探针卡的制作方法

本发明涉及探针卡，更详细而言，涉及具备柔性布线板的探针卡的改进。

背景技术：

1、探针卡是在检查形成于半导体晶片上的半导体器件的电特性时使用的检查装置，在布线基板上设置有与形成于半导体晶片上的两个以上的电极分别接触的两个以上的探针。半导体器件的检查如下进行：使半导体晶片接近探针卡，使探针的前端与半导体晶片上的电极接触，经由探针以及布线基板使测试器装置与半导体器件导通。

2、以往已知有将探针安装于柔性布线板的探针卡(例如，专利文献1)。专利文献1所记载的探针卡的探针安装于柔性布线板的下表面中央部。该柔性布线板的周缘部通过环状的压板固定，上表面中央部粘接在装配于板簧的由截头四棱锥形构成的台的顶部。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2002-311049号公报

技术实现思路

1、-发明所要解决的课题-

2、在将探针安装于柔性布线板、并将柔性布线板粘接于基材的平坦面的探针卡的情况下，如果粘接力不充分，则柔性布线板可能从基材剥离。例如，在将具有悬臂梁构造的探针的前端按压于检查对象物时，对探针的根部施加使探针倾斜的力。因此，在探针的安装位置处，柔性布线板可能从基材剥离。

3、此外，由于粘接剂的厚度偏差，两个以上的探针的高度产生偏差，有可能降低对检查对象物的接触性。进而，在粘接柔性布线板时，存在如下问题：粘接剂内产生的气泡在高温检查时热膨胀，在低温检查时收缩，由此柔性布线板的平坦性受损，与检查对象物的接触性降低。

4、本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，在将柔性布线板粘接于基材的探针卡中，防止柔性布线板从基材剥离。此外，其目的在于提高在基材上粘接有柔性布线板的探针卡与检查对象物的接触性。特别是，其目的在于抑制探针的高度的偏差。此外，其目的在于防止配置探针的电极垫的平坦性受损。

5、-用于解决课题的手段-

6、第一本发明的实施方式的探针卡具备：基材，具有与检查对象物对置的平坦面；柔性布线板，由绝缘性膜构成，具有隔着粘接剂粘接于所述基材的粘接面和将两个以上的电极垫隔开给定的间隔排列配置的探针安装面；以及，两个以上的探针，分别配置于所述两个以上的电极垫上，在所述粘接面上的与所述两个以上的电极垫对应的位置分别形成有两个以上的第一锚固垫。

7、通过采用这样的结构，第一锚固垫隔开给定的间隔排列配置。第一锚固垫是设置于柔性布线板的粘接面上的凸部，相邻的第一锚固垫之间成为凹部。因此，在柔性布线板的粘接面上形成凸部以及凹部交替出现的凹凸，表面积增大，从而能够将柔性布线板牢固地粘接于基材。此外，由于第一锚固垫形成在与电极垫对应的位置，因此在检查时探针弹性变形，由此能够防止在电极垫的形成区域中柔性布线板从基材剥离。

8、此外，第一锚固垫上的多余的粘接剂收容于凹部，能够抑制介于第一锚固垫与基材之间的粘接剂的厚度。因此，也抑制了粘接剂的厚度的偏差，抑制了两个以上的电极垫的高度的偏差。其结果是，能够抑制两个以上的探针的高度的偏差，提高与检查对象物的接触性。此外，通过抑制粘接剂的厚度，能够抑制因粘接剂内产生的气泡的热膨胀而损害电极垫的平坦性，能够提高与检查对象物的接触性。

9、第二本发明的实施方式的探针卡在上述结构基础上，所述基材由陶瓷基板构成。陶瓷基板的热膨胀率接近硅晶片，不易产生翘曲，平坦性高。因此，通过在陶瓷基板上粘接柔性印刷基板，能够提高对检查对象物的接触性。

10、第三本发明的实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，所述电极垫以及所述第一锚固垫经由所述绝缘性膜的第一贯通孔一体地形成，所述第一贯通孔内含于所述电极垫的外缘以及所述第一锚固垫的外缘。

