治具以及镀膜设备的制作方法

本发明涉及镀膜，尤其涉及一种治具以及镀膜设备。

背景技术：

1、为了满足在立体结构元器件上的更均匀、更致密的沉积，常需采用原子层沉积的真空镀膜工艺。一些技术中，在工件支撑台设置有加热装置，加热装置的热量可通过支撑台直接传递至工件，以使工件的镀膜面达到设定温度进行镀膜。然而，对于一些导热较差工件，工件与支撑台接触的一侧的温度会高于工件背离支撑件的一侧的温度，从而导致工件表面镀膜层的均匀性降低。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种治具，能够用于承载待镀膜的工件，提高工件镀膜层的均匀性。

2、本发明还提出一种具有上述治具的镀膜设备。

3、根据本发明的第一方面实施例的底座、顶盖和加热装置。

4、所述底座包括基底和支撑件，所述支撑件连接于所述基底，所述支撑件用于支撑工件，所述基底具有出气孔，所述顶盖为导热结构，所述顶盖连接于所述基底，所述顶盖与所述基底之间限定形成反应腔，所述出气孔与所述反应腔连通，所述支撑件位于所述反应腔内，所述顶盖具有与所述反应腔连通的进气孔，所述进气孔朝向所述支撑件，所述进气孔用于供反应气体进入所述反应腔，所述加热装置连接于所述基底，并位于所述支撑件的背离所述进气孔的一侧。

5、根据本发明实施例的治具，至少具有如下有益效果：

6、在本实施例中加热装置连接于底座，顶盖为导热结构，使得加热装置产生的热量能够经由底座传递至顶盖，因此，在将本实施例的治具用于镀膜设备时，反应气体在经由进气孔进入反应腔的过程中会被顶盖加热，反应气体进入反应腔后先与工件的背离支撑件的一侧接触而对工件该侧进行加热。由此，相对比于传统技术，将本实施例的治具用于装载工件进行镀膜时，工件的背离支撑件的一侧能够通过反应气体进行加热，从而降低工件的温差，使得工件温度更加均匀，进而提高工件表面镀膜层的均匀性。

7、根据本发明的一些实施例，所述底座和所述顶盖均为导热结构，所述加热装置连接于底座。

8、根据本发明的一些实施例，所述底座包括多个所述支撑件，每两个间隔设置的所述支撑件形成一个支撑组，所述支撑组的两个所述支撑件用于支撑同一个工件，所述支撑组的两个所述支撑件之间设置有所述出气孔。

9、根据本发明的一些实施例，所述治具还包括锁紧装置，所述锁紧装置可活动地连接于所述底座，所述锁紧装置用于锁定工件的位置。

10、根据本发明的一些实施例，所述锁紧装置包括连接件和锁紧件，所述连接件与所述底座可活动连接，所述连接件具有避让孔，所述避让孔用于避开所述工件的上方，所述锁紧件设置于所述避让孔处用于压紧所述工件。

11、根据本发明的一些实施例，所述锁紧件包括抵持部，所述抵持部与所述工件点接触或者线接触，以压紧所述工件。

12、根据本发明的一些实施例，所述支撑件具有避让槽，所述避让槽沿设定方向贯穿所述支撑件，所述避让槽具有向上的第三槽口，所述第三槽口的口缘用于支撑工件，并使所述工件的底部与所述避让槽的底部之间具有间隙。

13、根据本发明的一些实施例，所述支撑件的沿所述设定方向的均具有出气孔。

14、根据本发明的一些实施例，所述支撑件可拆卸地连接于所述基底。

15、根据本发明的一些实施例，所述底座包括承托板以及多个支撑件，所述承托板与多个所述支撑件连接为一体式结构，所述基底可拆卸连接于所述承托板，所述承托板具有通气孔，所述通气孔与所述出气孔连通。

16、根据本发明的一些实施例，所述出气孔的直径大于所述通气孔的直径；或者，

17、所述出气孔的直径小于所述通气孔的直径。

18、根据本发明的第二方面实施例的镀膜设备，包括第一方面实施例所述的治具。

19、根据本发明实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：

20、采用第一方面实施例的治具，治具包括加热装置，加热装置连接于底座，顶盖为导热结构，使得加热装置产生的热量能够经由底座传递至顶盖，因此，在利用本实施例对工件进行镀膜时，反应气体在经由进气孔进入反应腔的过程中会被顶盖加热，反应气体进入反应腔后先与工件的背离支撑件的一侧接触而对工件该侧进行加热。由此，相对比于传统技术，将本实施例的治具用于装载工件进行镀膜时，工件的背离支撑件的一侧能够通过反应气体进行加热，从而降低工件的温差，使得工件温度更加均匀，进而提高工件表面镀膜层的均匀性。

技术特征：

1.治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述底座包括多个所述支撑件，每两个间隔设置的所述支撑件形成一个支撑组，所述支撑组的两个所述支撑件用于支撑同一个工件，所述支撑组的两个所述支撑件之间设置有所述出气孔。

3.根据权利要求1或2所述的治具，其特征在于，所述支撑件均具有避让槽，所述避让槽沿水平方向贯穿所述支撑件，所述避让槽具有向上的第三槽口，所述第三槽口的口缘用于支撑工件，并使所述工件的底部与所述避让槽的底部之间具有间隙。

4.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述治具还包括锁紧装置，所述锁紧装置可活动地连接于所述底座，所述锁紧装置用于锁定工件的位置。

5.根据权利要求4所述的治具，其特征在于，所述锁紧装置包括连接件和锁紧件，所述连接件与所述底座可活动连接，所述连接件具有避让孔，所述避让孔用于避开工件的上方，所述锁紧件设置于所述避让孔处用于压紧所述工件。

6.根据权利要求5所述的治具，其特征在于，所述锁紧件包括抵持部，所述抵持部与所述工件点接触或者线接触，以压紧所述工件。

7.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述支撑件可拆卸地连接于所述基底。

8.根据权利要求7所述的治具，其特征在于，所述底座包括承托板以及多个支撑件，所述承托板与多个所述支撑件连接为一体式结构，所述基底可拆卸连接于所述承托板，所述承托板具有通气孔，所述通气孔与所述出气孔连通。

9.根据权利要求8所述的治具，其特征在于，所述出气孔的直径大于所述通气孔的直径；

10.镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的治具。

技术总结本发明公开了一种治具以及镀膜设备，其中治具包括底座、顶盖和加热装置。底座包括基底和支撑件，支撑件连接于基底，支撑件用于支撑工件，基底具有出气孔，顶盖为导热结构，顶盖连接于基底，顶盖与基底之间限定形成反应腔，出气孔与反应腔连通，支撑件位于反应腔内，顶盖具有与反应腔连通的进气孔，进气孔朝向支撑件，进气孔用于供反应气体进入反应腔，加热装置连接于基底。将本实施例的治具用于装载工件进行镀膜时，工件的背离加热装置的一侧能够通过反应气体进行加热，从而降低工件的温差，使得工件温度更加均匀，进而提高工件表面镀膜层的均匀性。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：深圳市原速科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/11