反应腔体内部气流速度检测装置的制作方法

本发明涉及半导体工艺，特别是涉及一种反应腔体内部气流速度检测装置。

背景技术：

1、在半导体去胶工艺的反应腔体中，气体流动是复杂的，且局部气体流动速度的变化可能对去胶效果产生显著影响。然而，现有的技术大多数是测量管道气体流速，还无法直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度，这导致工艺人员无法对气体流动进行精确的控制和优化。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种反应腔体内部气流速度检测装置，用于解决现有技术无法直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度的技术问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种反应腔体内部气流速度检测装置，所述装置包括：气流检测装置以及气流速度计算装置；其中，所述气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，与所述气流速度计算装置通信连接；所述气流检测装置，包括：导体滑动机构、固定电压电源以及电流表；所述导体滑动机构、固定电压电源以及电流表依次串联，形成检测电路；所述导体滑动机构，用于在反应腔内部气体流动时导体被带动在导轨上移动，引起导体滑动机构电阻变化，以使检测电路的电流变化；所述固定电压电源，用于为检测电路提供固定电压；所述电流表，用于实时采集检测电路的电流数据；所述气流速度计算装置，用于基于气体流速检测算法，根据电流表的电流数据计算获得反应腔体内部局部气体流速。

3、于本发明的一实施例中，所述导体滑动机构包括导轨结构、导体、弹性部件以及绝缘固定物块；所述导轨结构具有从底端向顶端延伸的导轨，且导轨底端固定于所述绝缘固定物块上；所述导体与导轨滑动连接，以沿滑动轨道方向滑动；所述弹性部件两端分别连接所述绝缘固定物块以及导体，可在所述导体作用下形变；当反应腔体内部由气流产生的风力作用于所述导体时，带动弹性部件产生形变，使所述导体在导轨上沿滑动轨道方向滑动到相应位置。

4、于本发明的一实施例中，所述导体具有作用接触面，用于使反应腔体内部的气流所形成的不同方向的风力作用于其上，以被带动沿着对应轨道滑动方向移动。

5、于本发明的一实施例中，所述导体为长方形导体，与轨道滑动方向平行的两个侧面为与导轨接触的滑动面，平行且垂直滑动轨道方向的两个侧面为作用接触面；两个作用接触面包括：第一作用接触面以及第二作用接触面；其中，第一作用接触面连接所述弹性部件，且第一作用接触面、导轨以及绝缘固定物块的固定面形成一容纳空间，该容纳空间的大小可随长方形导体的移动变化。

6、于本发明的一实施例中，所述导轨结构包括：两个相同且平行布置的导轨，且两个导轨的底端固定于固定物块的固定面上；长方形导体的两个滑动面各自与两个导轨接触，以使长方形导体沿滑动轨道方向滑动。

7、于本发明的一实施例中，所述弹性部件为弹簧，其形变方向与轨道滑动方向平行，且在反应腔内部没有气体流动时保持初始形态。

8、于本发明的一实施例中，当反应腔体内部气体流动产生的风力作用于长方形导体的第一作用接触面带动长方形导体向导轨顶端方向移动时，弹簧伸长，使长方形导体在导轨上向导轨顶端方向滑动到相应位置，引起导体滑动机构电阻变大；当反应腔内部气体流动产生的风力作用于长方形导体的第二作用接触面带动长方形导体向导轨底端方向移动时，弹簧压缩，使长方形导体在导轨上向导轨底端方向滑动到相应位置，引起导体滑动机构电阻变小；当反应腔体内部没有气体流动时，弹簧为初始形态，长方形导体位于初始位置。

9、于本发明的一实施例中，所述气流速度计算装置包括：数据获取模块，用于获取装置设计参数以及所述电流表的当前的电流示数；其中，所述装置设计参数包括：所述固定电压、检测电路的初始电阻、长方形导体参数、弹簧参数、气流密度以及导轨参数；气流速度计算模块，连接所述数据获取模块，用于基于气体流速检测算法，根据装置设计参数以及所述电流表的当前的电流示数计算当前的反应腔体内部局部气体流速。

