一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置的制作方法

本发明属于cvd镀膜，尤其涉及一种具有气体输送功能的cvd镀膜装置。

背景技术：

1、cvd 镀膜技术是一种高科技的表面处理技术，它基于化学气相沉积原理，通过在高温高压下使预先加热的材料表面与气体反应生成新的材料并沉积在表面，从而形成一层均匀、致密、硬度高、化学惰性好的薄膜。该技术广泛应用于制造电子元器件、光学器件、机械零部件等高精度、高可靠性的产品中，以增强产品的性能和附加值。cvd镀膜技术的优点包括具有极高的沉积速率、能够在复杂形状的表面上均匀镀膜、薄膜质量稳定可控、可以精确控制膜厚等。

2、在现有技术中，金属零件放置在镀膜腔的内部加热，通过cvd镀膜装置将气体输送到镀膜腔的内部进行反应，但其在加热时单个的金属零件不够转动，从而不便于单独的金属都能零件受热均匀，从而影响金属零件的反应，不便于对金属零件进行镀膜。

技术实现思路

1、本发明针对现有技术中金属零件放置在镀膜腔的内部加热，通过cvd镀膜装置将气体输送到镀膜腔的内部进行反应，但其在加热时单个的金属零件不够转动，从而不便于单独的金属都能零件受热均匀，从而影响金属零件的反应，不便于对金属零件进行镀膜的问题，提出如下技术方案：

2、一种具有气体输送功能的cvd镀膜装置，包括控制箱，控制箱的一侧设置有镀膜箱，镀膜箱内部开设有镀膜腔，镀膜腔底部固定安装有第一电机，第一电机输出端固定连接有转动轴，转动轴顶部固定连接有转动盘，转动盘顶部转动连接有转动杆，转动杆顶部固定安装有第二电机，第二电机底部且位于转动杆外表面连接有安装盘，安装盘底部固定安装有固定杆，安装盘顶部开设有第一环形槽，固定杆底部与第一环形槽滑动连接，安装盘顶部且位于固定杆外侧固定安装有第一支撑板，第一支撑板内部开设有凹槽，凹槽内部固定安装有第一电动推杆，第一电动推杆顶部固定连接有第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板靠近固定杆一侧均设置有加热器，固定杆外表面上下两端均固定安装有固定板，固定板顶部固定连接有安装块，固定板底部转动连接有两个安装座，安装块内部固定安装有第三电机，第三电机输出端固定连接有第一活动杆，第一活动杆一端穿过安装块、固定板与左侧的安装座固定连接，第一活动杆外表面固定连接有第一齿轮，第一齿轮外表面传动连接有皮带，皮带远离第一齿轮内壁传动连接有第二齿轮，第二齿轮中部固定连接有第二活动杆，第二活动杆一端穿过安装块、固定板与右侧的安装座固定连接，两个安装座内部设置有金属零件。

3、作为上述技术方案的优选，镀膜箱的一侧设置有冷气管，冷气管一端固定连接有冷气箱，镀膜箱后侧设置有真空泵，控制箱靠近镀膜箱一侧开设有两个安装槽，两个安装槽内部分别设置有第一气体罐与第二气体罐，第一气体罐与第二气体罐一侧连接有连接管，连接管一端穿过镀膜箱延伸至镀膜腔内部。

4、作为上述技术方案的优选，第二电机底部且位于安装盘顶部固定安装有安装板，安装板两侧均与镀膜腔内壁固定连接，固定杆的数量有四个，且其位于安装盘底部呈圆形阵列分布，第一支撑板位于第二支撑板底部，第一电动推杆位于凹槽内部以安装盘中心呈对称设置。

5、作为上述技术方案的优选，固定杆贯穿安装块与固定板中部，第一活动杆与第二活动杆位于固定杆两侧，第一齿轮、皮带与第二齿轮位于安装块内部，两个安装座与金属零件均位于固定板底部两端，且其均位于固定杆两侧，固定杆中部与底端均开设有活动槽，活动槽的内部设置有支撑结构。

6、作为上述技术方案的优选，固定板底部开设有第二环形槽，第二环形槽两侧内壁均开设有限定槽，第二环形槽内部滑动连接有第一支撑块，第一支撑块与第二电动推杆位于两个安装座两侧，且其以两个安装座中心对称设置，第一支撑块顶端两侧均固定连接有限定块，限定块与限定槽滑动连接。

7、作为上述技术方案的优选，支撑块靠近两个安装座一侧固定安装有第二电动推杆，第二电动推杆一端固定连接有插杆，两个安装座左右两侧均开设有插槽，插槽贯穿两个安装座与金属零件的顶端两侧，插杆一端与插槽插接。

