一种抛光头及抛光装置

本技术是一种抛光头及抛光装置，涉及抛光设备。

背景技术：

1、抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。晶圆制造是制约超/极大规模集成电路产业发展的关键环节。化学机械抛光是晶圆制造工艺中非常重要的一个环节。抛光过程是利用承载头将晶圆压于抛光垫表面，依靠晶圆和抛光垫之间的相对运动并借助抛光液中的磨粒实现晶圆表面抛光。

2、但是市场上常见的晶圆抛光装置大部分把抛光所使用的抛光废液不方便清理，会导致水源的污染，所以现在一种抛光头及抛光装置来解决上诉所提出的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种抛光头及抛光装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型使用方便，便于操作，把晶体抛光下来的废液经过抽取泵的作用，把废液抽取到容器的内部，使抛光下来的废液得到集中清理，防止废液排放到流向河流，该设计的实用性非常好适合推广使用。

2、为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种抛光头及抛光装置，包括工作台、通风口、收纳槽、支撑板、容器、抽取泵、连接管一、连接管二、罩壳、抛光棉轮、电机、支腿、喷洒头、抛光液存储箱、放置箱以及连接孔，所述工作台的顶部连接有罩壳，且工作台顶部中间位置安装有电机，所述电机的转轴连接有抛光棉轮，且抛光棉轮放置在罩壳的内部，所述工作台底部四角均连接有支腿，所述罩壳的底部开设有收纳槽，所述收纳槽的内部底端开设有通风口，所述工作台底部右侧连接的一组支腿的右侧面底部连接有支撑板，且支撑板顶部与容器底部相连接，所述容器顶部连接有抽取泵，所述抽取泵的左侧连接有连接管一，且抽取泵的右侧连接有连接管二，所述工作台的表面的右侧放置有抛光液存储箱，且抛光液存储箱的左侧安装有放置箱，所述放置箱的内部安装有微型泵，且微型泵的进水口经过橡胶管与抛光液存储箱外部端设有出水孔相连接，所述工作台的顶部设有连接孔，且连接孔的内部也穿插有橡胶软管与放置箱内部安装的微型泵出水口相连接，所述罩壳的内部右侧表面安装有喷洒头，且喷洒头的底部设有的进水口与连接孔内部穿插的橡胶软管的另一端相连接。

3、进一步地，所述支撑板通过焊接与工作台底部右侧连接的一组支腿连接固定。

4、进一步地，所述支撑板顶部开设有限位槽，且限位槽的直径大于容器底部的直经。

5、进一步地，所述通风口设有连接管三，且连接管三通过焊接固定，所述通风口设有连接管三，且连接管三底部设有外螺纹，所述连接管二左侧设有内螺纹，且连接管二左侧设有的内螺纹与连接管三底部设有的外螺纹相啮合。

6、进一步地，所述容器顶部设有连接管四，且连接管四的外部套接有连接管二，所述抽取泵的右侧面设有连接口一，且连接管二的左端套接在连接口一的外部。

7、进一步地，所述抽取泵的左侧设有连接口二，且连接口二的外部设有密封圈，所述抽取泵左侧设有的连接口二穿插在连接管一的右端面。

8、进一步地，所述连接管一的整体采用隔热绝缘橡胶管，所述收纳槽的内壁设有倾斜面，所述收纳槽的顶部连接有防护网。

9、本实用新型的有益效果：通过收纳槽内部设有的倾斜面，使晶体表面抛光下来的废液可以流向到通风口处，通过抽取泵抽水的原理把抛光下来的废液可以传送到容器的内部，通过连接管一起到传输废液的作用，该设计可以使抛光下来的废液在抽取泵的作用下全部集中到容器的内部，防止抛光下来的废液与外界的水源以及河流相接处，把集中到容器的废液可以集中的清理。

技术特征：

1.一种抛光头及抛光装置，包括工作台(1)、通风口(101)、收纳槽(102)、支撑板(103)、容器(104)、抽取泵(105)、连接管一(106)、连接管二(107)、罩壳(2)、抛光棉轮(3)、电机(4)、支腿(5)、喷洒头(6)、抛光液存储箱(7)、放置箱(8)以及连接孔(9)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部连接有罩壳(2)，且工作台(1)顶部中间位置安装有电机(4)，所述电机(4)的转轴连接有抛光棉轮(3)，且抛光棉轮(3)放置在罩壳(2)的内部，所述工作台(1)底部四角均连接有支腿(5)，所述罩壳(2)的底部开设有收纳槽(102)，所述收纳槽(102)的内部底端开设有通风口(101)，所述工作台(1)底部右侧连接的一组支腿(5)的右侧面底部连接有支撑板(103)，且支撑板(103)顶部与容器(104)底部相连接，所述容器(104)顶部连接有抽取泵(105)，所述抽取泵(105)的左侧连接有连接管一(106)，且抽取泵(105)的右侧连接有连接管二(107)；

2.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述支撑板(103)通过焊接与工作台(1)底部右侧连接的一组支腿(5)连接固定。

3.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述支撑板(103)顶部开设有限位槽，且限位槽的直径大于容器(104)底部的直经。

4.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述通风口(101)设有连接管三，且连接管三通过焊接固定，所述通风口(101)设有连接管三，且连接管三底部设有外螺纹，所述连接管二(107)左侧设有内螺纹，且连接管二(107)左侧设有的内螺纹与连接管三底部设有的外螺纹相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述容器(104)顶部设有连接管四，且连接管四的外部套接有连接管二(107)，所述抽取泵(105)的右侧面设有连接口一，且连接管二(107)的左端套接在连接口一的外部。

6.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述抽取泵(105)的左侧设有连接口二，且连接口二的外部设有密封圈，所述抽取泵(105)左侧设有的连接口二穿插在连接管一(106)的右端面。

7.根据权利要求1所述的一种抛光头及抛光装置，其特征在于：所述连接管一(106)的整体采用隔热绝缘橡胶管，所述收纳槽(102)的内壁设有倾斜面，所述收纳槽(102)的顶部连接有防护网。

技术总结本技术提供一种抛光头及抛光装置，包括工作台、通风口、收纳槽、电机以及支腿，工作台的顶部连接有罩壳，且工作台顶部中间位置安装有电机，电机的转轴连接有抛光棉轮，且抛光棉轮放置在罩壳的内部，工作台底部四角均连接有支腿，罩壳的底部开设有收纳槽，收纳槽的内部底端开设有通风口，工作台底部右侧连接的一组支腿的右侧面底部连接有支撑板，且支撑板顶部与容器底部相连接，容器顶部连接有抽取泵，抽取泵的左侧连接有连接管一，且抽取泵的右侧连接有连接管二，该设计方便使用、操作便利、使废液可以集中到容器内部，因此容器内部的废液可以做到集中清理，防止废液污染空气。技术研发人员：张金,栗建中受保护的技术使用者：唐山学院技术研发日：20231121技术公布日：2024/7/18