩放杆(3)的顶端固定安装有顶板(10)，所述顶板(10)的底部两侧位置均固定安装有调节块(11)，所述调节块(11)底部活动安装有风机(12)。

3.根据权利要求2所述的一种硬脆晶圆的抛光装置，其特征在于：所述顶板(10)的上表面固定安装有驱动电机(13)，所述驱动电机(13)的输出端贯穿至顶板(10)，所述驱动电机(13)的输出端外表面固定安装有限位块(14)，所述驱动电机(13)的输出端套设有缓冲块(15)。

4.根据权利要求3所述的一种硬脆晶圆的抛光装置，其特征在于：所述驱动电机(13)的底部输出端固定安装有缓冲弹簧(8)，所述缓冲块(15)的外表面开设有四个呈圆周整列的滑槽(16)，所述缓冲块(15)的底部固定安装有抛光盘(17)。

5.根据权利要求1所述的一种硬脆晶圆的抛光装置，其特征在于：所述操作台(1)的上表面设置有升降板(18)，所述操作台(1)的中间位置固定安装有漏网(19)，所述操作台(1)的底部固定安装有收集抽屉(20)。

6.根据权利要求1所述的一种硬脆晶圆的抛光装置，其特征在于：所述压块(9)所使用的材质为软质橡胶。

技术总结本技术涉及抛光设备技术领域，且公开了一种硬脆晶圆的抛光装置，包括操作台，所述操作台的底部固定安装有四个支撑腿，所述操作台的上表面两侧位置固定安装有两个竖板，所述竖板的内侧表面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的前端活动插设有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿至电动推杆，所述螺纹杆的顶端固定安装有旋钮，所述螺纹杆的底部固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的底部固定安装有压块，该一种硬脆晶圆的抛光装置，通过缓冲块外表面开设的滑槽便于使在驱动电机输出端安装的限位块进行上下平移，当缓冲块内的缓冲弹簧带动抛光盘上下移动时会减缓抛光盘与晶圆所接触时产生的压力，防止晶圆出现碎裂的现象。技术研发人员：王永光,吴社竹,黄冬梅,苏高峰,许春受保护的技术使用者：江锦（海宁）微电子科技有限公司技术研发日：20240126技术公布日：2024/9/17