背接触太阳能电池、电池组件和光伏系统的制作方法

本申请涉及太阳能电池，尤其涉及一种背接触太阳能电池、电池组件和光伏系统。

背景技术：

1、背接触太阳能电池是一种将电极均设置在电池的背面的高效率电池，具体地，在背接触太阳能电池中，p型电极和n型电极均设置在背面，使得前表面无金属栅线的遮挡，提高电池片的效率。

2、在相关技术中，背接触太阳能电池中的p型掺杂层与n型掺杂层直接位于硅衬底背面，通过在两者之间开设沟槽来实现p型掺杂层与n型掺杂层的隔离。然而，采用这样的方式的隔离效果较差，同时钝化效果也较差，未充分考虑隔离效果和钝化效果之间的匹配设计，所以，目前的背接触太阳能电池的性能欠佳。

技术实现思路

1、本申请提供一种背接触太阳能电池、电池组件和光伏系统。

2、本申请是这样实现的，本申请实施例的背接触太阳能电池包括：

3、硅衬底，所述硅衬底具有相对的正面和背面，所述背面上形成有依次交替间隔排列的若干第一凹槽和若干第二凹槽，所述硅衬底在相邻的所述第一凹槽和所述第二凹槽之间形成有凸台；

4、层叠设置在所述第一凹槽内的第一介电层；

5、设置在所述第一凹槽处且层叠在所述第一介电层上的第一掺杂层，所述第一掺杂层具有延伸至所述凸台边缘的第一延伸部分，所述第一延伸部分与所述凸台之间具有第一绝缘层；

6、层叠设置在所述第二凹槽内的第二介电层；和

7、设置在所述第二凹槽处且层叠在所述第二介电层上的第二掺杂层，所述第二掺杂层具有延伸至所述凸台边缘的第二延伸部分，所述第二延伸部分与所述凸台之间具有第二绝缘层。

8、更进一步地，所述凸台的表面为非绒面结构；和/或

9、所述第一凹槽和所述第二凹槽的表面均为非绒面结构。

10、更进一步地，所述第二凹槽的表面粗糙度大于所述第一凹槽的表面粗糙度。

11、更进一步地，所述凸台的表面包括被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层遮挡的第一区域和未被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层遮挡的第二区域，所述第二区域的表面粗糙度大于所述第二凹槽的表面粗糙度。

12、更进一步地，所述第二区域的表面粗糙度大于所述第一区域的表面粗糙度。

13、更进一步地，所述凸台中未被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层覆盖的区域上形成有内陷槽。

14、更进一步地，在所述第二凹槽中，所述第二凹槽的底部上形成有分隔槽，所述分隔槽处不具备所述第二介电层和所述第二掺杂层。

15、更进一步地，所述第一凹槽的深度为100nm-10μm；和/或

16、所述第二凹槽的深度为100nm-10μm。

17、更进一步地，所述第二凹槽的深度大于所述第一凹槽的深度。

18、更进一步地，所述第二凹槽的深度与所述第一凹槽的深度之间的差值为50nm-10μm。

19、更进一步地，所述第一掺杂层为掺磷掺杂层，所述第二掺杂层为掺硼掺杂层；

20、在所述凸台中，靠近所述第一凹槽的区域中的磷掺杂浓度大于靠近所述第二凹槽的区域中的磷掺杂浓度；和/或

21、在所述凸台中，靠近所述第二凹槽的区域中的硼掺杂浓度大于靠近所述第一凹槽的区域中的硼掺杂浓度。

22、更进一步地，沿所述第一凹槽朝向所述第二凹槽的方向，所述凸台中的磷掺杂浓度逐渐降低；

23、沿所述第二凹槽朝向所述第一凹槽的方向，所述凸台中的硼掺杂浓度逐渐降低。

24、更进一步地，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替间隔排列且沿第二方向延伸，所述凸台也沿所述第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉，所述凸台在所述第二方向上为连续结构；

25、其中，在所述凸台上，所述第一延伸部分和所述第二延伸部分在所有位置处均未相互接触；或者

26、在所述凸台的部分区域上，所述第一延伸部分与所述第二延伸部分绝缘隔离，在所述凸台的另一部分区域上，所述第一延伸部分与所述第二延伸部分导电连接。

27、更进一步地，在所述第一延伸部分和所述第二延伸部分的所有位置处均未相互接触的情况下，在所述第一凹槽和所述第二凹槽的排列方向上，所述第一延伸部分的长度为5μm-60μm，所述第二延伸部分的长度为5μm-60μm。

28、更进一步地，在所述凸台表面的至少部分区域处形成有第一扩散层，所述第一延伸部分和所述第二延伸部分通过所述第一扩散层导电连接。

29、更进一步地，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替排列且沿均沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉，所述第一扩散层沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上，所述第一扩散层具有若干个掺杂浓度不同的扩散区。

30、更进一步地，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替间隔排列且沿第二方向延伸，所述凸台也沿所述第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉；