10、于本发明的一实施例中，所述气体流速检测算法包括：

11、 ；其中，为当前的反应腔体内部局部气体流速，为所述固定电压电源提供的固定电压，为电流表当前的电流示数，为所述导体滑动机构的初始电阻、为长方形导体的质量、为弹簧的劲度系数、t为当前的时间、为气流密度、为长方体导体的作用接触面的面积、为导轨的电导率以及为导轨的横截面积。

12、于本发明的一实施例中，所述绝缘固定物块为长方体结构。

13、如上所述，本发明是一种反应腔体内部气流速度检测装置，具有以下有益效果：本发明将气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，并与气流速度计算装置通信连接；利用气流检测装置中的导体滑动机构在气体流动作用下的移动引起电阻变化，进而通过气流检测装置的检测电路采集电流变化数据，并基于气体流速检测算法计算获得反应腔体内部局部气体流速。此装置能够直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度，解决了现有技术无法精确控制和优化气体流动的问题，为半导体去胶工艺的精确控制和优化提供了有力支持。

技术特征：

1.一种反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述装置包括：气流检测装置以及气流速度计算装置；

2.根据权利要求1中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述导体滑动机构包括导轨结构、导体、弹性部件以及绝缘固定物块；

3.根据权利要求2中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述导体具有作用接触面，用于使反应腔体内部的气流所形成的不同方向的风力作用于其上，以被带动沿着对应轨道滑动方向移动。

4.根据权利要求3中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述导体为长方形导体，与轨道滑动方向平行的两个侧面为与导轨接触的滑动面，平行且垂直滑动轨道方向的两个侧面为作用接触面；两个作用接触面包括：第一作用接触面以及第二作用接触面；其中，第一作用接触面连接所述弹性部件，且第一作用接触面、导轨以及绝缘固定物块的固定面形成一容纳空间，该容纳空间的大小可随长方形导体的移动变化。

5.根据权利要求4中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述导轨结构包括：两个相同且平行布置的导轨，且两个导轨的底端固定于固定物块的固定面上；长方形导体的两个滑动面各自与两个导轨接触，以使长方形导体沿滑动轨道方向滑动。

6.根据权利要求5中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述弹性部件为弹簧，其形变方向与轨道滑动方向平行，且在反应腔内部没有气体流动时保持初始形态。

7.根据权利要求6中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，当反应腔体内部气体流动产生的风力作用于长方形导体的第一作用接触面带动长方形导体向导轨顶端方向移动时，弹簧伸长，使长方形导体在导轨上向导轨顶端方向滑动到相应位置，引起导体滑动机构电阻变大；当反应腔内部气体流动产生的风力作用于长方形导体的第二作用接触面带动长方形导体向导轨底端方向移动时，弹簧压缩，使长方形导体在导轨上向导轨底端方向滑动到相应位置，引起导体滑动机构电阻变小；当反应腔体内部没有气体流动时，弹簧为初始形态，长方形导体位于初始位置。

8.根据权利要求7中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述气流速度计算装置包括：

9.根据权利要求8中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述气体流速检测算法包括：

10.根据权利要求2中所述的反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述绝缘固定物块为长方体结构。

技术总结本发明提供一种反应腔体内部气流速度检测装置，将气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，并与气流速度计算装置通信连接；利用气流检测装置中的导体滑动机构在气体流动作用下的移动引起电阻变化，进而通过气流检测装置的检测电路采集电流变化数据，并基于气体流速检测算法计算获得反应腔体内部局部气体流速。此装置能够直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度，解决了现有技术无法精确控制和优化气体流动的问题，为半导体去胶工艺的精确控制和优化提供了有力支持。技术研发人员：谭小龙,涂乐义,桂智谦,王兆祥,梁洁,彭国发,李一平受保护的技术使用者：上海邦芯半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2