物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中，需要通过物料转移装置将晶圆在各个装置之间进行转移，然而，现有的物料转移装置的灵活度不佳，影响用户的使用体验。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的物料转移装置的灵活度不佳的技术问题。

2、在第一方面，本实用新型提供了一种物料转移装置，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的连接臂以及用于取料的取料构件，

3、所述平移驱动机构与所述升降驱动机构连接且能够驱动所述升降驱动机构水平移动，所述升降驱动机构与所述旋转驱动机构连接且能够驱动所述旋转驱动机构竖直移动，所述旋转驱动机构与所述连接臂的一端连接且能够驱动所述连接臂绕竖直轴线旋转，所述取料构件安装在所述连接臂的另一端。

4、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料构件停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料构件停止在取料位。

5、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓以及安装在所述第一限位螺栓上的第一锁紧螺母，所述旋转驱动机构上设有第一螺纹孔，所述第一限位螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，所述第一限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第一限位螺栓的另一端穿过所述第一螺纹孔与所述第一锁紧螺母螺接，所述第一锁紧螺母抵接于所述旋转驱动机构；和/或

6、所述第二限位止挡构件包括水平设置的第二限位螺栓以及安装在所述第二限位螺栓上的第二锁紧螺母，所述旋转驱动机构上设有第二螺纹孔，所述第二限位螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，所述第二限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第二限位螺栓的另一端穿过所述第二螺纹孔与所述第二锁紧螺母螺接，所述第二锁紧螺母抵接于所述旋转驱动机构。

7、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述旋转驱动机构包括与所述升降驱动机构连接的安装座以及固定在所述安装座上的旋转气缸，所述旋转气缸与所述连接臂的一端连接，所述第一限位止挡构件和所述第二限位止挡构件均设于所述安装座。

8、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述升降驱动机构包括与所述平移驱动机构连接的升降座以及安装在所述升降座上的升降气缸，所述升降气缸与所述安装座连接。

9、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括设于所述安装座上的第一导向构件以及设于所述升降座上的第二导向构件，所述第一导向构件与所述第二导向构件相配合以在所述安装座相对于所述升降座上下移动的过程中对所述安装座进行导向。

10、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一导向构件和所述第二导向构件中的一个为竖直导轨，所述第一导向构件和所述第二导向构件中的另一个为导向块，所述导向块与所述竖直导轨相适配。

11、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述取料构件为吸盘。

12、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述平移驱动机构包括平移电机、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的滑座，所述升降驱动机构固定安装在所述滑座上，所述平移电机用于驱动所述水平丝杠转动，所述滑座随着所述水平丝杠的转动沿着所述水平丝杠的长度方向水平移动。

13、在第二方面，本实用新型还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的物料转移装置。

14、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的物料转移装置在平移驱动机构和升降驱动机构的基础上增设了旋转驱动机构，通过旋转驱动机构能够带着取料构件绕竖直轴线旋转，使得物料转移装置更加灵活，便于布置。

15、进一步地，本实用新型的物料转移装置通过设置第一限位止挡构件和第二限位止挡构件对连接臂进行限位止挡，能够使连接臂上的取料构件准确地停止在放料位和取料位，使得物料的取放操作能够顺利地完成，有利于提高工作效率。

16、又进一步地，本实用新型的物料转移装置通过将第一限位止挡构件和第二限位止挡构件设置为限位螺钉，并在旋转驱动机构上设置与其相适配的螺纹孔，便于对连接臂的停止位置进行校准，以确保通过限位螺栓的止挡使连接臂上的取料构件准确地停止在放料位和取料位，校准后，通过锁紧锁母对限位螺栓进行锁紧，避免限位螺栓发生移动，提高了物料转移装置的可靠性。

技术特征：

1.一种物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的连接臂以及用于取料的取料构件，

2.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料构件停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料构件停止在取料位。

3.根据权利要求2所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓以及安装在所述第一限位螺栓上的第一锁紧螺母，所述旋转驱动机构上设有第一螺纹孔，所述第一限位螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，所述第一限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第一限位螺栓的另一端穿过所述第一螺纹孔与所述第一锁紧螺母螺接，所述第一锁紧螺母抵接于所述旋转驱动机构；和/或

4.根据权利要求2所述的物料转移装置，其特征在于，所述旋转驱动机构包括与所述升降驱动机构连接的安装座以及固定在所述安装座上的旋转气缸，所述旋转气缸与所述连接臂的一端连接，所述第一限位止挡构件和所述第二限位止挡构件均设于所述安装座。

5.根据权利要求4所述的物料转移装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括与所述平移驱动机构连接的升降座以及安装在所述升降座上的升降气缸，所述升降气缸与所述安装座连接。

6.根据权利要求5所述的物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置还包括设于所述安装座上的第一导向构件以及设于所述升降座上的第二导向构件，所述第一导向构件与所述第二导向构件相配合以在所述安装座相对于所述升降座上下移动的过程中对所述安装座进行导向。

7.根据权利要求6所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一导向构件和所述第二导向构件中的一个为竖直导轨，所述第一导向构件和所述第二导向构件中的另一个为导向块，所述导向块与所述竖直导轨相适配。

8.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述取料构件为吸盘。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的物料转移装置，其特征在于，所述平移驱动机构包括平移电机、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的滑座，所述升降驱动机构固定安装在所述滑座上，所述平移电机用于驱动所述水平丝杠转动，所述滑座随着所述水平丝杠的转动沿着所述水平丝杠的长度方向水平移动。

10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的物料转移装置。

技术总结本技术涉及加工设备技术领域，具体涉及一种物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机。本技术旨在解决现有的物料转移装置的灵活度不佳的问题。为此目的，本技术的物料转移装置包括固定构件以及安装在固定构件上的平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的连接臂以及用于取料的取料构件，平移驱动机构与升降驱动机构连接且能够驱动升降驱动机构水平移动，升降驱动机构与旋转驱动机构连接且能够驱动旋转驱动机构竖直移动，旋转驱动机构与连接臂的一端连接且能够驱动连接臂绕竖直轴线旋转，取料构件安装在连接臂的另一端。通过旋转驱动机构能够带着取料构件绕竖直轴线旋转，使得物料转移装置更加灵活，便于布置。技术研发人员：张笑笑,卢凯文,徐公志受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5