玻璃真空封口设备及其在半导体用石英管生产中的应用的制作方法

本发明涉及初型玻璃的再成型，具体为玻璃真空封口设备及其在半导体用石英管生产中的应用。

背景技术：

1、石英玻璃管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料，其具有一系列优良的物理、化学性能。在石英玻璃管加工工艺中，玻璃的真空封口处理较为重要。

2、现有的玻璃真空封口设备中，如中国专利申请cn104556646a，通过将真空杯的杯口按压在抽真空开口，同时将吸附腔与抽真空开口之外的玻璃相抵靠，用于使得整个真空杯吸附在真空玻璃上；通过抽真空设备分别向真空杯的排气腔和吸附腔提供具有不同压强的吸力；在排气操作完成时，由封口设备带动其中的加热器朝向抽真空开口移动，由加热器对封口材料进行加热，从而将所述抽真空开口密封，并且真空杯分为吸附腔和排气腔，抽真空设备对上述两个腔体提供不同的压强，节约了能源，加快了抽真空的时间。

3、但其中还存在如下问题：每对一批玻璃真空封口后，重新加工下一批时，玻璃真空封口设备都需要重新形成真空腔，玻璃真空封口设备的工作效率较低，产生了较大的能源浪费。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了玻璃真空封口设备及其在半导体用石英管生产中的应用，具备降低玻璃真空封口处理时真空环境形成的时间，提高工作效率，降低生产成本等优点，解决了每对一批玻璃真空封口后，重新加工下一批时，玻璃真空封口设备都需要重新形成真空腔，玻璃真空封口设备的工作效率较低，产生了较大的能源浪费的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：玻璃真空封口设备，包括机体、设置在所述机体内的传输机构、设置在所述机体内的辅助机构，所述传输机构包括真空仓、回环导轨、传输架，所述机体内固定安装有所述真空仓，所述机体内固定安装有所述回环导轨，所述回环导轨的上端贯穿所述真空仓，所述回环导轨的下端位于所述真空仓的下方，所述回环导轨的两端贯穿所述机体的侧壁，所述回环导轨上滑动配合有多个所述传输架，所述传输架均匀分布在所述回环导轨上，所述传输架任意时刻只存在单个所述传输架位于所述真空仓内部；

3、所述辅助机构包括第一上密封门、缓冲仓、第二上密封门，所述真空仓的两侧均滑动设置有所述第一上密封门，所述第一上密封门位于所述回环导轨贯穿所述真空仓的位置，所述真空仓的两侧均固定安装有所述缓冲仓，所述缓冲仓位于所述回环导轨贯穿所述真空仓的位置，所述缓冲仓与所述真空仓相通，所述第一上密封门贯穿所述缓冲仓的顶面，所述第一上密封门与所述缓冲仓之间保持密封，所述缓冲仓上均滑动设置有所述第二上密封门，所述第二上密封门对所述缓冲仓上相对于所述回环导轨贯穿所述真空仓位置的另一端进行密封处理。

4、优选地，所述传输机构还包括电控阀门，所述真空仓底端固定安装有所述电控阀门，所述电控阀门与所述真空仓相通，所述机体内底端固定安装有真空泵，所述真空泵的抽气端与所述电控阀门相通，所述真空泵的排气端与所述机体的侧壁固定连接，所述机体上开设有排气口，所述机体的排气口位于所述真空泵的排气端与所述机体之间连接的位置。

5、优选地，所述机体内顶端固定安装有多个电控伸缩杆，所述电控伸缩杆呈直线均匀分布，所述电控伸缩杆均位于所述回环导轨的正上方，所述电控伸缩杆位于所述真空仓的上方，所述电控伸缩杆的定杆贯穿所述真空仓的顶端，所述电控伸缩杆与所述真空仓之间密封，所述电控伸缩杆的伸杆上均固定安装有烧结头，所述烧结头用于对玻璃管进行封口处理。

6、优选地，所述回环导轨分两部分结构对称分布，所述回环导轨的两部分结构之间未相互连接，所述回环导轨的两部分结构上均套设有链条，所述链条均与所述回环导轨滑动配合，两边的所述链条之间设置有多个所述传输架，所述传输架与所述两边的所述链条固定连接，所述传输架为软性材料，所述传输架均匀分布在所述链条上，所述传输架上设置有玻璃管，所述玻璃管随所述传输架移动至所述真空仓内利用所述烧结头进行封口处理。

