单晶炉的制作方法

本申请涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉。

背景技术：

1、随着科技的发展，单晶炉的应用越来越广泛。通常，通过单晶炉可以制作晶体，例如，通过单晶炉制作蓝宝石晶体，再例如，通过单晶炉制作硅晶体。通常，单晶炉包括炉体，炉体中设置有坩埚以及加热器，在将物料放置在坩埚中之后，通过加热器对坩埚进行加热，使得坩埚中的物料熔化形成熔体，之后对熔体进行拉晶，使得熔体形成晶体。但在坩埚中的熔体泄露之后，熔体易对炉体的底部造成损伤。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种单晶炉，以解决相关技术中在坩埚中的熔体泄露之后，熔体易对炉体的底部造成损伤的问题。

2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

3、本申请实施例提供了一种单晶炉，所述单晶炉包括：炉体、热场组件以及承载盘；

4、所述热场组件以及所述承载盘均位于所述炉体中，所述热场组件包括坩埚、加热器以及保温件，所述坩埚用于承载物料，所述加热器用于对所述物料进行加热，以使所述物料熔化成为熔体，所述保温件位于所述坩埚的下方，所述保温件设置有溢流孔，所述承载盘位于所述保温件的下方，所述承载盘用于承载从所述坩埚中泄露，且从所述溢流孔中流出的熔体。

5、可选地，所述单晶炉还包括警报组件；

6、所述承载盘中设置有检测件，所述警报组件位于所述炉体的外部空间，所述警报组件与所述检测件电连接；

7、在所述熔体通过所述溢流孔流入所述承载盘，且与所述检测件接触的情况下，所述警报组件发出警报。

8、可选地，所述单晶炉还包括控制器；

9、所述控制器位于所述单晶炉的外部空间，所述检测件以及所述警报组件均与所述控制器电连接；

10、在所述熔体通过所述溢流孔流入所述承载盘，且与所述检测件接触的情况下，所述检测件向所述控制器发送检测信号，所述控制器基于所述检测信号控制所述警报组件发出警报。

11、可选地，所述加热器与所述控制器电连接，在所述熔体通过所述溢流孔流入所述承载盘，且与所述检测件接触的情况下，所述控制器控制所述加热器停止运行。

12、可选地，所述单晶炉中还设置有提拉件，所述提拉件与所述控制器电连接，所述提拉件用于提拉所述炉体中的晶体；

13、在所述熔体通过所述溢流孔流入所述承载盘，且与所述检测件接触的情况下，所述控制器控制所述提拉件将所述晶体提拉至所述热场组件的上方，以使所述晶体脱离所述热场组件。

14、可选地，所述溢流孔正对部分所述检测件。

15、可选地，所述检测件为电阻丝，所述承载盘包括盘底和侧壁，所述侧壁与所述盘底连接，且所述侧壁沿所述盘底的周向方向环绕所述盘底，所述电阻丝设置在承载盘的盘底上，侧壁上设置有安装孔，所述电阻丝穿设于所述安装孔，与所述警报组件电连接。

16、可选地，所述电阻丝与所述安装孔的孔壁之间设置有密封件，所述密封件用于密封所述电阻丝与所述孔壁之间的间隙。

17、可选地，所述电阻丝上包裹有绝缘布，所述绝缘布用于隔绝所述电阻丝以及所述盘底，以避免所述电阻丝与所述盘底之间导电。

18、可选地，所述承载盘与所述炉体的底部接触，所述炉体的底部承载所述承载盘；

19、或，所述承载盘固定在所述炉体的内壁上。

20、在本申请实施例中，由于热场组件以及承载盘均位于炉体中，热场组件包括坩埚、加热器以及保温件，保温件位于坩埚的下方，保温件上设置有溢流孔，因此，在将物料放置在坩埚中，加热器便可以对物料加热，物料便可以在坩埚中熔化形成熔体，在熔体从坩埚中泄露之后，熔体会流至保温件上，并从保温件上的溢流孔中继续流动。由于承载盘位于保温件的下方，因此，在熔体从溢流孔中流出之后，熔体便会流至承载盘中，从而承载盘便会承载从坩埚中泄露的流体，避免流体直接与炉体的底部接触。也即是，在本申请实施例中，通过在热场组件的下方，即在保温件的下方设置承载盘，且保温件上设置溢流孔，从而可以使得从坩埚中泄露的熔体在流至保温件上之后，从保温件上的溢流孔中可以流至承载盘中，从而避免熔体直接跌落在炉体的底部，导致炉体的底部被熔体损坏的问题出现。

技术特征：

1.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括：炉体、热场组件以及承载盘；

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括警报组件；

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括控制器；

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述加热器与所述控制器电连接，在所述熔体通过所述溢流孔流入所述承载盘，且与所述检测件接触的情况下，所述控制器控制所述加热器停止运行。

5.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉中还设置有提拉件，所述提拉件与所述控制器电连接，所述提拉件用于提拉所述炉体中的晶体；

6.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述溢流孔正对部分所述检测件。

7.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述检测件为电阻丝，所述承载盘包括盘底和侧壁，所述侧壁与所述盘底连接，且所述侧壁沿所述盘底的周向方向环绕所述盘底，所述电阻丝设置在承载盘的盘底上，侧壁上设置有安装孔，所述电阻丝穿设于所述安装孔，与所述警报组件电连接。

8.根据权利要求7所述的单晶炉，其特征在于，所述电阻丝与所述安装孔的孔壁之间设置有密封件，所述密封件用于密封所述电阻丝与所述孔壁之间的间隙。

9.根据权利要求7所述的单晶炉，其特征在于，所述电阻丝上包裹有绝缘布，所述绝缘布用于隔绝所述电阻丝以及所述盘底，以避免所述电阻丝与所述盘底之间导电。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述承载盘与所述炉体的底部接触，所述炉体的底部承载所述承载盘；

技术总结本申请实施例提供了一种单晶炉。该单晶炉包括：炉体、热场组件以及承载盘；热场组件以及承载盘均位于炉体中，热场组件包括坩埚、加热器以及保温件，坩埚用于承载物料，加热器用于对物料加热，以使物料熔化成为熔体，保温件位于坩埚的下方，保温件设置有溢流孔，承载盘位于保温件的下方，承载盘用于承载从坩埚中泄露，且从溢流孔中流出的熔体。技术研发人员：黎志欣,刘海受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27