ZR轴机械手的制作方法

本发明涉及半导体芯片的拾取和贴装，尤其涉及一种zr轴机械手。

背景技术：

1、在自动化生产中，机械手的应用已经越来越广泛。在一些细小工件（如小型ic等，尤其是一些长宽在微米级的半导体芯片）的抓取过程中，对机械手的整体结构以及对机械手的z轴方向的精度、力度、稳定性等控制有很高的要求。现有的zr轴机械手为了减少r轴的跳动，提升r轴方向的精度，在设计时，尽量减少r轴的长度。

2、因此，通常将吸嘴紧贴旋转电机安装，布局的时候一般将旋转电机安装在zr轴机械手的前端。而zr轴机械手的进气接头在顶部，这就导致需要采用很长的气管来接通进气接头和旋转电机。

3、长气管在狭窄的内部空间里面活动，容易剐蹭内部结构，且长气管自重大，在旋转电机上下运动至不同位置时对z轴电机的作用力不均衡，气管给电机带来摩擦阻力影响到z轴电机的开环力控，进而影响机械手的精度。

4、此外，现阶段的直线运动导向结构采用直线导轨或直线轴承，直线导轨和直线轴承其轨道和滑动部分属于接触式的滑动摩擦，由于零件精度的问题，接触式的摩擦力不能保证全行程属于均匀状态，若果摩擦力不是均匀的，那么对于这个运动方向的电机进行在进行开环力控电机控制时，将做不到很高的力控重复精度和低压力值的力控精度。即现有的机械手的旋转电机上下运动时，受到的导轨的摩擦阻力大且不均匀，影响了电机的开环力控。

技术实现思路

1、本发明实施例所要解决的技术问题在于，提供一种zr轴机械手，以使pcb向高密度方向的应用更加广泛。

2、为了解决上述技术问题，本发明实施例提出了一种zr轴机械手，包括基座、旋转电机，基座上竖设有z轴电机，基座顶部设有进气接头，旋转电机的旋转轴内部中空，旋转电机顶部设有接通旋转轴的旋转气管接头，所述机械手还包括竖设的气浮导轨，气浮导轨由气浮板和导轨组成，气浮板和基座固连，z轴电机连接导轨，导轨内设有气道，气道的进气口和出气口分别位于导轨上下两端，导轨底部设有旋转电机固定座，旋转电机设于旋转电机固定座，气道的进气口与进气接头之间、出气口与旋转气管接头之间通过气管连通。

3、进一步地，所述机械手还包括用于安装吸嘴的吸嘴柄，旋转电机的旋转轴前端设有吸嘴座，吸嘴座前端设有用于吸附安装吸嘴柄的磁环。

4、进一步地，吸嘴座中部设有锥孔，吸嘴柄顶部设有对应的锥轴。

5、进一步地，旋转电机固定座上设有z轴限位凸台，基座上对应设有上限位部和下限位部。

6、进一步地，所述机械手还包括配重弹性元件，配重弹性元件作用于导轨中心，对导轨施加向上的作用力。

7、进一步地，z轴电机的初级连接导轨，z轴电机的次级固设于基座上。

8、本发明的有益效果为：

9、1、本发明采用气浮导轨作为直线运动机构的导向，降低了运动摩擦阻力，提高了电机开环力控精度，以及由于摩擦力低，使电机能实现更低的力控精度。

10、2、本发明将气浮导轨作为气管的一部分，降低了气管的长度，避免了气管剐蹭内部结构，影响z轴电机的开环力控，提升了机械手的精度。

11、3、本发明的吸嘴采用磁力固定，能实现自动装夹更换吸嘴的动作。吸嘴采用直接螺丝顶紧或者零件抱夹，这种方式更换吸嘴需要人为操作才能实现，因此不能进行设备的自动更换吸嘴。

技术特征：

1.一种zr轴机械手，包括基座、旋转电机，基座上竖设有z轴电机，基座顶部设有进气接头，旋转电机的旋转轴内部中空，旋转电机顶部设有接通旋转轴的旋转气管接头，其特征在于，所述机械手还包括竖设的气浮导轨，气浮导轨由气浮板和导轨组成，气浮板和基座固连，z轴电机连接导轨，导轨内设有气道，气道的进气口和出气口分别位于导轨上下两端，导轨底部设有旋转电机固定座，旋转电机设于旋转电机固定座，气道的进气口与进气接头之间、出气口与旋转气管接头之间通过气管连通。

2.如权利要求1所述的zr轴机械手，其特征在于，所述机械手还包括用于安装吸嘴的吸嘴柄，旋转电机的旋转轴前端设有吸嘴座，吸嘴座前端设有用于吸附安装吸嘴柄的磁环。

3.如权利要求2所述的zr轴机械手，其特征在于，吸嘴座中部设有锥孔，吸嘴柄顶部设有对应的锥轴。

4.如权利要求1所述的zr轴机械手，其特征在于，旋转电机固定座上设有z轴限位凸台，基座上对应设有上限位部和下限位部。

5.如权利要求1所述的zr轴机械手，其特征在于，所述机械手还包括配重弹性元件，配重弹性元件作用于导轨中心，对导轨施加向上的作用力。

6.如权利要求1所述的zr轴机械手，其特征在于，z轴电机的初级连接导轨，z轴电机的次级固设于基座上。

技术总结本发明实施例公开了一种ZR轴机械手，包括基座、旋转电机，基座上竖设有Z轴电机，基座顶部设有进气接头，旋转电机的旋转轴内部中空，旋转电机顶部设有接通旋转轴的旋转气管接头，所述机械手还包括竖设的气浮导轨，气浮导轨由气浮板和导轨组成，气浮板和基座固连，Z轴电机连接导轨，导轨内设有气道，气道的进气口和出气口分别位于导轨上下两端，导轨底部设有旋转电机固定座，旋转电机设于旋转电机固定座，气道的进气口与进气接头之间、出气口与旋转气管接头之间通过气管连通。本发明将气浮导轨作为气管的一部分，降低了气管的长度，避免了气管剐蹭内部结构，影响Z轴电机的开环力控，提升了机械手的精度。技术研发人员：黄朝敏,刘东成,龚勋受保护的技术使用者：德瑞精工（深圳）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2