31、所述凸台在所述第二方向上为间断结构，所述凸台包括沿所述第二方向间隔排列的多个凸台段，相邻两个凸台段之间具有间断区；

32、其中，在所述凸台段上，所述第一延伸部分与所述第二延伸部分绝缘隔离，在所述间断区处，所述第一掺杂层和所述第二掺杂层导电连接。

33、更进一步地，在所述间断区处形成有第二扩散层，所述第一掺杂层和所述第二掺杂层通过所述第二扩散层导电连接。

34、更进一步地，在所述第一凹槽和所述第二凹槽的排列方向上，所述凸台的宽度为10μm-700μm。

35、本申请还提供一种电池组件，包括若干上述任一项所述的背接触太阳能电池。

36、本申请还提供一种光伏系统，所述光伏系统包括上述的电池组件。

37、在本申请实施例中背接触太阳能电池、电池组件和光伏系统中，第一凹槽和第二凹槽之间具有凸台，第一掺杂层设置在第一凹槽处且具有延伸至凸台边缘的第一延伸部分，第二掺杂层设置在第二凹槽处且具有延伸至凸台边缘的第二延伸部分，第一延伸部分和第二延伸部分与凸台之间均具有绝缘层。如此，在背接触太阳能电池中，第一掺杂层和第二掺杂层之间通过凸台进行隔离，可以提升第一掺杂层和第二掺杂层之间的隔离效果，同时，通过第一延伸部分、第二延伸部分以及第一绝缘层和第二绝缘层的设置，可以提高对两个凹槽边缘(即凸台的两侧边缘)的钝化效果，从而提升背接触太阳能电池的性能。

38、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种背接触太阳能电池，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述凸台的表面为非绒面结构；和/或

3.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第二凹槽的表面粗糙度大于所述第一凹槽的表面粗糙度。

4.根据权利要求3所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述凸台的表面包括被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层遮挡的第一区域和未被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层遮挡的第二区域，所述第二区域的表面粗糙度大于所述第二凹槽的表面粗糙度。

5.根据权利要求4所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第二区域的表面粗糙度大于所述第一区域的表面粗糙度。

6.根据权利要求1所述背接触太阳能电池，其特征在于，所述凸台中未被所述第一掺杂层和所述第二掺杂层覆盖的区域上形成有内陷槽。

7.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，在所述第二凹槽中，所述第二凹槽的底部上形成有分隔槽，所述分隔槽处不具备所述第二介电层和所述第二掺杂层。

8.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一凹槽的深度为100nm-10μm；和/或

9.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第二凹槽的深度大于所述第一凹槽的深度。

10.根据权利要求9所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第二凹槽的深度与所述第一凹槽的深度之间的差值为50nm-10μm。

11.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一掺杂层为掺磷掺杂层，所述第二掺杂层为掺硼掺杂层；

12.根据权利要求11所述的背接触太阳能电池，其特征在于，沿所述第一凹槽朝向所述第二凹槽的方向，所述凸台中的磷掺杂浓度逐渐降低；

13.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替间隔排列且沿第二方向延伸，所述凸台也沿所述第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉，所述凸台在所述第二方向上为连续结构；

14.根据权利要求13所述的背接触太阳能电池，其特征在于，在所述第一延伸部分和所述第二延伸部分的所有位置处均未相互接触的情况下，在所述第一凹槽和所述第二凹槽的排列方向上，所述第一延伸部分的长度为5μm-60μm，所述第二延伸部分的长度为5μm-60μm。

15.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，在所述凸台表面的至少部分区域处形成有第一扩散层，所述第一延伸部分和所述第二延伸部分通过所述第一扩散层导电连接。

16.根据权利要求15所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替排列且沿均沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉，所述第一扩散层沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上，所述第一扩散层具有若干个掺杂浓度不同的扩散区。

17.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽沿第一方向依次交替间隔排列且沿第二方向延伸，所述凸台也沿所述第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向交叉；

18.根据权利要求17所述的背接触太阳能电池，其特征在于，在所述间断区处形成有第二扩散层，所述第一掺杂层和所述第二掺杂层通过所述第二扩散层导电连接。

19.根据权利要求1-18任一项所述的背接触太阳能电池，其特征在于，在所述第一凹槽和所述第二凹槽的排列方向上，所述凸台的宽度为10μm-700μm。

20.一种电池组件，其特征在于，包括权利要求1-19任一项所述的背接触太阳能电池。

21.一种光伏系统，其特征在于，包括权利要求20所述的电池组件。

技术总结本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种背接触太阳能电池、电池组件和光伏系统，在背接触太阳能电池中，第一凹槽和第二凹槽之间具有凸台，第一掺杂层设置在第一凹槽处且具有延伸至凸台边缘的第一延伸部分，第二掺杂层设置在第二凹槽处且具有延伸至凸台边缘的第二延伸部分，第一延伸部分和第二延伸部分与凸台之间均具有绝缘层。如此，在背接触太阳能电池中，第一掺杂层和第二掺杂层之间通过凸台进行隔离，可以提升第一掺杂层和第二掺杂层之间的隔离效果，同时，通过第一延伸部分、第二延伸部分以及第一绝缘层和第二绝缘层的设置，可以提高对两个凹槽边缘位置处的钝化效果，从而提升背接触太阳能电池的性能。技术研发人员：王永谦,邱开富,杨新强,陈刚受保护的技术使用者：山东爱旭太阳能科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4