一种封闭性好的酸洗设备的制作方法

本技术涉及半导体清洁，具体为一种封闭性好的酸洗设备。

背景技术：

1、半导体是指在常温下的导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，于收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，而二极管则是常用的半导体设备。例如申请号为cn202022361456.4的专利文件公开了一种大功率半导体二极管生产用便于取放的酸洗机，通过在开口处设置水封槽，往水封槽内加入清水，在酸洗时进一步提高酸洗内箱和密封盖间的密封性，避免气体外泄，对人体产生伤害。

2、但是上述类似方案，通过盖子之间闭合在酸洗机的上方，而酸洗机内的溶液在使用时通常会飞溅到盖子和槽体之间的间隙处，时间久后边缘处被腐蚀，从而导致密封不严，并且，半导体之间的间隙较小，使得杂质在化学溶液的作用下被剥离后，停留在半导体之间，从而使得清洗不彻底。

3、于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种封闭性好的酸洗设备。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种封闭性好的酸洗设备，解决了上述背景技术中提出的上述类似方案，通过盖子之间闭合在酸洗机的上方，而酸洗机内的溶液在使用时通常会飞溅到盖子和槽体之间的间隙处，时间久后边缘处被腐蚀，从而导致密封不严，并且，半导体之间的间隙较小，使得杂质在化学溶液的作用下被剥离后，停留在半导体之间，从而使得清洗不彻底的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种封闭性好的酸洗设备，包括酸洗箱、密封组件和酸洗组件，所述酸洗箱的上端面铰接有密封盖，且所述密封组件位于所述密封盖的边缘处，所述密封组件包括第一挡板、第二挡板和夹层，且所述酸洗箱的上端焊接有所述第一挡板，并且所述第一挡板的下方固定有所述第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板之间设置有所述夹层，且所述酸洗组件位于所述酸洗箱的内腔底部，所述酸洗组件包括螺纹杆、支撑板、伺服电机和支撑杆，且所述密封组件的下方设置有所述支撑板，所述支撑板的下方贯穿设置有所述螺纹杆，且所述螺纹杆的右端连接有所述伺服电机，并且所述螺纹杆的后端平行设置有所述支撑杆。

3、进一步的，所述密封盖的外侧边缘固设有橡胶套，且所述密封盖通过铰接处与所述酸洗箱构成转动结构。

4、进一步的，所述第二挡板的宽度大于所述第一挡板的宽度，且所述密封盖的长度小于所述第二挡板的长度。

5、进一步的，所述酸洗箱的上端贯穿设置有接管口，且所述酸洗箱的内腔设置有酸洗篮。

6、进一步的，所述酸洗篮的内侧卡合有若干组滤板，且所述酸洗篮的底部固定有限位凸起。

7、进一步的，所述支撑板的上方固定有与所述限位凸起适配的限位导轨，且所述酸洗篮通过所述限位凸起和所述限位导轨与所述酸洗组件构成拆卸结构。

8、本实用新型提供了一种封闭性好的酸洗设备，具备以下有益效果：

9、能够避免酸洗机内的溶液在使用时通常会飞溅到盖子和槽体之间的间隙处，从而避免时间久后边缘处被腐蚀，有利于提高设备的密封性，并且，当杂质在化学溶液的作用下被剥离后，能够将停留在半导体之间的杂质冲刷掉，其具体内容如下：

10、将半导体芯片放入酸洗篮中，将酸洗篮与酸洗组件组装，密封盖沿铰接处转动经过第一挡板时，橡胶套向内压缩变形直至卡合在夹层内，且密封盖被第一挡板和第二挡板抵住从而进行密封，而后启动酸洗组件，伺服电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动支撑板和酸洗篮运动，从而使得酸洗腔内的液体向上飞溅，飞溅至密封盖边缘时被第二挡板阻挡，从而避免腐蚀橡胶套。

技术特征：

1.一种封闭性好的酸洗设备，包括酸洗箱(1)、密封组件(3)和酸洗组件(5)，其特征在于，所述酸洗箱(1)的上端面铰接有密封盖(2)，且所述密封组件(3)位于所述密封盖(2)的边缘处，所述密封组件(3)包括第一挡板(301)、第二挡板(302)和夹层(303)，且所述酸洗箱(1)的上端焊接有所述第一挡板(301)，并且所述第一挡板(301)的下方固定有所述第二挡板(302)，所述第一挡板(301)和所述第二挡板(302)之间设置有所述夹层(303)，且所述酸洗组件(5)位于所述酸洗箱(1)的内腔底部，所述酸洗组件(5)包括螺纹杆(501)、支撑板(502)、伺服电机(503)和支撑杆(504)，且所述密封组件(3)的下方设置有所述支撑板(502)，所述支撑板(502)的下方贯穿设置有所述螺纹杆(501)，且所述螺纹杆(501)的右端连接有所述伺服电机(503)，并且所述螺纹杆(501)的后端平行设置有所述支撑杆(504)。

2.根据权利要求1所述的一种封闭性好的酸洗设备，其特征在于，所述密封盖(2)的外侧边缘固设有橡胶套(21)，且所述密封盖(2)通过铰接处与所述酸洗箱(1)构成转动结构。

3.根据权利要求2所述的一种封闭性好的酸洗设备，其特征在于，所述第二挡板(302)的宽度大于所述第一挡板(301)的宽度，且所述密封盖(2)的长度小于所述第二挡板(302)的长度。

4.根据权利要求1所述的一种封闭性好的酸洗设备，其特征在于，所述酸洗箱(1)的上端贯穿设置有接管口(4)，且所述酸洗箱(1)的内腔设置有酸洗篮(6)。

5.根据权利要求4所述的一种封闭性好的酸洗设备，其特征在于，所述酸洗篮(6)的内侧卡合有若干组滤板(61)，且所述酸洗篮(6)的底部固定有限位凸起(62)。

6.根据权利要求5所述的一种封闭性好的酸洗设备，其特征在于，所述支撑板(502)的上方固定有与所述限位凸起(62)适配的限位导轨(521)，且所述酸洗篮(6)通过所述限位凸起(62)和所述限位导轨(521)与所述酸洗组件(5)构成拆卸结构。

技术总结本技术公开了一种封闭性好的酸洗设备，包括酸洗箱、密封组件和酸洗组件，所述酸洗箱的上端面铰接有密封盖，且所述密封组件位于所述密封盖的边缘处，所述密封组件包括第一挡板、第二挡板和夹层，且所述酸洗箱的上端焊接有所述第一挡板，并且所述第一挡板的下方固定有所述第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板之间设置有所述夹层，且所述酸洗组件位于所述酸洗箱的内腔底部，所述支撑板的下方贯穿设置有所述螺纹杆，且所述螺纹杆的右端连接有所述伺服电机，并且所述螺纹杆的后端平行设置有所述支撑杆。能够避免酸洗机内的溶液在使用时通常会飞溅到盖子和槽体之间的间隙处，从而避免时间久后边缘处被腐蚀，有利于提高设备的密封性。技术研发人员：顾正伟受保护的技术使用者：苏州中砥半导体材料有限公司技术研发日：20231229技术公布日：2024/11/21