一种用于减薄机的两级进给结构的制作方法

本技术属于半导体加工设备，涉及一种用于减薄机的两级进给结构。

背景技术：

1、随着半导体减薄工艺日渐发展和完善，为了在提高加工效率的同时提高产品质量，减小材料在减薄过程中形成的亚表面损伤层的厚度，相关技术人员总结出了分段减薄的减薄工艺，也就是把整个减薄过程分成多段，每段都设置不同的减薄工艺参数。一般来说，越接近目标尺寸的减薄阶段，减薄量和进给速度都会设置的越小，这样就能在保证效率的情况下同时提高减薄产品的表面质量，但是，目前市面上的单轴减薄机大都采用伺服电机、减速机加滚珠丝杠的传动组合，由于伺服电机的转速范围限制，无法实现进给速度大范围的改变，如果减薄精减段的进给速度设置较小，空行程段就无法高速进给，降低了效率；但如果空行程段的进给速度设置较大，减薄精减段就无法精密进给，又降低了减薄产品表面质量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对背景技术中减薄机磨轮进给速度调整范围小，影响加工效率的问题，提供一种磨轮进给速度调控范围大的用于减薄机的两级进给结构。

2、为此，本实用新型采取如下技术方案：

3、一种用于减薄机的两级进给结构，包括：

4、支座，所述支座呈u字形结构；

5、方箱，所述方箱设置于支座内并可沿竖直方向上下快速移动，所述方箱的两侧各设有一个卡槽，所述卡槽贯穿方箱的底端，所述方箱的前部沿方箱高度方向设有滑槽；

6、进给气缸，所述进给气缸为两个并位于卡槽内，进给气缸的顶端固定于卡槽顶部，进给气缸的底端固定于支座内壁底部；

7、滚珠丝杠，所述滚珠丝杠位于滑槽内并沿滑槽长度方向设置，滚珠丝杠上安装有与滑槽相配合的螺母副；

8、主轴套，所述主轴套安装于螺母副上并可随螺母副移动，所述主轴套内设有空气主轴；

9、磨轮，所述磨轮设置于空气主轴的底端。

10、进一步地，所述滑槽呈竖直。

11、进一步地，所述滚珠丝杠的顶端连接有用于驱动滚珠丝杠转动的电机。

12、进一步地，所述方箱的顶端设有支架，所述电机安装于支架上。

13、进一步地，所述电机通过减速机与滚珠丝杠相连接。

14、进一步地，所述方箱的两侧设有多个呈竖直设置的第一导轨，所述第一导轨上安装有滑块，所述滑块固定与支座内壁。

15、进一步地，所述第二导轨与滚珠丝杠呈相互品行设置。

16、进一步地，所述主轴套（11）设有连接板（21），所述连接板（21）与螺母副（7）相连接，所述方箱（2）靠近连接板（21）的一侧设有多个呈竖直设置的第二导轨（22），所述连接板（21）上设有与第二导轨（22）对应的第二导向槽（23）所述第二导轨（22）位于第二导向槽（23）内。

17、进一步地，所述主轴套的侧壁连接有呈水平设置的第一支撑杆、远离第一支撑杆的一侧设有与第一支撑杆同轴设置的第二支撑杆，所述第一支撑杆上连接有呈竖直设置的第一支撑气缸，所述第二支撑杆上连接有呈竖直设置的第二支撑气缸，所述第一支撑气缸和第二支撑气缸的顶端规定于支座的顶部。

18、本实用新型的有益效果在于：通过进给气缸带动方箱移动实现快速进给，在方箱上设置滚珠丝杠螺母副，并将空气主轴通过主轴套安装于螺母副上，通过螺母副实现高精度进给，通过快速进给和高精度进给二级进给的方式进行减薄操作，可大大提高减薄操作工作的效率，节省时间，且不影响减薄操作的效果。

技术特征：

1.一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述滑槽（5）呈竖直。

3.根据权利要求1所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述滚珠丝杠（6）的顶端连接有用于驱动滚珠丝杠（6）转动的电机（8）。

4.根据权利要求3所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述方箱（2）的顶端设有支架（9），所述电机（8）安装于支架（9）上。

5.根据权利要求3或4任意一项所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述电机（8）通过减速机（10）与滚珠丝杠（6）相连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述方箱（2）的两侧设有多个呈竖直设置的第一导轨（14），所述第一导轨（14）上安装有滑块（15），滑块（15）上设有第一导向槽（16），所述第一导轨（14）位于第一导向槽（16）内，所述滑块（15）固定与支座（1）内壁。

7.根据权利要求1所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述主轴套（11）的一侧固定有连接板（21），所述连接板（21）与螺母副（7）相连接，所述方箱（2）靠近连接板（21）的一侧设有多个呈竖直设置的第二导轨（22），所述连接板（21）上设有与第二导轨（22）对应的第二导向槽（23）所述第二导轨（22）位于第二导向槽（23）内。

8.根据权利要求7所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述第二导轨（22）与滚珠丝杠（6）呈相互平行设置。

9.根据权利要求1所述的一种用于减薄机的两级进给结构，其特征在于，所述主轴套（11）的侧壁连接有呈水平设置的第一支撑杆（17）、远离第一支撑杆（17）的一侧设有与第一支撑杆（17）同轴设置的第二支撑杆（18），所述第一支撑杆（17）上连接有呈竖直设置的第一支撑气缸（19），所述第二支撑杆（18）上连接有呈竖直设置的第二支撑气缸（20），所述第一支撑气缸（19）和第二支撑气缸（20）的顶端固定于支座（1）的顶部。

技术总结本技术提供了一种用于减薄机的两级进给结构，包括支座，所述支座内设有可沿竖直方向上下快速移动的方箱，所述方箱的两侧各设有一个卡槽，所述卡槽贯穿方箱的底端，所述方箱的前部沿方箱高度方向设有滑槽，卡槽内设有进给气缸，所述进给气缸的顶端固定于卡槽顶部，进给气缸的底端固定于支座内壁底部，滑槽内设有滚珠丝杠，滚珠丝杠上安装有螺母副，螺母副上设有主轴套。本技术通过进给气缸带动方箱移动实现快速进给，在方箱上设置滚珠丝杠螺母副，并将空气主轴通过主轴套安装于螺母副上，通过螺母副实现高精度进给，通过快速进给和高精度进给二级进给的方式进行减薄操作，可大大提高减薄操作工作的效率，节省时间。技术研发人员：马振华,王加初,张万财,曹丽萍受保护的技术使用者：平凉市老兵科技研发有限公司技术研发日：20231017技术公布日：2024/6/11