一种硅片喷砂机用输送装置的制作方法

本技术涉及硅片喷砂，具体为一种硅片喷砂机用输送装置。

背景技术：

1、随着社会的发展，对硅片的应用愈加广泛，在做半导体晶体管前，硅片要经过喷砂处理，以去除表面氧化层，此类工艺是比较原始的工艺了，目前去处氧化层多用氢氟溶液，对制造工艺要求不高的低端半导体晶体管，可以用喷砂处理。

2、现有技术中，对于硅片喷砂机在使用时，对于硅片的输送仅仅能够保持硅片单面面向喷砂设备，无法对硅片的双面进行一次性加工，进而影响对硅片的喷砂加工效率；且在进行喷砂加工时，喷砂机的喷砂出口位置固定，使输送过程中的硅片在从喷砂出口移动后受到的喷砂较少，无法保证喷砂加工效果，以至于需要多次加工，影响对硅片的加工效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种硅片喷砂机用输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种硅片喷砂机用输送装置，包括喷砂箱、喷砂头和喷砂管，所述喷砂箱的内部左侧转动连接有第一传送带，所述喷砂箱的内部右侧转动连接有第二传送带，所述喷砂箱的内侧中间位置处转动连接有挡板，所述挡板的内侧固定连接有翻面板，所述翻面板的下端密封连接有连接管，所述连接管与挡板之间密封连接，所述喷砂箱的内壁上侧固定连接有限位轨框，所述限位轨框的内侧滑动连接有支撑滑块，所述支撑滑块的下端密封连接有喷砂头。

4、优选的，所述翻面板的上端面开设有盛放槽。

5、优选的，所述喷砂箱的前端下侧密封连接有吸气框，所述吸气框的下端密封连接有吸气风机，所述喷砂箱的前端上侧密封连接有排气框，所述排气框的上端密封连接有排气风机，所述吸气框与排气框的后端均呈开放设置，所述吸气框和排气框的后端均与挡板之间密封连接。

6、优选的，所述挡板的前端设有第一电机，所述第一电机与喷砂箱之间固定连接，所述第一电机的输出轴与挡板之间固定连接。

7、优选的，所述喷砂箱的内部后端左上侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出轴前端固定连接有转动杆，所述转动杆的右端转动连接有传动杆，所述传动杆与支撑滑块之间转动连接。

8、优选的，所述支撑滑块的前后端均固定连接有限位块，所述限位块与限位轨框之间滑动连接。

9、优选的，所述支撑滑块的上端密封连接有喷砂管，所述喷砂管与喷砂箱之间滑动连接，所述喷砂管与喷砂头之间密封连接。

10、优选的，所述翻面板的内侧开设有吸气口。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1、本实用新型中，通过设置的翻面板、吸气风机和排气风机，利用对翻面板的转动能够使落在盛放槽内的硅片进行翻面，以使第一传送带上端的硅片在单面喷砂后翻面落在第二传送带上，并在翻面板转动过程中能够使连接管在吸气框和排气框后端切换，进而能够使吸气风机和排气风机切换对连接管进行吸气排气切换，以便于对硅片进行吸附或吹向第二传送带，以使硅片输送过程中能够自动翻面，提升喷砂效率和喷砂加工全面性；

13、2、本实用新型中，通过设置的限位轨框、支撑滑块和转动杆，利用限位轨框的作用能够支撑滑块进行限位处理，并在转动杆的转动作用下使传动杆能够带动支撑滑块左右移动，进而使支撑滑块下端的喷砂头能够左右移动，以使喷砂头能够跟随硅片进行移动，以保证对硅片的喷砂加工效果。

技术特征：

1.一种硅片喷砂机用输送装置，包括喷砂箱(1)、喷砂头(9)和喷砂管(20)，其特征在于：所述喷砂箱(1)的内部左侧转动连接有第一传送带(2)，所述喷砂箱(1)的内部右侧转动连接有第二传送带(3)，所述喷砂箱(1)的内侧中间位置处转动连接有挡板(4)，所述挡板(4)的内侧固定连接有翻面板(5)，所述翻面板(5)的下端密封连接有连接管(6)，所述连接管(6)与挡板(4)之间密封连接，所述喷砂箱(1)的内壁上侧固定连接有限位轨框(7)，所述限位轨框(7)的内侧滑动连接有支撑滑块(8)，所述支撑滑块(8)的下端密封连接有喷砂头(9)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述翻面板(5)的上端面开设有盛放槽(10)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)的前端下侧密封连接有吸气框(11)，所述吸气框(11)的下端密封连接有吸气风机(12)，所述喷砂箱(1)的前端上侧密封连接有排气框(13)，所述排气框(13)的上端密封连接有排气风机(14)，所述吸气框(11)与排气框(13)的后端均呈开放设置，所述吸气框(11)和排气框(13)的后端均与挡板(4)之间密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述挡板(4)的前端设有第一电机(15)，所述第一电机(15)与喷砂箱(1)之间固定连接，所述第一电机(15)的输出轴与挡板(4)之间固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)的内部后端左上侧固定连接有第二电机(16)，所述第二电机(16)的输出轴前端固定连接有转动杆(17)，所述转动杆(17)的右端转动连接有传动杆(18)，所述传动杆(18)与支撑滑块(8)之间转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述支撑滑块(8)的前后端均固定连接有限位块(19)，所述限位块(19)与限位轨框(7)之间滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述支撑滑块(8)的上端密封连接有喷砂管(20)，所述喷砂管(20)与喷砂箱(1)之间滑动连接，所述喷砂管(20)与喷砂头(9)之间密封连接。

8.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机用输送装置，其特征在于：所述翻面板(5)的内侧开设有吸气口。

技术总结本技术涉及硅片喷砂技术领域，尤其为一种硅片喷砂机用输送装置，包括喷砂箱、喷砂头和喷砂管，所述喷砂箱的内部左侧转动连接有第一传送带，所述喷砂箱的内部右侧转动连接有第二传送带，所述喷砂箱的内侧中间位置处转动连接有挡板，所述挡板的内侧固定连接有翻面板，本技术中，通过设置的翻面板、吸气风机和排气风机，利用对翻面板的转动能够使落在盛放槽内的硅片进行翻面，以使第一传送带上端的硅片翻面落在第二传送带上，并在翻面板转动过程中使连接管在吸气框和排气框后端切换，进而能够使吸气风机和排气风机切换对连接管进行吸气排气切换，以使硅片输送过程中能够自动翻面，提升喷砂效率和喷砂加工全面性。技术研发人员：张明声受保护的技术使用者：昆山冠昂智能科技有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/11