散热装置及外延片加热装置的制作方法

本发明涉及激光器，尤其是涉及一种散热装置及外延片加热装置。

背景技术：

1、现有的外延片加热装置中，散热装置的顶面上装配多个呈阵列排布的散热座，每个散热座上安装有芯片。

2、散热座和顶面上对应设置有连接结构，从而将散热座的底面固定连接在顶面上，而顶面上设置连接结构会影响散热装置内部的水路设置，并且，逐一连接散热座效率较低。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种散热装置及外延片加热装置，以缓解现有的散热座固定影响基座内部水路的技术问题。

2、第一方面，本发明实施例提供的一种散热装置，包括：基座、散热座和横梁，所述横梁与所述基座连接；

3、所述横梁上设置有限位部，所述散热座的至少一部分位于所述限位部和基座之间，以使所述散热座被所述限位部压紧固定在所述基座上，所述散热座、横梁与基座之间相对固定设置。

4、进一步的，同一个所述横梁上的所述限位部能够压紧固定至少一个散热座。

5、进一步的，所述限位部能够压紧呈横向排列的至少两个散热座。

6、进一步的，所述散热座的侧壁上设置有沿横向延伸的限位槽；

7、所述限位部位于所述限位槽内，所述限位部用于阻止所述散热座沿竖向运动。

8、进一步的，所述限位部的端部设置有固定端，所述固定端与所述基座连接。

9、进一步的，所述横梁上的固定端的数量至少为两个，两个所述固定端之间形成容纳所述散热座的横向空间，以限制所述散热座横向移动范围。

10、进一步的，所述固定端与所述限位部可拆卸连接。

11、进一步的，至少两个所述横梁沿纵向排布，以使被压紧的多个所述散热座呈阵列排布。

12、进一步的，纵向相邻的两个所述横梁的限位部阻止所述散热座沿纵向运动。

13、进一步的，所述散热装置还包括横向限位件，所述横向限位件沿纵向延伸；所述横向限位件与所述基座和/或所述横梁连接，以使所述横向限位件相对于所述基座固定；

14、所述横向限位件设置在所述散热座的侧方，以阻止所述散热座相对于所述基座沿横向运动。

15、进一步的，所述散热座横向上间隔的两侧壁上分别设置有第一限位半槽和第二限位半槽，所述第一限位半槽和所述第二限位半槽均沿纵向延伸；

16、横向上相邻两个散热座中，其中一个所述散热座上的第一限位半槽和另一个所述散热座的第二限位半槽围成一个完整的组合孔；

17、所述横梁上设置有限位通孔，在装配状态下，所述限位通孔与所述组合孔纵向对齐贯通；

18、所述横向限位件呈杆状，所述横向限位件沿纵向穿过所述组合孔和所述限位通孔。

19、进一步的，所述散热座上的第一限位半槽和第二限位半槽的数量至少为两个，以使横向上相邻两个所述散热座组合后形成至少两个组合孔。

20、进一步的，所述横向限位件至少一端的端部外壁上具有外螺纹，所述基座上设置有与所述外螺纹螺纹连接的螺孔。

21、进一步的，所述横梁上设置有第一齿槽，横向上，所述第一齿槽的数量为多个；纵向上，多个所述横梁上的第一齿槽对齐；

22、所述横向限位件上设置有多个沿纵向分布的第二齿槽，相邻两个第二齿槽之间的部分形成横向限位片；所述横向限位件与多个所述横梁连接，所述第一齿槽与所述第二齿槽插接，所述横向限位片位于所述散热座的侧方，以阻止所述散热座沿横向运动。

23、进一步的，横向相邻两个散热座相对的两个侧壁上分别设置有燕尾槽和燕尾滑轨，所述燕尾槽和燕尾滑轨均沿纵向延伸，所述燕尾槽与所述燕尾滑轨连接，以使横向相邻两个散热座在横向及竖向上固定。

24、进一步的，所述固定端具有空心减重腔。

25、进一步的，纵向上，位于首端和末端的横梁上设置有加强连接部，所述加强连接部与所述基座连接。

26、第二方面，本发明提供的一种外延片加热装置，包括上述的散热装置。

27、本发明实施例提供的散热装置包括：基座、散热座和横梁，所述横梁与所述基座连接；所述横梁上设置有限位部，所述散热座的至少一部分位于所述限位部和基座之间，以使所述散热座被所述限位部压紧固定在所述基座上，所述散热座、横梁与基座之间相对固定设置。

