一种扩散炉的制作方法

本技术涉及扩散炉，具体为一种扩散炉。

背景技术：

1、由于供气管道与扩散炉直接连通，供气管道内也会受到扩散炉内高温的影响而导致供气管道内温度较高，使得在供气管道的供气过程中，氧气与三氯化硼气体易在高温的供气管道内发生反应，生成液态粘稠状的氧化硼并粘附在供气管道的管壁上，造成了氧气和三氯化硼气体的浪费，且容易堵塞供气管道，造成供气管道的出气不均匀。

2、中国专利公开号cn219409990u公开了“一种扩散炉”包括：炉体，炉体内具有腔室；炉体上设置有均与腔室连通的第一进气孔、第二进气孔以及出气孔。向腔室供气的第一供气管道和第二供气管道，第一供气管道用于输送氧气；第一供气管道的管口设置于第一进气孔的孔壁；第二供气管道用于输送三氯化硼气体，第二供气管道的管口设置于第二进气孔的孔壁。该设备中，用于输送氧气的供气管道和用于输送三氯化硼气体的供气管道为不同的供气管道，可避免氧气和三氯化硼气体在未进入腔室前就发生反应，生成液态粘稠状的氧化硼并粘附在供气管道，造成供气管道堵塞。

3、上述专利中虽然避免了氧气和三氯化硼在管道内就发生反应，但是氧气和三氯化硼需要从石英舟的一端扩散到另一端，此过程放缓了反应效率，现提出一种扩散炉可以更进一步的提高反应效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种扩散炉，以解决上述现有技术中的不足之处。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉，包括反应室，反应室内设有盛放硅片的石英舟，反应室内位于石英舟的两边设有第一出气管和第二出气管，第一出气管上设有多个呈阵列分布的第一出气口，第二出气管上设有多个呈阵列分布的第二出气口，反应室内位于硅片的四周设有螺旋出气管，螺旋出气管上设有多个第三出气口，反应室内设有出气管，排气管上设有多个排气口。

3、进一步的，第一出气管上位于各第一出气口处、第二出气管位于第二出气口处、螺旋出气管位于第三出气口处和排气管位于排气口处均设有电控阀门，便于控制氮气、氧气以及三氯化硼进入反应室内，以及防止在反应过程中气体进入出气管以及排气管内。

4、进一步的，第三出气口在螺纹出气管上的间距相等，使得螺旋出气管排放气体更加均匀。

5、进一步的，第一出气管和第二出气管均与反应室转动连接，使得第一出气管和第二出气管排放气体时排放角度更广，加速了气体的扩散。

6、进一步的，排气管位于反应室外部的一端设有抽气机构，当反应结束以后使用抽气机构加速多余反应气体的排出。

7、与现有技术相比，本实用新型提供的一种扩散炉，通过第一出气管排放氮气、第二出气管排放三氯化硼、螺旋出气管排放氧气，分开排放氧气和三氯化硼气体的排放可以防止在管道内发生反应堵塞管道，通过螺旋出气管可以省略氧气从硅片的一端扩散到另一端的过程，加速了氧气在反应室内部的扩散，此装置可以防止氧气与三氯化硼发生反应堵塞管道的同时又可以加速氧气在管道内的扩散。

技术特征：

1.一种扩散炉，其特征在于，包括反应室(1)，所述反应室(1)内设有盛放硅片(2)的石英舟(3)，所述反应室(1)内位于石英舟(3)的两边设有第一出气管(4)和第二出气管(5)，所述第一出气管(4)上设有多个呈阵列分布的第一出气口(401)，所述第二出气管(5)上设有多个呈阵列分布的第二出气口(501)，所述反应室(1)内位于硅片(2)的四周设有螺旋出气管(6)，所述螺旋出气管(6)上设有多个第三出气口(601)，所述反应室(1)内设有排气管(7)，所述排气管(7)上设有多个排气口(701)。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于，所述第一出气管(4)上位于各第一出气口(401)处、第二出气管(5)位于第二出气口(501)处、螺旋出气管(6)位于第三出气口(601)处和排气管(7)位于排气口(701)处均设有电控阀门。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于，所述第三出气口(601)在螺旋出气管(6)上的间距相等。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于，所述第一出气管(4)和第二出气管(5)均与反应室(1)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉，其特征在于，所述排气管(7)位于反应室(1)外部的一端设有抽气机构。

技术总结本技术公开了一种扩散炉，涉及扩散炉技术领域，包括反应室，所述反应室内设有盛放硅片的石英舟，所述反应室内位于石英舟的两边设有第一出气管和第二出气管，所述第一出气管上设有多个呈阵列分布的第一出气口，所述反应室内位于硅片的四周设有螺旋出气管，所述螺旋出气管上设有多个第三出气口，通过第一出气管排放氮气、第二出气管排放三氯化硼、螺旋出气管排放氧气，分开排放氧气和三氯化硼气体的排放可以防止在管道内发生反应堵塞管道，通过螺旋出气管可以省略氧气从硅片的一端扩散到另一端的过程，加速了氧气在反应室内部的扩散，此装置可以防止氧气与三氯化硼发生反应堵塞管道的同时又可以加速氧气在管道内的扩散。技术研发人员：樊选胜,宛正受保护的技术使用者：安徽美达伦光伏科技有限公司技术研发日：20231019技术公布日：2024/5/27