真空镀膜设备的制作方法

本申请涉及镀膜设备，特别是涉及一种真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜是指在真空环境下对工件进行镀膜，为保证镀膜的正常操作，真空镀膜设备内需形成真空腔来收容工件，其中常用的工件为玻璃基片。在真空镀膜过程中，需要对工件进行移动，例如工件的进出换向或传送镀膜工件进入指定镀膜位置。

2、为保证真空环境，真空箱体的箱壁设有密封件，例如设置在箱壁大气侧的波纹管，但工件在移动过程中受震动容易产生碎片，这些碎片可通过间隙进入并划伤密封件，导致密封件的破损，进而引发真空泄露，影响镀膜工艺。

技术实现思路

1、鉴于现有技术问题，申请提供一种可阻挡异物进入密封组件的真空镀膜设备，以解决因密封组件破坏导致的真空泄露问题。

2、本申请中真空镀膜设备，包括：

3、真空箱体，包括带通孔的箱壁，所述箱壁具有真空侧和大气侧；

4、传动杆，经所述通孔穿过所述箱壁，可沿其长度方向往复运动；

5、密封组件，连接在所述箱壁的大气侧，形成包围所述传动杆并连通所述真空侧的腔室；

6、阻挡件，固定在所述箱壁的真空侧，所述阻挡件穿套于所述传动杆并与其间隙配合，用于阻挡异物进入所述密封组件。

7、以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。

8、可选的，所述阻挡件封堵所述传动杆与所述通孔孔壁的间隙。

9、可选的，所述阻挡件包括伸入所述通孔的套筒以及由套筒边缘径向扩展的延伸翼，所述延伸翼贴靠在所述通孔的外周侧壁。

10、可选的，所述延伸翼为圆片结构。

11、可选的，所述阻挡件通过紧固件固定于所述箱壁。

12、可选的，所述真空镀膜设备包括位于大气侧的动力装置，所述动力装置带有输出轴，所述传动杆的一端与所述输出轴连接。

13、可选的，所述密封组件包括内部连通的波纹管与密封盒，所述密封盒沿轴向具有相对的第一侧壁和第二侧壁，所述波纹管沿轴向的两端分别与所述箱壁和所述第一侧壁密封连接，所述第二侧壁与所述动力装置的外壳密封连接。

14、可选的，所述传动杆与所述输出轴的连接部分位于所述密封盒内。

15、与现有技术相比，本申请通过设置阻挡件阻挡玻璃碎片等异物进入密封组件，延长密封件的使用寿命，避免因密封组件损坏导致真空泄露。

技术特征：

1.真空镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述阻挡件封堵所述传动杆与所述通孔孔壁的间隙。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述阻挡件包括伸入所述通孔的套筒以及由套筒边缘径向扩展的延伸翼，所述延伸翼贴靠在所述通孔的外周侧壁。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述延伸翼为圆片结构。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述阻挡件通过紧固件固定于所述箱壁。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，包括位于大气侧的动力装置，所述动力装置带有输出轴，所述传动杆的一端与所述输出轴连接。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述密封组件包括内部连通的波纹管与密封盒，所述密封盒沿轴向具有相对的第一侧壁和第二侧壁，所述波纹管沿轴向的两端分别与所述箱壁和所述第一侧壁密封连接，所述第二侧壁与所述动力装置的外壳密封连接。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述传动杆与所述输出轴的连接部分位于所述密封盒内。

技术总结本申请公开一种真空镀膜设备，包括：真空箱体，包括带通孔的箱壁，所述箱壁具有真空侧和大气侧；传动杆，经所述通孔穿过所述箱壁，可沿其长度方向往复运动；密封组件，连接在所述箱壁的大气侧，形成包围所述传动杆并连通所述真空侧的腔室；阻挡件，固定在所述箱壁的真空侧，所述阻挡件穿套于所述传动杆并与其间隙配合，用于阻挡异物进入所述密封组件。相比于现有技术，本申请通过设置阻挡件阻挡玻璃碎片等异物进入密封组件，延长密封件的使用寿命，避免因密封组件损坏导致真空泄露。技术研发人员：胡斌,徐建柱,娄国明,沈纬徵,郑博鸿受保护的技术使用者：安徽越好电子装备有限公司技术研发日：20231115技术公布日：2024/7/11