一种摇摆机构及电镀辅助装置的制作方法

本申请涉及电镀设备，具体涉及一种摇摆机构及电镀辅助装置。

背景技术：

1、电镀是指利用电解原理在基材上镀上金属，以改变待镀件表面性质或尺寸的工艺。

2、电镀被广泛应用与晶圆制造或封装工艺中，用于电子互连。目前在电镀工艺过程中，为了达到使电镀层的厚度均匀分布，并消除电镀溶液中的气泡等要求，大部分厂家会对电镀溶液进行搅拌；目前有的厂家会通过电机连接抖动杆，抖动杆与放置晶圆的挂具相连接，然后开启电机使挂具在电镀溶液内抖动，以实现对电镀溶液的搅拌。但是，在使用过程中发现上述设备在搅拌过程中无法实现抖动杆的抖动幅度的自动调节，即在搅动过程中一直保持同一搅拌强度，安装于挂具上的待镀件表面的电镀溶液流动只是缓慢的层流，搅拌效果较差，导致电镀效率较低。

3、因此，亟需一种可提高搅拌效果的摇摆机构及电镀辅助装置。

技术实现思路

1、本申请提供了一种摇摆机构，可以解决对电镀溶液搅拌效果差的问题。

2、为解决上述一个或多个技术问题，本申请采用的技术方案是：

3、第一方面，本申请提供了一种摇摆机构，包括：

4、旋转驱动组件，所述旋转驱动组件的输出轴连接有第一传递件，所述第一传递件连接有与其同步运动的第二传递件；

5、摇摆组件，所述摇摆组件包括滑动板，所述滑动板设有用于所述第二传递件插设的导向槽，所述滑动板连接有摆动单元，所述旋转驱动组件用于驱动所述第二传递件沿所述导向槽的槽长方向往复运动并始终与所述导向槽的内侧壁抵接，以带动所述摆动单元做线性运动。

6、进一步的，所述摇摆组件包括限位件，所述限位件用于引导所述摆动单元做线性运动。

7、进一步的，所述限位件包括具有限制孔的限位板，所述滑动板通过导杆与所述摆动单元相连，所述导杆适配穿设于所述限制孔，所述限制孔的轴向与所述摆动单元的线性方向一致；

8、和/或，

9、所述限位件包括导向机构，所述滑动板与所述导向机构滑动连接，所述滑动板的滑动方向与所述摆动单元的线性方向一致。

10、进一步的，所述第二传递件包括轴承，所述轴承的外圈侧与所述导向槽的内侧壁抵接。

11、进一步的，所述轴承的外圈直径与所述导向槽的槽宽相等。

12、第二方面，本申请提供了一种电镀辅助装置，包括如上所述的摇摆机构及朝向一侧开口的槽体，用于盛放电镀溶液；所述槽体内设有电镀挂具，用于放置待镀件，所述摆动单元设于所述槽体内。

13、进一步的，所述电镀挂具的一侧设有移料驱动件，所述移料驱动件设于所述槽体的一侧，用于带动所述电镀挂具进入或移出所述槽体。

14、进一步的，所述电镀挂具的两侧皆用于放置所述待镀件。

15、进一步的，所述电镀挂具放置有所述待镀件的一侧至少设有一组所述摆动单元。

16、进一步的，所述旋转驱动组件包括伺服电机。

17、根据本申请提供的具体实施例，本申请公开了以下技术效果：

18、通过旋转驱动组件带动第一传递件及第二传递件旋转，第二传递件在旋转的同时沿导向槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧壁抵接，从而带动滑动板做线性运动，接着滑动板带动摆动单元做线性运动；

19、通过将摆动单元设置在槽体内，滑动板带动摆动单元在槽体内运动，赶走槽体中溶液内的气泡，同时滑动板的速度以类正弦函数的趋势变化，使得摆动单元的速度亦以类正弦函数的趋势发生变化，从而使得安装于电镀挂具上的待镀件表面的电镀溶液形成紊流，进而提高搅拌效果，以提升电镀效率。

技术特征：

1.一种摇摆机构，其特征在于，所述机构包括：

2.根据权利要求1所述的摇摆机构，其特征在于，所述摇摆组件包括限位件(14)，所述限位件(14)用于引导所述摆动单元(62)做线性运动。

3.根据权利要求2所述的摇摆机构，其特征在于，所述限位件(14)包括具有限制孔(142)的限位板(141)，所述滑动板(611)通过导杆(621)与所述摆动单元(62)相连，所述导杆(621)适配穿设于所述限制孔(142)，所述限制孔(142)的轴向与所述摆动单元(62)的线性方向一致；

4.根据权利要求1所述的摇摆机构，其特征在于，所述第二传递件(54)包括轴承，所述轴承的外圈侧与所述导向槽(612)的内侧壁抵接。

5.根据权利要求4所述的摇摆机构，其特征在于，所述轴承的外圈直径与所述导向槽(612)的槽宽相等。

6.一种电镀辅助装置，包括权利要求1至5任一所述的摇摆机构，其特征在于，所述电镀辅助装置包括朝向一侧开口(11)的槽体(1)，用于盛放电镀溶液；所述槽体(1)内设有电镀挂具(2)，用于放置待镀件，所述摆动单元(62)设于所述槽体(1)内。

7.根据权利要求6所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)的一侧设有移料驱动件，所述移料驱动件设于所述槽体(1)的一侧，用于带动所述电镀挂具(2)进入或移出所述槽体(1)。

8.根据权利要求6所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)的两侧皆用于放置所述待镀件。

9.根据权利要求8所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)放置有所述待镀件的一侧至少设有一组所述摆动单元(62)。

10.根据权利要求6至9任一所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述旋转驱动组件(5)包括伺服电机(51)。

技术总结本申请公开了一种摇摆机构及电镀辅助装置，涉及电镀设备技术领域。其包括旋转驱动组件及摇摆组件，旋转驱动组件的输出轴连接有第一传递件，第一传递件连接有与其同步运动的第二传递件；摇摆组件包括滑动板，滑动板设有用于第二传递件插设的导向槽，滑动板连接有摆动单元，旋转驱动组件用于驱动第二传递件沿导向槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧壁抵接，以带动摆动单元做线性运动。通过将摆动单元设置在槽体内，滑动板带动摆动单元在槽体内以类正弦函数的变化趋势运动，在赶走槽体内溶液中气泡的同时使得安装于电镀挂具上的待镀件表面的电镀溶液形成紊流，从而提高搅拌效果，以提升电镀效率。技术研发人员：林海飞,孙永胜,李松松,祁志明,李程受保护的技术使用者：吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司技术研发日：20230922技术公布日：2024/4/22