一种单晶炉热场结构

本技术涉及单晶炉，尤其涉及一种单晶炉热场结构。

背景技术：

1、单晶炉是一种用于生产单晶材料的专用设备。单晶材料是具有完整、有序晶体结构的材料，其晶粒内部没有晶界或颗粒边界，具有优异的物理、化学和机械性能，该器械应用于半导体、光电子、光学、陶瓷、材料科学等领域，而单晶炉热场结构是指单晶炉内部的热场环境形成的结构，它主要包括热隔离材料、加热元件和温度传感器等组成部分。现有的单晶炉热场结构其外表面多开设有通风孔，开设通风孔是因为某些单晶生长过程，需要在炉膛内控制特定的气氛条件，通风孔可以用于引入或排出特定气体，以实现所需的气氛控制，但由于现有的单晶炉热场结构其外表面并未设置对应的清洁组件，长期使用过程中，该组件的通风孔处易出现灰尘堆积的状况，在后续使用过程中，灰尘若长期停留在通风孔的内壁，则易导致通风孔处无法正常进行排风处理。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，即单晶炉热场结构其外表面并未设置对应的清洁组件，长期使用过程中，该组件的通风孔处易出现灰尘堆积的状况，在后续使用过程中，灰尘若长期停留在通风孔的内壁，则易导致通风孔处无法正常进行排风处理，本实用新型提供一种单晶炉热场结构。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种单晶炉热场结构，包括热场结构本体：所述热场结构本体的外表面设置有通风孔，所述通风孔共设置有多个，且多个通风孔以热场结构本体的外表面为路径并呈环形排列设置，所述热场结构本体的外表面还设置有承接架板，所述承接架板的外表面设置有承接槽，且承接架板的外表面两侧均设置有限位端板，所述承接架板通过承接槽滑动连接有调节组件，所述承接架板通过调节组件还连接有清洁组件，所述清洁组件包括与调节组件相连接的联动轴板，所述联动轴板的外表面固定连接有吸尘接头，所述吸尘接头的外表面开设有引风机接口。

3、作为一种优选的实施方式，所述调节组件包括与承接架板的承接槽处滑动连接的移动架板，所述移动架板的外表面设置有承载架板。

4、作为一种优选的实施方式，所述承载架板共设置有两个，且两个承载架板均位于移动架板的外表面，两个所述承载架板的外表面之间插设有固定杆。

5、作为一种优选的实施方式，所述固定杆的外表面套设有承接套环，所述承接套环的外表面设置有连接板，所述连接板的外表面插设有中轴。

6、作为一种优选的实施方式，所述中轴的两端均延伸至连接板的外部，所述中轴的两端均连接有延伸架板。

7、作为一种优选的实施方式，所述延伸架板的外表面设置有连接短杆，且连接短杆的外表面与吸尘接头的外表面相连接。

8、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

9、本实用新型，通过设置对应的调节组件及清洁组件，既可以通过调节组件进行对应的位置调节处理，同时还可以通过清洁组件直接对通风孔处进行清洁处理，防止灰尘停留在通风孔的内壁，通过上述两者的相互协作，尽量地避免了灰尘若长期停留在通风孔的内壁，则易导致通风孔处无法正常进行排风处理的技术问题，进而规避了因无法正常排风所引发的后续使用问题。

技术特征：

1.一种单晶炉热场结构，其特征在于，包括热场结构本体（1）：所述热场结构本体（1）的外表面设置有通风孔（2），所述通风孔（2）共设置有多个，且多个通风孔（2）以热场结构本体（1）的外表面为路径并呈环形排列设置，所述热场结构本体（1）的外表面还设置有承接架板（3），所述承接架板（3）的外表面设置有承接槽，且承接架板（3）的外表面两侧均设置有限位端板（4），所述承接架板（3）通过承接槽滑动连接有调节组件（5），所述承接架板（3）通过调节组件（5）还连接有清洁组件（6），所述清洁组件（6）包括与调节组件（5）相连接的联动轴板（601），所述联动轴板（601）的外表面固定连接有吸尘接头（602），所述吸尘接头（602）的外表面开设有引风机接口。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：所述调节组件（5）包括与承接架板（3）的承接槽处滑动连接的移动架板（501），所述移动架板（501）的外表面设置有承载架板（502）。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：所述承载架板（502）共设置有两个，且两个承载架板（502）均位于移动架板（501）的外表面，两个所述承载架板（502）的外表面之间插设有固定杆（503）。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：所述固定杆（503）的外表面套设有承接套环（504），所述承接套环（504）的外表面设置有连接板（505），所述连接板（505）的外表面插设有中轴（506）。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：所述中轴（506）的两端均延伸至连接板（505）的外部，所述中轴（506）的两端均连接有延伸架板（507）。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：所述延伸架板（507）的外表面设置有连接短杆（508），且连接短杆（508）的外表面与吸尘接头（602）的外表面相连接。

技术总结本技术提供一种单晶炉热场结构，涉及单晶炉技术领域，包括热场结构本体：所述热场结构本体的外表面设置有通风孔，所述通风孔共设置有多个，且多个通风孔以热场结构本体的外表面为路径并呈环形排列设置，所述热场结构本体的外表面还设置有承接架板。本技术，通过设置对应的调节组件及清洁组件，既可以通过调节组件进行对应的位置调节处理，同时还可以通过清洁组件直接对通风孔处进行清洁处理，防止灰尘停留在通风孔的内壁，通过上述两者的相互协作，尽量地避免了灰尘若长期停留在通风孔的内壁，则易导致通风孔处无法正常进行排风处理的技术问题，进而规避了因无法正常排风所引发的后续使用问题。技术研发人员：杨少林,陈亚,芮阳,付盼盼,陈泽玺,王忠保,熊欢,卢辉,吴建栋,盛之林受保护的技术使用者：北方民族大学技术研发日：20231012技术公布日：2024/6/11