11、通过采用这样的结构，第一锚固垫以及电极垫一体地形成，并且形成为将绝缘性膜夹入，因此能够防止由于第一锚固垫从绝缘性膜剥离而柔性布线板从基材剥离。

12、第四本发明的实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，所述第一锚固垫具有与所述电极垫对应的形状。

13、通过采用这样的结构，能够抑制与电极垫对应的区域中的粘接剂的厚度。因此，能够防止电极垫的高度的偏差，并且能够防止由于粘接剂中的气泡的热膨胀而损害电极垫的平坦性。

14、第五本发明的实施方式的探针卡在上述结构基础上构成为，具备两个以上的连接销，所述基材隔开给定的间隔排列配置有用于分别插通所述两个以上的连接销的两个以上的贯通孔，所述柔性布线板在比所述电极垫更靠周缘部侧具有用于分别插通所述两个以上的连接销的两个以上的第二贯通孔，所述电极垫与所述连接销导通。

15、通过将连接销插通于基材的贯通孔以及柔性布线板的第二贯通孔，并使该连接销与探针导通，能够容易地进行柔性布线板相对于基材的对位，并且能够提高探针用布线的高频特性。

16、第六本发明的实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述柔性布线板形成有分别包围所述两个以上的第二贯通孔的所述探针安装面上的开口的两个以上的电极端子，所述连接销与所述电极端子连接，所述电极端子在所述柔性布线板上与所述电极垫连接，在所述粘接面上的与所述电极端子对应的位置形成有第二锚固垫。

17、通过采用这样的结构，第二锚固垫隔开给定的间隔排列配置。第二锚固垫是设置于柔性布线板的粘接面上的凸部，相邻的第二锚固垫之间成为凹部。因此，在柔性布线板的粘接面上形成有凸部以及凹部交替地出现的凹凸，表面积增大，从而能够将柔性布线板牢固地粘接于基材。

18、第七本发明的实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，所述电极端子以及所述第二锚固垫经由所述第二贯通孔一体地形成，所述第二贯通孔内含于所述电极端子的外缘以及所述第二锚固垫的外缘。

19、通过采用这样的结构，第二锚固垫以及电极端子一体地形成，并且形成为将绝缘性膜夹入，因此能够防止由于第二锚固垫从绝缘性膜剥离而柔性布线板从基材剥离。

20、第八本发明的实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述柔性布线板中，将与所述电极垫以及所述连接端子均不对应的两个以上的第三锚固垫隔开给定的间隔排列配置在所述粘接面上。

21、通过采用这样的结构，对于电极垫以及连接端子均未形成的区域，也在柔性布线板的粘接面上形成有凹凸，能够将柔性布线板牢固地粘接于基材。

22、-发明效果-

23、根据本发明，在将柔性布线板粘接于基材的探针卡中，能够防止柔性布线板从基材剥离。此外，能够提高在基材上粘接有柔性布线板的探针卡与检查对象物的接触性。特别是，能够抑制探针的高度的偏差。此外，能够防止配置探针的电极垫的平坦性受损。

技术特征：

1.一种探针卡，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，

3.根据权利要求1所述的探针卡，其中，

4.根据权利要求1所述的探针卡，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的探针卡，其中，

6.根据权利要求5所述的探针卡，其中，

7.根据权利要求6所述的探针卡，其中，

8.根据权利要求6所述的探针卡，其中，

技术总结目的在于防止柔性布线板从基材剥离。具备：基材(30)，具有与检查对象物(20)对置的平坦面；柔性布线板(50)，由绝缘性膜(51)构成，具有隔着粘接剂(40)粘接于基材(30)的粘接面和将两个以上的电极垫(520)隔开给定的间隔排列配置的探针安装面；以及两个以上的探针(70)，分别配置于电极垫(520)上，在粘接面上的与电极垫(70)对应的位置分别形成有两个以上的第一锚固垫(521)。技术研发人员：松冈敬二,佐藤新吾,井上知晃受保护的技术使用者：日本电子材料株式会社技术研发日：技术公布日：2024/10/10