一种真空排气台的制作方法

本技术涉及真空排气技术的领域，尤其是涉及一种真空排气台。

背景技术：

1、目前的真空排气台，包括真空室，真空室上端具有载物台，下端中部设置真空阀,载物台上设有尾管座，尾管座连接工件，由于尾管座沿直线排列，同一批次的工件在进行抽真空作业时，有的工件的抽口距离真空阀近，有的工件的抽口距离真空阀远，当距离抽口近的工件的真空度达到真空要求时，即远端处工件内的真空度达不到真空要求，导致同一批次的工件真空度相差较大；并且真空排气台内的电加热棒设置于内壁上，导致空间内温度不均匀，容易使工件受热不均匀，产生批量废品。

技术实现思路

1、为了改善因工件距离抽口远近不同而导致真空度不同，以及因工件受热不均匀而导致废品的问题，本申请提供一种真空排气台。

2、本申请提供的一种真空排气台采用如下的技术方案：

3、一种真空排气台，包括壳体，所述壳体底部连接有支撑柱，所述壳体上开设有操作口，所述操作口连接有密封盖，所述壳体内设置有真空室，所述真空室呈圆台状设置，所述真空室上安装有用于连接工件的尾管座，所述尾管座以真空室的周向均匀排布有若干，所述壳体底部设有作用于真空室的抽真空组件，所述壳体内设有加热室，所述壳体上设有用于升降加热室的升降组件，所述加热室呈开口设置，所述加热室内连接有安装板，所述安装板上连接有供工件插入的导热套管，所述导热套管沿垂直在于安装板的方向设置，所述导热套管对应尾管座设置有若干，所述导热套管上连接有密封垫圈，所述密封垫圈位于导热套管的管口处，所述安装板上连接有电加热管，所述电加热管呈螺旋状套设于导热套管外部，所述壳体的内壁上设有水冷组件。

4、优选的，所述抽真空组件包括前级泵、插板阀和分子泵，所述壳体底部连接有y型真空管，所述y型真空管位于真空室底部的中心位置，所述y型真空管与真空室相连通，所述前级泵与y型真空管的一端相互连接，所述分子泵与y型真空管的另一端相互连接，所述插板阀连接于y型真空管和分子泵之间。

5、优选的，所述y型真空管上安装有第一真空计，所述真空室内连接有第二真空计，所述第二真空计延伸至壳体外部。

6、优选的，所述升降组件包括电机、螺纹杆、螺纹套筒和伸缩杆，所述电机连接于壳体上，所述电机的输出轴通过联轴器与螺纹杆同轴连接，所述壳体上连接有轴承，所述螺纹杆连接于轴承上且穿设于壳体内，所述螺纹套筒套设于螺纹杆位于壳体内的杆身上，所述螺纹套筒与加热室相连接，所述伸缩杆连接于壳体和加热室件，所述伸缩杆沿平行于螺纹杆的方向设置，所述伸缩杆以螺纹杆为对称轴左右分别设有一个。

7、优选的，所述水冷组件包括水冷盘管和水冷设备，所述水冷盘管连接于壳体的内壁上，所述水冷设备设置于壳体外部，所述水冷盘管与水冷设备相连通。

8、优选的，所述密封垫圈采用耐高温材质。

9、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：

10、本实用新型提供的一种真空排气台，通过将真空室设置为圆台状以及在真空室上以其周向均匀排布有若干尾管座，使得尾管座上的工件距离抽口的距离相等，以此保证工件的真空度相同，通过在加热室的安装板上设置导热套管，并在导热套管的外部设置电加热管，通过缩小加热空间，保证空间内的温度均匀，加热时利用升降组件下降加热室，使导热套管套设于工件外部对其进行加热，使工件受热均匀，并通过在导热套管上设置密封垫圈，使密封垫圈抵靠于真空室上，保证工件加热时导热套管内的密封性，从而达到了改善因工件距离抽口远近不同而导致真空度不同，以及因工件受热不均匀而导致废品的问题的效果。