7、优选地，所述机体内固定安装有步进电机，所述步进电机的轴上设置有齿轮，两个所述齿轮均与所述步进电机动力相连，两个所述齿轮分别与两边的所述链条相啮合。

8、优选地，所述辅助机构还包括第一滑架，所述机体顶端固定安装有多个所述第一滑架，所述第一滑架对称分布在所述真空仓的两侧，所述第一滑架与所述回环导轨贯穿所述真空仓的位置相邻，所述第一滑架贯穿所述缓冲仓的顶面，所述第一滑架与所述缓冲仓之间密封，所述第一滑架上均滑动配合有所述第一上密封门，所述真空仓的两侧均固定安装有第一下密封门，所述第一下密封门位于所述第一上密封门的正下方，所述第一下密封门位于所述缓冲仓的内部，所述第一上密封门与所述第一下密封门对所述回环导轨贯穿所述真空仓的位置进行合拢密封处理，所述机体内顶端固定安装有多个第一液压杆，所述第一液压杆的伸杆与所述第一上密封门固定连接。

9、优选地，所述机体顶端固定安装有多个第二滑架，所述第二滑架对称分布在整体的所述缓冲仓的两侧，所述第二滑架上均滑动配合有所述第二上密封门，所述缓冲仓上均固定安装有第二下密封门，所述第二下密封门位于所述第二上密封门的正下方，所述第二上密封门与所述第二下密封门对所述缓冲仓进行合拢密封处理，所述机体内顶端固定安装有多个第二液压杆，所述第二液压杆的伸杆与所述第二上密封门固定连接。

10、优选地，所述回环导轨的一端转动配合有检测件，所述检测件与所述回环导轨顶面的传输轨迹相邻，所述检测件位于玻璃真空封口设备的进料端，所述检测件用于检测所述传输架在玻璃真空封口设备进料端的移动位置，所述检测件的转轴上套设有扭簧，所述扭簧的一端与所述检测件相连，所述扭簧的另一端与所述回环导轨相连，所述回环导轨上固定安装有检测器，所述检测器用于检测所述检测件的转动，所述机体旁设置有玻璃管输送轨道，所述玻璃管输送轨道用于向玻璃真空封口设备传送玻璃管，所述玻璃管输送轨道与玻璃真空封口设备的进料端相对，所述检测器与所述玻璃管输送轨道信号连接。

11、一种上述的玻璃真空封口设备在半导体用石英管生产中的应用。

12、与现有技术相比，本发明提供了玻璃真空封口设备，具备以下有益效果：

13、1、该玻璃真空封口设备，通过真空仓内保持真空状态，先将玻璃管放置到传输架上，启动玻璃真空封口设备，传输架沿着回环导轨进行移动，使玻璃管在传输架上从玻璃真空封口设备的进料端向机体内送入，玻璃管移入机体内后，先打开第二上密封门，玻璃管随传输架在回环导轨上移入缓冲仓中，关闭第二上密封门，再打开第一上密封门，玻璃管随传输架在回环导轨上移入真空仓中，关闭第一上密封门，使玻璃管在真空仓中进行真空封口处理，而由于缓冲仓的限制，只会存在少量的气体进入真空仓中，真空仓可以极快地排气再次恢复真空状态，从而降低玻璃真空封口处理时真空环境形成的时间，提高工作效率，降低生产成本。

14、2、该玻璃真空封口设备，通过电控阀门的设置，在出现安全问题或是设备故障时，电控阀门会关闭以锁定真空仓的状态，从而避免产生的问题或是设备故障更加严重。

15、3、该玻璃真空封口设备，通过检测件的设置，传输架在玻璃真空封口设备的进料端抵动检测件，检测件产生转动，检测件触发检测器产生信号，检测器控制玻璃管输送轨道将玻璃管送到传输架上，避免传输架未移动到位置时，玻璃管发生放置而造成原材料损坏，降低设备产生故障的风险，提高设备运行的稳定性。