8、作为上述技术方案的优选，支撑结构包括第四电机，第四电机输出端固定连接有螺纹杆，螺纹杆外表面螺纹连接有移动板，移动板两端均滑动连接有限位杆，移动板底部两端均固定连接有圆凸，圆凸底部设置有第二支撑块，第二支撑块一侧固定连接有转动板，转动板底部固定连接有弧形转动杆，弧形转动杆两端均转动连接有连接块，连接块底部与活动槽底部内壁固定连接。

9、作为上述技术方案的优选，固定杆中部与底端两侧外表面均开设有活动口，第四电机与活动槽顶部固定安装，螺纹杆底部与活动槽内壁转动连接，限位杆位于螺纹杆两侧，且其上下两端均与活动槽内壁固定连接，圆凸位于限位杆靠近转动板一侧，移动板位于转动板与第二支撑块顶部。

10、作为上述技术方案的优选，转动板位于活动口处，第二支撑块靠近限位杆一侧顶端为斜面，转动板靠近第二支撑块一侧固定连接有压缩弹簧，压缩弹簧一端固定连接有固定块，固定块底部与活动槽底部内壁固定安装，压缩弹簧与固定块位于第二支撑块两侧，且其以转动板中心对称设置。

11、本发明的有益效果为：

12、（1）本发明能够通过转动盘带动第一支撑板与第二支撑板一侧的加热器转动，通过安装盘带动固定杆两侧的金属零件反向转动，同时使得固定板底部的两个金属零件都能够转动，从而便于提高金属零件能受热均匀性，便于在镀膜腔内部与气体接触进行反应，便于提高镀膜的效果；

13、（2）本发明能够通过第二电动推杆与插杆将金属零件固定在安装座内部，从而便于安装座带动金属零件转动时保持稳定，便于进行镀膜，并且当金属零件转动完成后通过支撑结构，便于对金属零件底部进行支撑，使金属零件转动后保持稳定，从而当金属稳定后便于取出，提高便利性。

技术特征：

1.一种具有气体输送功能的cvd镀膜装置，包括控制箱（1），其特征在于，所述控制箱（1）的一侧设置有镀膜箱（2），所述镀膜箱（2）内部开设有镀膜腔，所述镀膜腔底部固定安装有第一电机（3），所述第一电机（3）输出端固定连接有转动轴（4），所述转动轴（4）顶部固定连接有转动盘（5），所述转动盘（5）顶部转动连接有转动杆（6），所述转动杆（6）顶部固定安装有第二电机（7），所述第二电机（7）底部且位于转动杆（6）外表面连接有安装盘（8），所述安装盘（8）底部固定安装有固定杆（9），所述安装盘（8）顶部开设有第一环形槽，所述固定杆（9）底部与第一环形槽滑动连接，所述安装盘（8）顶部且位于固定杆（9）外侧固定安装有第一支撑板（10），所述第一支撑板（10）内部开设有凹槽，所述凹槽内部固定安装有第一电动推杆（11），所述第一电动推杆（11）顶部固定连接有第二支撑板（12），所述第一支撑板（10）与第二支撑板（12）靠近固定杆（9）一侧均设置有加热器（13），所述固定杆（9）外表面上下两端均固定安装有固定板（14），所述固定板（14）顶部固定连接有安装块（15），所述固定板（14）底部转动连接有两个安装座（16），所述安装块（15）内部固定安装有第三电机（17），所述第三电机（17）输出端固定连接有第一活动杆（18），所述第一活动杆（18）一端穿过安装块（15）、固定板（14）与左侧的安装座（16）固定连接，所述第一活动杆（18）外表面固定连接有第一齿轮（19），所述第一齿轮（19）外表面传动连接有皮带（20），所述皮带（20）远离第一齿轮（19）内壁传动连接有第二齿轮（21），所述第二齿轮（21）中部固定连接有第二活动杆（22），所述第二活动杆（22）一端穿过安装块（15）、固定板（14）与右侧的安装座（16）固定连接，两个所述安装座（16）内部设置有金属零件（23）。

2.根据权利要求1所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述镀膜箱（2）的一侧设置有冷气管（24），所述冷气管（24）一端固定连接有冷气箱（25），所述镀膜箱（2）后侧设置有真空泵，所述控制箱（1）靠近镀膜箱（2）一侧开设有两个安装槽，两个所述安装槽内部分别设置有第一气体罐（26）与第二气体罐（27），所述第一气体罐（26）与第二气体罐（27）一侧连接有连接管（28），所述连接管（28）一端穿过镀膜箱（2）延伸至镀膜腔内部。

