一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备的制作方法

本发明涉及半导体制造设备，具体是一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备。

背景技术：

1、在半导体行业中，不锈钢洁净管的应用十分广泛，尤其是弯头部分，其表面光洁度对于保证流体的纯净度和流动性至关重要。因此，开发一种能够有效提高弯头表面抛光质量的设备显得尤为重要。

2、传统的电解抛光设备在处理弯头产品时，往往难以确保电解液均匀覆盖弯头的每一个角落，导致抛光效果不均匀，气泡多，容易出现死角。为了克服这一问题，本发明提出了一种全新的电解抛光设备设计。

技术实现思路

1、针对以上问题，本发明提供了一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，旨在提高电解抛光的均匀性和抛光质量。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，包括：

3、同心设置的外筒和内筒，二者底部通过底板共同封堵，外筒与内筒之间形成环形空间，该环形空间与底板结合构成一个环形槽；

4、储液池，用于存储电解液；

5、输送泵，其输入端通过抽液管接入储液池的液面以下，输出端通过输送管连接到环形槽，底板设有回液口，该回液口通过回流管连接到储液池；

6、其中，通过输送泵、抽液管、输送管和回流管，实现电解液在环形槽内的动态平衡。

7、在一些实施例中，外筒的侧壁上呈环形阵列排布开设有若干外贯穿口，外筒的内侧壁上设有一圈外防水弹性筒，外防水弹性筒的上下两侧分别与外筒内侧壁的上下两侧固定，外防水弹性筒的中间部位则不被固定，可被自由弹性拉扯以及自行复位，每个外贯穿口内均插入有一片外磁片，外磁片的一端留在外筒的外侧，另一端贯穿外贯穿口并与外防水弹性筒的外侧壁中部相固定；

8、内筒的侧壁上呈环形阵列排布开设有若干内贯穿口，内筒的外侧壁上设有一圈内防水弹性筒，内防水弹性筒的上下两侧分别与内筒外侧壁的上下两侧固定，内防水弹性筒的中间部位则不被固定，可被自由弹性拉扯以及自行复位，每个内贯穿口内均插入有一片内磁片，内磁片的一端留在内筒的内侧，另一端贯穿内贯穿口并与内防水弹性筒的内侧壁中部相固定；

9、外磁片与内磁片均与不锈钢洁净管弯头磁性吸附；

10、在一些实施例中，外磁片与外防水弹性筒接触的一侧以及内磁片与内防水弹性筒接触的一侧均设计为圆弧状。

11、在一些实施例中，外磁片和内磁片均为可调控磁力的电磁铁。

12、在一些实施例中，外筒上螺纹箍设有外定位件，外定位件位于各外磁片的上方，可通过旋转外定位件来对其进行升降调节，以使其压紧各外磁片或者与各外磁片完全脱离接触，外定位件用于对各外磁片进行定位，使得外磁片在磁力完全消除之后依然能够保持将外防水弹性筒顶至隆起的状态；

13、内筒的顶部螺纹拧入有内定位件，内定位件位于各内磁片的上方，可通过旋转内定位件来对其进行升降调节，以使其压紧或完全脱离各内磁片，内定位件用于对各内磁片进行定位，使得内磁片在磁力完全消除之后依然能够保持将内防水弹性筒顶至隆起的状态。

14、在一些实施例中，底板通过多根呈环形阵列排布设置的支柱支撑设置，储液池设于底板的下方，各根支柱环绕设置于储液池的周围。

15、在一些实施例中，回液口呈斗状。

16、在一些实施例中，外防水弹性筒和内防水弹性筒均为橡胶材质。

17、综上所述，本发明具有以下有益效果：

18、提高抛光均匀性：通过设计使电解液的流动路径与洁净管弯头的弯曲曲率一致，确保电解液能够均匀覆盖弯头的每个角落，避免了传统方法中可能出现的抛光不均匀或死角问题。

19、优化电解液流动：引入磁吸和防水弹性筒设计，使电解液能够更集中地流经弯头，形成文丘里流动路径，加快电解抛光进程，并提高电解液的利用率。

20、提高生产效率：由于电解液的流动更加贴合弯头形状，加速电解反应过程，从而缩短抛光时间，提高生产效率。

21、降低成本和能耗：优化的电解液流动路径减少无效的电解液流动和能量损失，从而降低生产成本和能耗。

22、改善抛光质量：贴合弯头曲率的电解液流动减少气泡和杂质的附着，提高抛光表面的光洁度和质量。

23、灵活性和适用性：采用电磁铁作为磁片，可以灵活调控磁吸力，适配不同规格的洁净管弯头，同时降低或消除磁场对电解抛光工艺的影响。

24、综上所述，本发明显著提高了半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光的均匀性、质量和效率，同时降低了生产成本和能耗，为半导体行业的洁净管加工带来了实质性的技术进步。

技术特征：

1.一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，外筒(8)的侧壁上呈环形阵列排布开设有若干外贯穿口(801)，外筒(8)的内侧壁上设有一圈外防水弹性筒(802)，外防水弹性筒(802)的上下两侧分别与外筒(8)内侧壁的上下两侧固定，外防水弹性筒(802)的中间部位则不被固定，可被自由弹性拉扯以及自行复位，每个外贯穿口(801)内均插入有一片外磁片(803)，外磁片(803)的一端留在外筒(8)的外侧，另一端贯穿外贯穿口(801)并与外防水弹性筒(802)的外侧壁中部相固定；

3.根据权利要求2所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，外磁片(803)与外防水弹性筒(802)接触的一侧以及内磁片(903)与内防水弹性筒(902)接触的一侧均设计为圆弧状。

4.根据权利要求2所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，外磁片(803)和内磁片(903)均为可调控磁力的电磁铁。

5.根据权利要求4所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，外筒(8)上螺纹箍设有外定位件(804)，外定位件(804)位于各外磁片(803)的上方，可通过旋转外定位件(804)来对其进行升降调节，以使其压紧各外磁片(803)或者与各外磁片(803)完全脱离接触，外定位件(804)用于对各外磁片(803)进行定位，使得外磁片(803)在磁力完全消除之后依然能够保持将外防水弹性筒(802)顶至隆起的状态；

6.根据权利要求1所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，底板(6)通过多根呈环形阵列排布设置的支柱(7)支撑设置，储液池(1)设于底板(6)的下方，各根支柱(7)环绕设置于储液池(1)的周围。

7.根据权利要求1所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，回液口(601)呈斗状。

8.根据权利要求1所述的一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，其特征在于，外防水弹性筒(802)和内防水弹性筒(902)均为橡胶材质。

技术总结本发明提供了一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，涉及半导体制造设备技术领域，主要包括：同心设置的外筒和内筒，二者底部通过底板共同封堵，外筒与内筒之间形成环形空间，该环形空间与底板结合构成一个环形槽；储液池，用于存储电解液；输送泵，其输入端通过抽液管接入储液池的液面以下，输出端通过输送管连接到环形槽，底板设有回液口，该回液口通过回流管连接到储液池；其中，通过输送泵、抽液管、输送管和回流管，实现电解液在环形槽内的动态平衡。本发明提供了一种半导体级不锈钢洁净管弯头电解抛光设备，旨在提高电解抛光的均匀性和抛光质量。技术研发人员：张益民,金相奎,庞志勇受保护的技术使用者：江西祐席半导体材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26