包含改性聚乙烯醇组合物的研磨用组合物的制造方法和包含改性聚乙烯醇组合物的研磨用组合物与流程

本发明涉及包含改性聚乙烯醇组合物的研磨用组合物的制造方法和包含改性聚乙烯醇组合物的研磨用组合物。

背景技术：

1、改性聚乙烯醇是具有羟基以外的取代基(官能团)的聚乙烯醇，可以基于取代基赋予各种特性。由于改性聚乙烯醇是亲水性的合成树脂，因此分散于水中，作为纤维原料、糊剂、涂料、粘接剂、乳化剂等，多以具有流动性的溶液(水溶液)的状态使用。

2、例如，专利文献1中公开了，包含改性聚乙烯醇的硅晶片用研磨液组合物能够兼顾降低硅晶片的表面粗糙度(雾度)和减少表面缺陷(lpd)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1:日本特开2015-84379号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、但是，包含改性聚乙烯醇的溶液存在过滤性差的问题。例如，在使用含有异物的研磨用组合物对研磨对象物进行研磨时，有可能局部地对研磨对象物施加过度的压力，从而在研磨对象物上产生划痕。因此，在制造研磨用组合物时，多对溶液形态的组合物进行过滤。因此，以溶液的形态添加到研磨用组合物中的成分的过滤性很重要。在过滤性差的情况下，生产率显著下降，例如过滤耗时、成品率下降等。另外，在专利文献1的技术中，在减少表面缺陷(lpd)方面仍然不充分。

3、因此，本发明的目的在于提供一种过滤性良好且能够减少研磨对象物的表面缺陷的研磨用组合物的制造方法。

4、用于解决问题的方案

5、为了解决上述新的技术问题，本发明人等进行了深入的研究。其结果，发现一种包含改性聚乙烯醇组合物的研磨用组合物的制造方法，所述改性聚乙烯醇组合物含有改性聚乙烯醇或其衍生物、以及水，所述研磨用组合物的制造方法包括以30℃以上且小于60℃的溶液温度保持所述改性聚乙烯醇组合物的保温工序，所述保温工序以由下述式表示的参数a为2.0以上的方式进行，

6、[数学式1]

7、

8、通过该研磨用组合物的制造方法可以解决上述技术问题，从而完成了本发明。

9、发明的效果

10、根据本发明，提供一种过滤性良好且能够减少研磨对象物的表面缺陷的研磨用组合物的制造方法。

技术特征：

1.一种研磨用组合物的制造方法，其中，所述研磨用组合物包含改性聚乙烯醇组合物，所述改性聚乙烯醇组合物含有改性聚乙烯醇或其衍生物、以及水，

2.根据权利要求1所述的研磨用组合物的制造方法，其中，相对于所述改性聚乙烯醇组合物的总质量，以0.1质量％以上且40质量％以下含有所述改性聚乙烯醇或其衍生物。

3.根据权利要求1或2所述的研磨用组合物的制造方法，其中，在所述改性聚乙烯醇组合物中，所述保温工序后的所述改性聚乙烯醇或其衍生物的惯性半径(rg1)相对于所述保温工序前的所述改性聚乙烯醇或其衍生物的惯性半径(rg0)的变化率(rg1/rg0)为95％以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨用组合物的制造方法，其在所述保温工序之后还包括：

5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨用组合物的制造方法，其以0.5小时以上且200小时以下进行所述保温工序。

6.一种研磨用组合物，其中，所述研磨用组合物包含改性聚乙烯醇组合物，所述改性聚乙烯醇组合物含有改性聚乙烯醇或其衍生物、以及水，

7.一种权利要求6所述的研磨用组合物的浓缩液。

技术总结提供一种过滤性良好且能够减少研磨对象物的表面缺陷的研磨用组合物的制造方法。一种研磨用组合物的制造方法，其中，所述研磨用组合物包含改性聚乙烯醇组合物，所述改性聚乙烯醇组合物含有改性聚乙烯醇或其衍生物、以及水，所述研磨用组合物的制造方法包括以30℃以上且小于60℃的溶液温度保持所述改性聚乙烯醇组合物的保温工序，所述保温工序以参数A为2.0以上的方式进行。技术研发人员：市坪大辉,土屋公亮受保护的技术使用者：福吉米株式会社技术研发日：技术公布日：2024/5/12