3.根据权利要求1所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述第二电机（7）底部且位于安装盘（8）顶部固定安装有安装板，所述安装板两侧均与镀膜腔内壁固定连接，所述固定杆（9）的数量有四个，且其位于安装盘（8）底部呈圆形阵列分布，所述第一支撑板（10）位于第二支撑板（12）底部，所述第一电动推杆（11）位于凹槽内部以安装盘（8）中心呈对称设置。

4.根据权利要求1所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述固定杆（9）贯穿安装块（15）与固定板（14）中部，所述第一活动杆（18）与第二活动杆（22）位于固定杆（9）两侧，所述第一齿轮（19）、皮带（20）与第二齿轮（21）位于安装块（15）内部，两个所述安装座（16）与金属零件（23）均位于固定板（14）底部两端，且其均位于固定杆（9）两侧，所述固定杆（9）中部与底端均开设有活动槽，所述活动槽的内部设置有支撑结构（29）。

5.根据权利要求1所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述固定板（14）底部开设有第二环形槽（30），所述第二环形槽（30）两侧内壁均开设有限定槽，所述第二环形槽（30）内部滑动连接有第一支撑块（31），所述第一支撑块（31）与第二电动推杆（33）位于两个所述安装座（16）两侧，且其以两个所述安装座（16）中心对称设置，所述第一支撑块（31）顶端两侧均固定连接有限定块（32），所述限定块（32）与限定槽滑动连接。

6.根据权利要求5所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述第一支撑块（31）靠近两个所述安装座（16）一侧固定安装有第二电动推杆（33），所述第二电动推杆（33）一端固定连接有插杆（34），两个所述安装座（16）左右两侧均开设有插槽，所述插槽贯穿两个所述安装座（16）与金属零件（23）的顶端两侧，所述插杆（34）一端与插槽插接。

7.根据权利要求4所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述支撑结构（29）包括第四电机（291），所述第四电机（291）输出端固定连接有螺纹杆（292），所述螺纹杆（292）外表面螺纹连接有移动板（293），所述移动板（293）两端均滑动连接有限位杆，所述移动板（293）底部两端均固定连接有圆凸（294），所述圆凸（294）底部设置有第二支撑块（295），所述第二支撑块（295）一侧固定连接有转动板（296），所述转动板（296）底部固定连接有弧形转动杆（297），所述弧形转动杆（297）两端均转动连接有连接块，所述连接块底部与活动槽底部内壁固定连接。

8.根据权利要求7所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述固定杆（9）中部与底端两侧外表面均开设有活动口，所述第四电机（291）与活动槽顶部固定安装，所述螺纹杆（292）底部与活动槽内壁转动连接，所述限位杆位于螺纹杆（292）两侧，且其上下两端均与活动槽内壁固定连接，所述圆凸（294）位于限位杆靠近转动板（296）一侧，所述移动板（293）位于转动板（296）与第二支撑块（295）顶部。

9.根据权利要求7所述的具有气体输送功能的cvd镀膜装置，其特征在于，所述转动板（296）位于活动口处，所述第二支撑块（295）靠近限位杆一侧顶端为斜面，所述转动板（296）靠近第二支撑块（295）一侧固定连接有压缩弹簧（35），所述压缩弹簧（35）一端固定连接有固定块（36），所述固定块（36）底部与活动槽底部内壁固定安装，所述压缩弹簧（35）与固定块（36）位于第二支撑块（295）两侧，且其以转动板（296）中心对称设置。

技术总结本发明属于CVD镀膜技术领域，公开了一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置，包括控制箱，控制箱的一侧设置有镀膜箱，镀膜箱内部开设有镀膜腔，镀膜腔底部固定安装有第一电机，第一电机输出端固定连接有转动轴，转动轴顶部固定连接有转动盘，转动盘顶部转动连接有转动杆，转动杆顶部固定安装有第二电机，第二电机底部且位于转动杆外表面连接有安装盘。通过转动盘带动第一支撑板与第二支撑板一侧的加热器转动，通过安装盘带动固定杆两侧的金属零件反向转动，同时使得固定板底部的两个金属零件都能够转动，从而便于单独的金属零件均能受热均匀，便于在镀膜腔内部与气体接触进行反应，便于提高镀膜的效果。技术研发人员：周礼,曹存,袁学伟受保护的技术使用者：艾生科（江苏）化工科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29