硼扩尾排过滤系统的制作方法

本申请涉及硼扩尾排处理，尤其涉及一种硼扩尾排过滤系统。

背景技术：

1、太阳能电池中的硼扩工艺通常指的是硼掺杂的过程，这是太阳能电池制造中的一个关键步骤。硼扩工艺用于控制硼元素在硅基材料中的扩散深度和浓度，以调节材料的电子性能，从而提高太阳能电池的效率和性能。

2、硼扩工艺在太阳能电池生产过程中会产生部分废弃物或副产品，其中包括：未使用的硅片、化学废液和硼酸蒸气等。在环境保护方面，处理和处置这些废弃物和副产品是制造过程中重要的考虑因素，以确保生产活动对环境影响最小化。

3、硼酸蒸汽一般包括氧化硼和氯气气体，目前，对于硼酸蒸汽的处理设备多是采用常规的冷却积液瓶和纤维过滤器，过滤器中使用的滤芯由于筛网目数限制会对其后方的真空泵负载造成一定的压力，另外，滤芯还需要定期更换清洗，其过滤效果也会随着清洗频次降低。

技术实现思路

1、本申请旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。

2、为此，本申请的一个目的在于提出一种硼扩尾排过滤系统，通过设置不同的冷凝方式，促进氧化硼从气体中析出，同时氧化硼粉末随气体一起进入过滤机构中进行充分反应，不仅减小对其后方的真空泵负载造成的压力，还在保证过滤效果的同时，降低了对过滤机构的维护频率。

3、为达到上述目的，本申请第一方面实施例提出了一种硼扩尾排过滤系统，包括：尾排管、第一冷凝瓶、过滤机构、第二冷凝瓶、真空泵和主排管道，其中，所述尾排管的一端与外部硼扩机台的排气口连通，所述尾排管的另一端与所述第一冷凝瓶连通；所述第一冷凝瓶与所述过滤机构连通；所述过滤机构与所述第二冷凝瓶连通；所述第二冷凝瓶与所述真空泵连通；所述真空泵与所述主排管道连通。

4、另外，根据本申请上述实施例提出的硼扩尾排过滤系统还可以具有如下附加的技术特征：

5、在本申请的一个实施例中，所述过滤机构包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，其中，所述第一过滤器、所述第二过滤器和所述第三过滤器并排放置，所述第一冷凝瓶与所述第一过滤器连通；所述第一过滤器、所述第二过滤器和所述第三过滤器之间通过管道连通；所述第三过滤器与所述第二冷凝瓶连通；所述第一过滤器的内部放置水，所述第二过滤器和所述第三过滤器的内部放置碱性溶液。

6、在本申请的一个实施例中，所述第一过滤器连通有供水源。

7、在本申请的一个实施例中，所述第一过滤器的内部安装有斜流沉淀板；所述第一过滤器连通有积液槽，所述积液槽与所述第一过滤器之间的连通管路上设有调节阀。

8、在本申请的一个实施例中，所述第二过滤器和第三过滤器连通有第一循环处理器。

9、在本申请的一个实施例中，所述第一冷凝瓶和所述第二冷凝瓶的内部放置有冷却材料。

10、在本申请的一个实施例中，所述第一冷凝瓶和所述第二冷凝瓶的外部设有冷却装置。

11、与现有技术相比，本申请具有如下有益效果：本申请实施例的硼扩尾排过滤系统，在尾排管路上布置第一冷凝瓶、过滤机构和第二冷凝瓶，通过设置不同的冷凝方式，促进氧化硼从气体中析出，同时氧化硼粉末随气体一起进入过滤机构中进行充分反应，不仅减小对其后方的真空泵负载造成的压力，还在保证过滤效果的同时，降低了对过滤机构的维护频率。

12、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种硼扩尾排过滤系统，其特征在于，包括：尾排管、第一冷凝瓶、过滤机构、第二冷凝瓶、真空泵和主排管道，其中，

2.根据权利要求1所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述过滤机构包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，其中，

3.根据权利要求2所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述第一过滤器连通有供水源。

4.根据权利要求1所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述第一过滤器的内部安装有斜流沉淀板；

5.根据权利要求2所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述第二过滤器和第三过滤器连通有第一循环处理器。

6.根据权利要求1所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述第一冷凝瓶和所述第二冷凝瓶的内部放置有冷却材料。

7.根据权利要求1所述的硼扩尾排过滤系统，其特征在于，所述第一冷凝瓶和所述第二冷凝瓶的外部设有冷却装置。

技术总结本申请提出一种硼扩尾排过滤系统，包括：尾排管、第一冷凝瓶、过滤机构、第二冷凝瓶、真空泵和主排管道，其中，所述尾排管的一端与外部硼扩机台的排气口连通，所述尾排管的另一端与所述第一冷凝瓶连通；所述第一冷凝瓶与所述过滤机构连通；所述过滤机构与所述第二冷凝瓶连通；所述第二冷凝瓶与所述真空泵连通；所述真空泵与所述主排管道连通。本申请实施例的硼扩尾排过滤系统，通过设置不同的冷凝方式，促进氧化硼从气体中析出，同时氧化硼粉末随气体一起进入过滤机构中进行充分反应，不仅减小对其后方的真空泵负载造成的压力，还在保证过滤效果的同时，降低了对过滤机构的维护频率。技术研发人员：蒲天,张建安受保护的技术使用者：华东光能科技（徐州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17