一种使用稳定的单晶炉抽空系统的制作方法

本技术涉及单晶炉抽真空，更具体地说，本技术涉及一种使用稳定的单晶炉抽空系统。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，多晶硅在生长的过程中，需要对单晶炉内部进行抽真空处理。

2、然而，目前的单晶炉使用单台单泵独立式抽空系统，一台单晶炉使用的是一台真空泵来保证真空系统，在单晶炉运行中一旦真空泵发生故障，就会导致单晶炉内反灰，从而使晶体成晶差、产能变低的情况发生，鉴于此，本实用新型提出一种使用稳定的单晶炉抽空系统。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种使用稳定的单晶炉抽空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种使用稳定的单晶炉抽空系统，包括多个炉体，多个所述炉体之间设置有集中抽空管道，多个炉体的抽气端处均安装有连接管道，所述连接管道的一端与炉体的抽气端处相连通，且连接管道的另一端与集中抽空管道相连通，所述集中抽空管道的一端设置有输送管道，所述输送管道上安装有多个抽空支管，且多个抽空支管的一端均设置有副抽空泵，所述输送管道的端部安装有主抽空泵，所述抽空支管和输送管道的表面均安装有阀门，所述副抽空泵和抽空支管连接处以及主抽空泵和输送管道连接处均设置有连接法兰，且通过连接法兰可拆卸连接。

3、可以看出，该结构中，能够对多个炉体内部进行抽真空处理，主真空泵和多个副真空泵能够提高多个炉体的抽真空效率，而且一旦某个真空泵发生损坏后，能够在不影响炉体内部抽真空的情况下，方便工作人员对损坏的真空泵进行更换。

4、为了能够方便将空气中的灰尘通过集中抽空管道输送至过滤箱的内部过滤，并将过滤后的空气通过输送管道排出，起到过滤的效果，优选地，所述集中抽空管道和输送管道之间设置有过滤箱，且集中抽空管道和输送管道均与过滤箱相连通。

5、为了能够在抽真空的情况下，将炉体内抽真空的空气灰尘进行过滤，优选地，所述过滤箱的内部设置有过滤网和吸附网，所述吸附网设置在过滤网的一侧，所述过滤箱的上表面设置有密封板，所述密封板的表面设置有拉槽。

6、为了方便能够对过滤网和吸附网进行拆卸和更换，优选地，所述密封板的底部设置有两个t形卡槽，所述过滤网和吸附网的顶端均设置有与t形卡槽结构相适配的t形卡块，所述t形卡块与t形卡槽滑动卡接。

7、为了方便将密封板与过滤箱之间进行拆卸，优选地，所述密封板和过滤箱的连接处均开设有多个螺纹孔，且多个螺纹孔的内部均螺纹安装有螺栓。

8、本实用新型的技术效果和优点：

9、1、通过将抽空泵和副抽空泵同时运行，使得多个炉体内部的空气通过连接管道进入到集中抽空管道的内部，并通过输送管道传输，达到多个炉体同时进行抽真空处理，而且一旦其中一个副抽空泵或者主抽空泵发生损坏时，为了保证炉体内部持续抽真空，仅需将损坏的主抽真空泵或者副抽真空泵处的阀门关闭，并使得损坏的真空泵与管道之间通过连接法兰进行拆除即可，使得在不影响单晶炉内部抽真空的情况下，方便工作人员对真空泵起到更换的目的；

10、2、通过在集中抽空管道和输送管道之间设置过滤箱，并且过滤箱的内部有过滤网和吸附网，进而单晶炉在抽真空时空气中的灰尘进入到过滤箱内部后，利用过滤网和吸附网进行过滤和吸附处理，对抽真空时空气中的灰尘进行过滤处理，避免对真空泵造成影响，而且通过拉槽将密封板往上提起并将过滤网和吸附网从过滤箱的内部抽出，将过滤网和吸附网通过t形卡槽与t形卡块与密封板之间进行拆除，可方便对过滤网和吸附网进行更换和安装。

技术特征：

1.一种使用稳定的单晶炉抽空系统，包括多个炉体（1），其特征在于：多个所述炉体（1）之间设置有集中抽空管道（2），多个炉体（1）的抽气端处均安装有连接管道（3），所述集中抽空管道（2）的一端设置有输送管道（4），所述输送管道（4）上安装有多个抽空支管（5），且多个抽空支管（5）的一端均设置有副抽空泵（6），所述输送管道（4）的端部安装有主抽空泵（7），所述抽空支管（5）和输送管道（4）的表面均安装有阀门（8）。

2.根据权利要求1所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述副抽空泵（6）和抽空支管（5）连接处以及主抽空泵（7）和输送管道（4）连接处均设置有连接法兰（9），且通过连接法兰（9）可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述连接管道（3）的一端与炉体（1）的抽气端处相连通，且连接管道（3）的另一端与集中抽空管道（2）相连通。

4.根据权利要求1所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述集中抽空管道（2）和输送管道（4）之间设置有过滤箱（10），且集中抽空管道（2）和输送管道（4）均与过滤箱（10）相连通。

5.根据权利要求4所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述过滤箱（10）的内部设置有过滤网（11）和吸附网（12），所述吸附网（12）设置在过滤网（11）的一侧，所述过滤箱（10）的上表面设置有密封板（13），所述密封板（13）的表面设置有拉槽（14）。

6.根据权利要求5所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述密封板（13）的底部设置有两个t形卡槽（15），所述过滤网（11）和吸附网（12）的顶端均设置有与t形卡槽（15）结构相适配的t形卡块（16），所述t形卡块（16）与t形卡槽（15）滑动卡接。

7.根据权利要求5所述的一种使用稳定的单晶炉抽空系统，其特征在于：所述密封板（13）和过滤箱（10）的连接处均开设有多个螺纹孔（17），且多个螺纹孔（17）的内部均螺纹安装有螺栓（18）。

技术总结本技术公开了一种使用稳定的单晶炉抽空系统，具体涉及单晶炉抽真空技术领域，包括多个炉体，多个所述炉体之间设置有集中抽空管道，多个炉体的抽气端处均安装有连接管道，所述集中抽空管道的一端设置有输送管道，所述输送管道上安装有多个抽空支管，且多个抽空支管的一端均设置有副抽空泵，所述输送管道的端部安装有主抽空泵，所述抽空支管和输送管道的表面均安装有阀门。本技术能够对多个炉体进行稳定抽真空处理，且能够在不影响炉体抽真空的情况下，对损坏的真空泵起到拆除更换的效果，同时能够对抽真空时的灰尘进行过滤处理，避免对真空泵造成影响，保证炉体内部抽真空的稳定运行。技术研发人员：丁佳旺,刘析河,柳定军,杨洪玉,王建利,郭嘉伟,董智慧受保护的技术使用者：乌海市京运通新材料科技有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/6/11