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一种用于混动中重卡的悬臂梁安装支架的制作方法
本技术涉及一种用于混动中重卡的悬臂梁安装支架，属于中重卡生产制造。背景技术：1、目前随着中重卡车型和新能源元素要求增多，混动车逐渐进入中重卡市场。混动车的普及使中重卡底盘电器元件的需求急剧增加，而现有......
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一种悬臂梁式自动摇表器的制作方法
本技术涉及摇表器，特别是涉及一种悬臂梁式自动摇表器。背景技术：1、摇表器是内置有动力机构以驱动表盘旋转、实现机械表自动上弦的装置。市面上常见的摇表器多为入盒式结构，即动力机构和旋转机构均设置在盒体的内......
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双晶悬臂梁式压电发电装置
本发明属于发电装置，具体涉及双晶悬臂梁式压电发电装置。背景技术：1、海浪能作为一种丰富可再生能源，其产生不受季节、时间和气候条件影响，具有比较稳定的能量输出和很高的利用潜力。2、近年来，国内外学者对于......
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具有中间基板连接的悬臂梁结构及其装置的制作方法
本发明涉及一种悬臂梁结构与一种装置，尤其涉及具有对于制造过程所引起的制造误差有着较小变化的一些特性的一种悬臂梁结构，并涉及一种相关装置。背景技术：1、悬臂梁结构可被广泛地使用在各式电子元件中，例如声学......
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用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法
本发明属于微型传感器的，特别是涉及用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法。背景技术：1、微悬臂梁作为微机电系统中常用的微传感器，其所具有的成本低、质量轻、功耗低、体积小、灵敏度高、响应速度快以及可批量生......
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一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法与流程
本发明涉及微电子机械系统微加工，特别涉及一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法。背景技术：1、微电子机械系统（micro-electromechanical systems，mems）传感器具有体积......
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纳米悬臂梁及其制备工艺
1.本发明涉及芯片，具体涉及一种纳米悬臂梁及其制备工艺。背景技术：2.光机晶体（optomechanical crystals，om）又称光声晶体，是光子晶体和声子晶体的结合。光声晶体微腔可以同时限制......
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微悬臂梁的制备方法、装置、电子设备及存储介质与流程
1.本发明涉及微悬臂梁加工技术领域，尤其涉及一种微悬臂梁的制备方法、装置、电子设备及存储介质。背景技术：2.微机电系统(microelectromechanical systems，mems)是指由微......
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一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法
1.本发明涉及纳米悬臂梁制作技术领域，特别涉及一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法。背景技术：2.纳米悬臂梁是一种一端为固定支座，另一端为自由端的新型纳米结构，当纳米悬臂梁表层吸附分子或原子，以及在光照......
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一种GaN同质悬臂梁结构及其制备方法
一种gan同质悬臂梁结构及其制备方法技术领域1.本发明涉及微机电系统(mems)技术领域，具体涉及一种gan同质悬臂梁及其制备方法。背景技术：2.gan具有直接带隙、熔点高、硬度高等优点，使其在光电子......
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一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法与流程
1.本发明涉及传感芯片制备领域，尤其涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法。背景技术：2.为了确保具有自加热功能的谐振式微悬臂梁上的集成压阻元件可以正常工作，通常是通过在微悬梁臂上设置阻热孔结构，以使......
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一种微悬臂梁的制备方法与流程
本发明涉及半导体器件技术领域，特别涉及一种微悬臂梁的制备方法。背景技术：mems技术已经交叉融合了多种学科，涉及到微电子学、机械学、材料学、力学、声学、光学、电子信息等学科。作为一项未来微技术集中发展......
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一种硅微悬臂梁谐振器的制备方法与流程
[0001]本发明涉及一种硅微悬臂梁谐振器的制备方法，属于器件制备技术领域。背景技术：[0002]悬臂结构在微机电系统中具有广泛的应用，特别是在谐振器中。但是当器件的尺寸缩小到微米时，传统的湿法腐蚀在......
