一种多腔加热用固态继电器系统的制作方法

本技术涉及ald设备，特别涉及一种多腔加热用固态继电器系统。

背景技术：

1、通常在ald设备控制柜的普通布局下，加热用固态继电器由于散热需求不能密集布局，每一个固态继电器之间都要留一定的间隔(通常不小于10mm)，若采用密集安装，在集中放热时，由于无法及时散热，导致热量堆积，可通过电流会大副下降，否则会烧毁固态继电器。而多腔ald加热设备使用固态继电器控制加热时，每个腔都需要使用大量的固态继电器，普通布局加热启动时，会集中产生大量热量，不易消散，对控制柜空间布局和散热产生不利影响。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种多腔加热用固态继电器系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种多腔加热用固态继电器系统，包括：

3、多个散热底座，每个所述散热底座上密集安装多个固态继电器，每个所述散热底座上的多个固态继电器分别用于对多个炉腔进行加热；

4、多个温控单元，所述多个温控单元与所述多个炉腔一一对应，每个所述温控单元与每个所述散热底座上对应的固态继电器连接，所述温控单元用于控制所述固态继电器的开启和关闭。

5、优选地，多个所述散热底座的安装间距不小于10毫米。

6、优选地，每个所述散热底座上的多个固态继电器的安装间距为1-2毫米。

7、优选地，所述散热底座的数量与单个炉腔需要的固态继电器的数量相同，单个所述散热底座上的固态继电器的数量、所述温控单元的数量与炉腔的数量相同。

8、优选地，每个所述散热底座上处于加热状态的固态继电器的数量小于所述散热底座上固态继电器总数的一半。

9、优选地，每个所述散热底座上相邻的固态继电器不会同时处于加热状态。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、本实用新型的实施方式提供的多腔加热用固态继电器系统可以采用密集安装的方式安装数量众多的固态继电器，大大节省了安装空间，有利于控制柜空间优化布局，并且每个工作中的固态继电器可以通过相对更大的散热底座进行散热，共享更大的散热板面积，从而减少热量堆积；另外，由于每个炉腔的固态继电器都分散到不同的散热底座上，所以当某个散热底座发生过热时，不会导致单炉腔大面积停止加热。

技术特征：

1.一种多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，多个所述散热底座的安装间距不小于10毫米。

3.根据权利要求2所述的多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，每个所述散热底座上的多个固态继电器的安装间距为1-2毫米。

4.根据权利要求1所述的多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，所述散热底座的数量与单个炉腔需要的固态继电器的数量相同，单个所述散热底座上的固态继电器的数量、所述温控单元的数量与炉腔的数量相同。

5.根据权利要求1所述的多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，每个所述散热底座上处于加热状态的固态继电器的数量小于所述散热底座上固态继电器总数的一半。

6.根据权利要求5所述的多腔加热用固态继电器系统，其特征在于，每个所述散热底座上相邻的固态继电器不会同时处于加热状态。

技术总结本技术涉及ALD设备技术领域，具体为一种多腔加热用固态继电器系统，包括：多个散热底座，每个所述散热底座上密集安装多个固态继电器，每个所述散热底座上的多个固态继电器分别用于对多个炉腔进行加热；多个温控单元，所述多个温控单元与所述多个炉腔一一对应，所述温控单元连接每个所述散热底座上的多个固态继电器，所述温控单元用于控制所述固态继电器的开启和关闭。本技术的实施方式提供的多腔加热用固态继电器系统可以采用密集安装的方式安装数量众多的固态继电器，大大节省了安装空间，有利于控制柜空间优化布局，并且每个工作中的固态继电器可以通过相对更大的散热底座进行散热，共享更大的散热板面积，从而减少热量堆积。技术研发人员：田京波,包炯受保护的技术使用者：艾华（无锡）半导体科技有限公司技术研发日：20231213技术公布日：2024/11/7