燃烧喷嘴及燃烧式废气处理装置的制作方法

本发明涉及燃烧喷嘴及燃烧式废气处理装置。

背景技术：

1、已知有用于燃烧式废气处理装置的燃烧喷嘴，该燃烧式废气处理装置将从半导体制造装置等排出的、由氮气稀释的含有有害成分的处理对象气体在向大气开放等之前进行除害处理(例如参照专利文献1至2)。

2、燃烧喷嘴具有第一筒体、第二筒体、连接第一筒体和第二筒体的环状壁、贯通环状壁并形成燃料气体喷射口的贯通孔、比第一筒体更向内侧形成的处理对象气体喷射口。贯通孔在包含第一筒体的中心轴线的纵剖面中设置成由贯通孔通过径向方向的外侧端缘和内侧端缘形成的流路在朝向轴向方向的前端侧并且向径向方向的内侧倾斜的方向上延伸。

3、燃烧式废气处理装置具有燃烧喷嘴和燃烧筒，该燃烧筒利用从燃烧喷嘴的径向方向中心部喷射的处理对象气体和燃料气体在内侧形成燃烧反应部。通过燃烧反应部处理处理对象气体。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本专利特许第6734821号公报

7、专利文献2：日本专利特许第4535558号公报

技术实现思路

1、本发明要解决的问题

2、在处理对象气体含有六氟化钨(wf6)这样的通过氧化或热分解反应产生粉体的成分的情况下等，根据处理对象气体的成分和浓度等，有时含金属粉体堆积在喷嘴前端部，影响燃烧喷嘴的性能。但是，由于含有金属粉体较硬，所以难以通过机械的粉体除去装置等自动地进行清扫，通常需要通过分解清扫等维护作业除去。如果能够抑制含金属粉体向喷嘴前端部的堆积，则能够得到维护作业的频度抑制等所希望的效果。

3、因此，本发明的目的在于提供一种容易抑制含金属粉体向喷嘴前端部堆积的燃烧喷嘴及燃烧式废气处理装置。

4、解决问题的手段

5、本发明的一个方式如下。

6、[1]

7、燃烧喷嘴具有第一筒体、第二筒体、连接所述第一筒体和所述第二筒体的环状壁、贯通所述环状壁并形成燃料气体喷射口的贯通孔、比所述第一筒体更向内侧形成的处理对象气体喷射口，

8、上述贯通孔在包含上述第一筒体的中心轴线的纵剖面中，由上述贯通孔通过径向方向的外侧端缘和内侧端缘形成的流路在朝向轴向方向的前端侧并且向上述径向方向的内侧倾斜的方向上延伸，上述第一筒体的前端部的外周面存在于该流路的延长线上，并且上述轴向方向的、上述环状壁的厚度设置为朝向上述径向方向的内侧减小。

9、[2]

10、如[1]所述的燃烧喷嘴，在上述纵剖面中，上述贯通孔的上述外侧端缘和上述内侧端缘形成相互平行的直线状。

11、[3]

12、如[1]或[2]所述的燃烧喷嘴，在上述轴向方向上观察时，上述贯通孔形成在上述径向方向上直线状地延伸的狭缝状。

13、[4]

14、一种燃烧式废气处理装置，具有[1]至[3]中任一项所述的燃烧喷嘴和燃烧筒，所述燃烧筒通过从所述燃烧喷嘴喷射的处理对象气体和燃料气体在内侧形成燃烧反应部，

15、所述燃烧喷嘴在相比于所述处理对象气体喷射口在所述径向方向的外侧且相比于所述燃料气体喷射口靠所述径向方向的内侧具有氮气喷射口，

16、所述燃烧喷嘴在比所述氮气喷射口在径向方向的外侧且相比于所述燃料气体喷射口靠所述径向方向的内侧具有进一步设置的燃料气体喷射口，所述进一步设置的燃料气体喷射口相比于所述燃料气体喷射口喷射更高浓度的燃料气体，

17、所述燃烧筒具有将助燃性气体朝向所述燃烧反应部喷射的助燃性气体喷射口。

18、[5]

19、一种燃烧式废气处理装置，具有如权利要求[1]至[3]中任一项所述的燃烧喷嘴和燃烧筒，所述燃烧筒通过从所述燃烧喷嘴喷射的处理对象气体和燃料气体在内侧形成燃烧反应部，

20、所述燃烧喷嘴在相比于所述处理对象气体喷射口在所述径向方向的外侧且相比于所述燃料气体喷射口靠所述径向方向的内侧具有氮气喷射口，

21、所述燃烧筒具有预混合气体喷射口，通过所述预混合气体喷射口将在燃料气体中预先混合了助燃性气体的预混合气体向所述燃烧反应部喷射。

22、发明效果

23、根据本发明，能够提供容易抑制含金属粉体向喷嘴前端部堆积的燃烧喷嘴及燃烧式废气处理装置。

技术特征：

1.一种燃烧喷嘴，具有第一筒体、第二筒体、连接所述第一筒体和所述第二筒体的环状壁、贯通所述环状壁并形成燃料气体喷射口的贯通孔、相比于所述第一筒体更向内侧形成的处理对象气体喷射口，

2.如权利要求1所述的燃烧喷嘴，其中，在所述纵剖面中，所述贯通孔的所述外侧端缘和所述内侧端缘形成为相互平行的直线状。

3.如权利要求1所述的燃烧喷嘴，其中，在所述轴向方向上观察时，所述贯通孔形成为在所述径向方向上直线状地延伸的狭缝状。

4.一种燃烧式废气处理装置，具有权利要求1至3中任一项所述的燃烧喷嘴和燃烧筒，所述燃烧筒通过从所述燃烧喷嘴喷射的处理对象气体和燃料气体在内侧形成燃烧反应部，

5.一种燃烧式废气处理装置，具有权利要求1至3中任一项所述的燃烧喷嘴和燃烧筒，所述燃烧筒通过从所述燃烧喷嘴喷射的处理对象气体和燃料气体在内侧形成燃烧反应部，

技术总结本发明提供一种容易抑制含金属粉体向喷嘴前端部堆积的燃烧喷嘴及燃烧式废气处理装置。燃烧喷嘴(1a)具有第一筒体、第二筒体、连接第一筒体和第二筒体的环状壁(4)、贯通环状壁(4)并形成燃料气体喷射口的贯通孔(7)、相比于第一筒体更向内侧形成的处理对象气体喷射口，贯通孔(7)在包含第一筒体的中心轴线(O)的纵剖面中，由贯通孔(7)通过径向方向的外侧端缘(7a)和内侧端缘(7b)形成的流路在朝向轴向方向的前端侧并且向径向方向的内侧倾斜的方向上延伸，第一筒体的前端部的外周面存在于该流路的延长线上，并且轴向方向的、环状壁(4)的厚度(T)设置成朝向径向方向的内侧减小。技术研发人员：渡边信昭,关田诚受保护的技术使用者：大阳日酸株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/11