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一种多晶硅悬臂梁阵列结构及其制备方法和应用与流程
[0001]本发明属于微机电系统领域，尤其涉及一种多晶硅悬臂梁阵列结构及其制备方法和应用。背景技术：[0002]微机械系统致力于将能量传递、运动变换和控制调节集成为一体，微构件由此常被设计成具有多种功......
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一种用于悬臂梁型SOI-MEMS器件的选择性电化学刻蚀方法与流程
一种用于悬臂梁型soi-mems器件的选择性电化学刻蚀方法技术领域[0001]本发明属于mems微电子机械制造技术领域，具体涉及一种用于悬臂梁型soi-mems (silicon insulator)......
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一种T型悬臂梁微结构及其加工方法和应用与流程
本发明属于有机半导体技术领域，更具体地，涉及一种t型悬臂梁微结构及其加工方法和应用。背景技术：硅是广泛应用于微电子/纳米电子机械系统中的半导体材料，以硅为基底加工出超双疏表面(同时具备超疏水和超疏油特......
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基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针与流程
本发明属于微纳米制造领域，尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。背景技术：微型悬臂梁是一种极其精密的微机械结构，广泛的用于微传感器以及原子力显微镜领域当中。其工作原理是将极小......
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一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法与流程
本发明属于微电子机械系统（mems）技术领域，涉及一种双悬臂梁波导耦合光电式mems触觉传感器及其制作方法。背景技术：机器人感知能力的技术研究中，触觉类传感器极其重要，已成为目前的研究热点之一。作为机......
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悬臂梁及其制造方法与流程
本发明属于灵敏力探测研究领域，具体涉及低弹性系数悬臂梁的结构以及制造方法。背景技术：微纳米尺寸悬臂梁的厚度一般小于1微米，长度是几十到几百微米，宽是几十微米。该悬臂梁具有极低的弹性系数，对力的响应极其......
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一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法与流程
本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法。背景技术：集成谐振式微悬臂梁是一种近年来被广泛研究的分析工具。其原理是利用谐振频率变化与质量变化之间的关系，通过跟踪记录微悬臂......
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基于逆压电效应的电容-悬臂梁微型式电场测量传感器件的制作方法
本发明涉及电场传感领域，特别是一种针对空间电场测量的高灵敏度、低成本、小体积的基于压电效应的电容-悬臂梁式微型电场传感器件。背景技术：泛在能源物联网是当前能源与信息行业的重要发展方向。在能源互联网的基......
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电容-悬臂梁式电场测量传感器件的制备工艺流程的制作方法
本发明涉及半导体微加工工艺传感器加工领域，特别是一种电容-悬臂梁式微型电场测量传感器件的制备工艺流程。背景技术：构建泛在能源物联网是目前能源领域发展的重要目标。为满足泛在能源物联网对于信息测量的需求，......
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一种悬臂梁结构的SiC温度传感器及其制造方法与流程
本发明属于宽禁带半导体器件制备技术领域，涉及一种温度传感器制备方法，具体涉及一种悬臂梁结构的sic温度传感器及其制造方法。背景技术：半导体集成传感器具有功能专一、测量误差小、响应速度快、体积小、微功耗......
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一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法与流程
本发明涉及传感技术领域，尤其涉及一种简支悬臂梁结构mems压电矢量水听器及其制备方法。背景技术：由于核潜艇的出现以及降噪技术的提高，对于水下目标的探测转为测试螺旋桨的低频噪声。矢量水听器能够测量声场中......
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一种嵌入多晶硅电阻的双面自对准刻蚀硅悬臂梁阵列热电变换器的制作方法
悬臂梁微机械结构是微电子机械系统（mems）中广泛使用的结构，本发明属于悬臂梁微机械系统与微电子新工艺有机结合的研究领域。利用全自对准的集成电路工艺制作硅悬臂梁的同时，在悬臂梁表面制作嵌入式多晶硅应力......
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一种低铱含量铱钽钛阳极的制备方法与流程
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