光刻机同步控制方法与流程

本申请涉及光刻机，更为具体地说，涉及一种光刻机同步控制方法。

背景技术：

1、光刻机是半导体制造过程中的重要设备，其作用是将掩膜版中的电路图案按照预定的尺寸和位置通过曝光工艺精准地转移到硅片或其他衬底上，这就要求在掩膜版与硅片或其他底衬具有极高的对准精度，光刻机的精度和分辨率对芯片制造的质量和性能至关重要。

2、光刻机曝光工艺过程中不仅涉及掩膜版转运、晶圆转运、粗对准、精对准等运动控制类任务，还存在如图像处理任务、数据传输任务、状态监测任务等其它类型的任务，也即光刻机工作过程中需处理多任务场景下的控制，只有将多任务场景下的各种控制、处理、协调有机有机统一，才能保证光刻机的光刻效率和光刻质量。而现有普通光刻机在对多任务场景下多任务处理时，协调优化能力有限，无法有效地协调不同任务之间的优先级和时间关系，致使生产过程中的资源浪费和效率低下，存在数据传输速度慢、响应时间长、精度不高、稳定性差的问题，容易引发制造过程中的误差累积，无法满足高速、高效、高质量的生产需求。

3、因此，期望提供一种光刻机同步控制方案，以解决上述现有技术存在的不足。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种光刻机同步控制方法，其通过基于具有延时时间的延时队列使得任务按照预定时间间隔执行，同时引入线程池并发处理多个任务，提升了多任务协调处理能力。

2、根据本申请的一方面，提供了一种光刻机同步控制方法，包括：获取需要同步控制和多线程并发处理的多个任务；将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列，在所述延时队列中，所述多个任务基于所述延时时间排序，以使得所述延时队列中的每个任务具有预定时间间隔；以及，将在所述延时队列中经过同步控制处理后的待处理任务送入线程池中，所述线程池中的多个工作线程中的每个工作线程顺序处理所述待处理任务以进行任务的并发处理。

3、在上述光刻机同步控制方法中，所述需要同步控制和多线程并发处理的任务包括：图像处理任务、运动控制任务、数据传输任务和状态监测任务。

4、在上述光刻机同步控制方法中，将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列之前，进一步包括：创建所述延时队列；初始化所述延时队列，并开启循环阻塞以等待添加任务；以及，添加所述多个任务。

5、在上述光刻机同步控制方法中，所述延时队列包括：用于将任务加入所述延时队列的推送函数，用于启动延时队列的启动函数，用于停止延时队列的停止函数和用于检查和执行延时任务的工作线程循环函数。

6、在上述光刻机同步控制方法中，将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列包括：使用互斥锁保护所述延时队列的访问；和，通过条件变量通知所述延时队列启动和停止所述延时任务的执行。

7、在上述光刻机同步控制方法中，在所述线程池中，所述待处理任务具有基于任务的重要性和紧急程度的任务优先级。

8、在上述光刻机同步控制方法中，在所述线程池中，通过设置信号量值限制所述多个工作线程并发执行的任务数量。

9、在上述光刻机同步控制方法中，进一步包括：在所述线程池中的所述工作线程执行完任务后，返回处理结果。

10、本发明实施例提供的光刻机同步控制方法至少具有如下有益效果：

11、所述光刻机同步控制方法可以通过基于具有延时时间的延时队列的任务调度机制，使得任务按照预定时间间隔执行，提高了同步控制的精度和稳定性；同时引入线程池并发处理多个任务，有效提升了多任务协调处理能力，优化了任务执行的效率和速度；通过并发处理多个任务，可以更好地协调不同任务之间的优先级和时间关系，提高了同步控制的灵活性和适应性。

12、并且，所述光刻机同步控制方法可以结合延时队列和线程池的优势，实现对光刻机同步控制的全面优化，为提高生产效率和产品质量提供了重要技术支持。

技术特征：

1.一种光刻机同步控制方法，包括：

2.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，其中，所述需要同步控制和多线程并发处理的任务包括：图像处理任务、运动控制任务、数据传输任务和状态监测任务。

3.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，其中，将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列之前，进一步包括：

4.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，其中，所述延时队列包括：用于将任务加入所述延时队列的推送函数，用于启动延时队列的启动函数，用于停止延时队列的停止函数和用于检查和执行延时任务的工作线程循环函数。

5.如权利要求4所述的光刻机同步控制方法，其中，将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列包括：

6.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，其中，在所述线程池中，所述待处理任务具有基于任务的重要性和紧急程度的任务优先级。

7.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，其中，在所述线程池中，通过设置信号量值限制所述多个工作线程并发执行的任务数量。

8.如权利要求1所述的光刻机同步控制方法，进一步包括：

技术总结提供了一种光刻机同步控制方法。该光刻机同步控制方法包括：获取需要同步控制和多线程并发处理的多个任务；将所述多个任务基于对于每个任务设置的延时时间添加到延时队列，在所述延时队列中，所述多个任务基于所述延时时间排序，以使得所述延时队列中的每个任务具有预定时间间隔；以及，将在所述延时队列中经过同步控制处理后的待处理任务送入线程池中，所述线程池中的多个工作线程中的每个工作线程顺序处理所述待处理任务以进行任务的并发处理。这样，通过基于具有延时时间的延时队列使得任务按照预定时间间隔执行，同时引入线程池并发处理多个任务，可以提升多任务协调处理能力。技术研发人员：张琪,符友银,沈全安,邹欢灿受保护的技术使用者：新毅东（上海）科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/29