技术特征：

1.一种真空排气台，其特征在于：包括壳体(1)，所述壳体(1)底部连接有支撑柱(11)，所述壳体(1)上开设有操作口，所述操作口连接有密封盖(12)，所述壳体(1)内设置有真空室(2)，所述真空室(2)呈圆台状设置，所述真空室(2)上安装有用于连接工件的尾管座(21)，所述尾管座(21)以真空室(2)的周向均匀排布有若干，所述壳体(1)底部设有作用于真空室(2)的抽真空组件(3)，所述壳体(1)内设有加热室(4)，所述壳体(1)上设有用于升降加热室(4)的升降组件(5)，所述加热室(4)呈开口设置，所述加热室(4)内连接有安装板(6)，所述安装板(6)上连接有供工件插入的导热套管(61)，所述导热套管(61)沿垂直在于安装板(6)的方向设置，所述导热套管(61)对应尾管座(21)设置有若干，所述导热套管(61)上连接有密封垫圈(611)，所述密封垫圈(611)位于导热套管(61)的管口处，所述安装板(6)上连接有电加热管，所述电加热管呈螺旋状套设于导热套管(61)外部，所述壳体(1)的内壁上设有水冷组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于：所述抽真空组件(3)包括前级泵(31)、插板阀(32)和分子泵(33)，所述壳体(1)底部连接有y型真空管(13)，所述y型真空管(13)位于真空室(2)底部的中心位置，所述y型真空管(13)与真空室(2)相连通，所述前级泵(31)与y型真空管(13)的一端相互连接，所述分子泵(33)与y型真空管(13)的另一端相互连接，所述插板阀(32)连接于y型真空管(13)和分子泵(33)之间。

3.根据权利要求2所述的一种真空排气台，其特征在于：所述y型真空管(13)上安装有第一真空计(7)，所述真空室(2)内连接有第二真空计(8)，所述第二真空计(8)延伸至壳体(1)外部。

4.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于：所述升降组件(5)包括电机(51)、螺纹杆(52)、螺纹套筒(53)和伸缩杆(54)，所述电机(51)连接于壳体(1)上，所述电机(51)的输出轴通过联轴器与螺纹杆(52)同轴连接，所述壳体(1)上连接有轴承，所述螺纹杆(52)连接于轴承上且穿设于壳体(1)内，所述螺纹套筒(53)套设于螺纹杆(52)位于壳体(1)内的杆身上，所述螺纹套筒(53)与加热室(4)相连接，所述伸缩杆(54)连接于壳体(1)和加热室(4)间，所述伸缩杆(54)沿平行于螺纹杆(52)的方向设置，所述伸缩杆(54)以螺纹杆(52)为对称轴左右分别设有一个。

5.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于：所述水冷组件(9)包括水冷盘管(91)和水冷设备，所述水冷盘管(91)连接于壳体(1)的内壁上，所述水冷设备设置于壳体(1)外部，所述水冷盘管(91)与水冷设备相连通。

6.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于：所述密封垫圈(611)采用耐高温材质。

技术总结本申请涉及真空排气技术的领域，尤其涉及一种真空排气台，其包括壳体，壳体底部连接有支撑柱，壳体上开设有操作口，操作口连接有密封盖，壳体内设置有真空室，真空室呈圆台状设置，真空室上安装有尾管座，尾管座以真空室的周向均匀排布有若干，壳体底部设有抽真空组件，壳体内设有加热室，壳体上设有升降组件，加热室内连接有安装板，安装板上连接有供工件插入的导热套管，导热套管对应尾管座设置有若干，导热套管上连接有密封垫圈，安装板上连接有电加热管，电加热管呈螺旋状套设于导热套管外部，壳体的内壁上设有水冷组件。本申请具有改善因工件距离抽口远近不同而导致真空度不同，以及因工件受热不均匀而导致废品的问题的作用。技术研发人员：华明,赵冬梅受保护的技术使用者：贝尔实验室装备江苏有限公司技术研发日：20231215技术公布日：2024/7/23