28、本实施例中，利用横梁将散热座压紧固定在基座上，便于拆接，因此，也就无需对基座上与散热座对应的位置加工连接结构，确保散热座下方的水路完整性。

29、本发明提供的外延片加热装置包括上述的散热装置。因为本发明实施例提供的外延片加热装置引用了上述的散热装置，所以，本发明实施例提供的外延片加热装置也具备散热装置的优点。

技术特征：

1.一种散热装置，其特征在于，包括：基座（100）、散热座（200）和横梁（300），所述横梁（300）与所述基座（100）连接；

2.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，同一个所述横梁（300）上的所述限位部（320）能够压紧固定至少一个散热座（200）。

3.根据权利要求2所述的散热装置，其特征在于，所述限位部（320）能够压紧呈横向排列的至少两个散热座（200）。

4.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述散热座（200）的侧壁上设置有沿横向延伸的限位槽（210）；

5.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述限位部（320）的端部设置有固定端（310），所述固定端（310）与所述基座（100）连接。

6.根据权利要求5所述的散热装置，其特征在于，所述横梁（300）上的固定端（310）的数量至少为两个，两个所述固定端（310）之间形成容纳所述散热座（200）的横向空间，以限制所述散热座（200）横向移动范围。

7.根据权利要求5所述的散热装置，其特征在于，所述固定端（310）与所述限位部（320）可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，至少两个所述横梁（300）沿纵向排布，以使被压紧的多个所述散热座（200）呈阵列排布。

9.根据权利要求8所述的散热装置，其特征在于，纵向相邻的两个所述横梁（300）的限位部（320）阻止所述散热座（200）沿纵向运动。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的散热装置，其特征在于，所述散热装置还包括横向限位件（600），所述横向限位件（600）沿纵向延伸；所述横向限位件（600）与所述基座（100）和/或所述横梁（300）连接，以使所述横向限位件（600）相对于所述基座（100）固定；

11.根据权利要求10所述的散热装置，其特征在于，所述散热座（200）横向上间隔的两侧壁上分别设置有第一限位半槽（220）和第二限位半槽（230），所述第一限位半槽（220）和所述第二限位半槽（230）均沿纵向延伸；

12.根据权利要求11所述的散热装置，其特征在于，所述散热座（200）上的第一限位半槽（220）和第二限位半槽（230）的数量至少为两个，以使横向上相邻两个所述散热座（200）组合后形成至少两个组合孔（240）。

13.根据权利要求11所述的散热装置，其特征在于，所述横向限位件（600）至少一端的端部外壁上具有外螺纹，所述基座（100）上设置有与所述外螺纹螺纹连接的螺孔。

14.根据权利要求10所述的散热装置，其特征在于，所述横梁（300）上设置有第一齿槽（410），横向上，所述第一齿槽（410）的数量为多个；纵向上，多个所述横梁（300）上的第一齿槽（410）对齐；

15.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，横向相邻两个散热座（200）相对的两个侧壁上分别设置有燕尾槽（510）和燕尾滑轨（520），所述燕尾槽（510）和燕尾滑轨（520）均沿纵向延伸，所述燕尾槽（510）与所述燕尾滑轨（520）连接，以使横向相邻两个散热座（200）在横向及竖向上固定。

16.根据权利要求5-7任意一项所述的散热装置，其特征在于，所述固定端（310）具有空心减重腔。

17.根据权利要求1-9任意一项所述的散热装置，其特征在于，纵向上，位于首端和末端的横梁（300）上设置有加强连接部，所述加强连接部与所述基座（100）连接。

18.一种外延片加热装置，其特征在于，包括权利要求1-17任意一项所述的散热装置。

技术总结本发明提供了一种散热装置及外延片加热装置，涉及激光器的技术领域，散热装置包括：基座、散热座和横梁，所述横梁与所述基座连接；所述横梁上设置有限位部，所述散热座的至少一部分位于所述限位部和基座之间，以使所述散热座被所述限位部压紧固定在所述基座上，所述散热座、横梁与基座之间相对固定设置。技术研发人员：赵卫东,张艳春,于学成,付强,惠利省受保护的技术使用者：度亘核芯光电技术（苏州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26