具有中间基板连接的悬臂梁结构及其装置的制作方法

本发明涉及一种悬臂梁结构与一种装置，尤其涉及具有对于制造过程所引起的制造误差有着较小变化的一些特性的一种悬臂梁结构，并涉及一种相关装置。

背景技术：

1、悬臂梁结构可被广泛地使用在各式电子元件中，例如声学元件、空气脉冲产生元件、感测器、振荡器(oscillator)或其他适合的元件。在一些情况下，由于悬臂梁结构可为微机电系统(micro electro mechanical system,mems)结构以具有小尺寸，因此，包含悬臂梁结构的电子元件的尺寸可显著地缩小，进而广泛地使用在各式电子装置中。

2、然而，悬臂梁结构中的一些特性(如，共振频率、刚性与初始挠度)会因为制造过程所引起的制造误差而改变。若此些特性的改变过大，由于此些特性与设计值相差过大，因此，使得悬臂梁结构的性能会降低。据此，需要对悬臂梁结构中的结构进行改良，以减少因制造误差而引起的特性变化。

技术实现思路

1、因此，本发明的主要目的是提供一种悬臂梁结构，其中悬臂梁结构的锚定部分具有至少一突起物，以使悬臂梁结构中的一些特性(如，共振频率、刚性与初始挠度)对于制造误差有着较小变化。本发明也提供一种相关的装置。

2、本发明的一实施例提供了一种悬臂梁结构，其包括锚定部分与膜结构。膜结构覆盖空腔并在空腔内震动，膜结构的长度小于膜结构的宽度。锚定部分包括至少一突起物，突起物朝着空腔突出，膜结构锚定在具有突起物的锚定部分上。

3、本发明的另一实施例提供了一种装置，其包括第一悬臂梁结构与第二悬臂梁结构。第一悬臂梁结构包括第一膜结构，第一膜结构锚定在锚定部分上。第二悬臂梁结构包括第二膜结构，第二膜结构锚定在锚定部分上。空腔形成在装置内，第一膜结构与第二膜结构覆盖空腔并在空腔内震动。第一膜结构的长度小于第一膜结构的宽度，第二膜结构的长度小于第二膜结构的宽度。锚定部分包括多个突起物，突起物朝着空腔突出，第一膜结构与第二膜结构锚定在具有突起物的锚定部分上。第一膜结构与第二膜结构彼此相邻且彼此相对。

4、在阅读了下文示出有各种附图的实施例的详细描述之后，对于所属领域的通常知识者来说，应可清楚明了本发明的目的。

技术特征：

1.一种悬臂梁结构，包括：

2.如权利要求1所述的悬臂梁结构，还包括一基板，其中所述空腔形成在所述基板内。

3.如权利要求2所述的悬臂梁结构，其中所述基板被蚀刻以形成所述空腔以及具有所述至少一突起物的所述锚定部分。

4.如权利要求1所述的悬臂梁结构，

5.如权利要求1所述的悬臂梁结构，其中所述锚定部分的所述至少一突起物为多个突起物。

6.如权利要求5所述的悬臂梁结构，

7.如权利要求1所述的悬臂梁结构，其中所述膜结构的所述宽度大于所述膜结构的所述长度的2倍。

8.如权利要求1所述的悬臂梁结构，其中所述至少一突起物的每一个包括一第一部与一第二部，所述第一部的一第一厚度大于所述第二部的一第二厚度。

9.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述膜结构直接连接所述第一部，所述膜结构不直接连接所述第二部。

10.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述膜结构与所述第二部通过一内狭缝彼此分隔，所述内狭缝在所述第二部与所述膜结构之间。

11.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述第二部在所述第一部与所述膜结构之间。

12.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述锚定部分包括一块状部，所述至少一突起物从所述块状部朝着所述空腔突出，所述第一部在所述第二部与所述块状部之间。

13.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述第一部在俯视上伸入所述第二部。

14.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述第二部的所述第二厚度相同于所述膜结构的厚度。

15.如权利要求8所述的悬臂梁结构，其中所述第二部与所述膜结构形成在一薄膜层中，一内狭缝形成在所述薄膜层上并在所述第二部与所述膜结构之间。

16.如权利要求1所述的悬臂梁结构，其中所述膜结构包括多个子部，所述至少一突起物的其中一个在所述多个子部中的相邻两个之间。

17.如权利要求1所述的悬臂梁结构，其中所述膜结构包括多个子部，一狭缝在所述多个子部中的相邻两个之间，所述狭缝对应于所述至少一突起物的其中一个。

18.一种装置，包括：

19.如权利要求18所述的装置，

20.如权利要求19所述的装置，

21.如权利要求18所述的装置，其中所述装置为一空气脉冲产生装置。

技术总结本发明提出一种悬臂梁结构及其装置。悬臂梁结构包括锚定部分与膜结构。膜结构覆盖空腔并在空腔内震动，膜结构的长度小于膜结构的宽度。锚定部分包括至少一突起物，突起物朝着空腔突出，膜结构锚定在具有突起物的锚定部分上。技术研发人员：任颉,梁振宇,陈文健受保护的技术使用者：知微电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/23