探针座及探针台的制作方法

本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种探针座及探针台。

背景技术：

1、晶圆探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，并检测晶圆表面缺陷。晶圆探针台包括平台、探针座、探针臂及探针。其中，探针座固定于平台上，探针臂的一端连接于探针座，另一端连接探针，通过探针臂的移动可实现对探针进行移动，以实现探针与晶圆的引脚的接触，继而实现对晶圆的芯片的测试。

2、然而，探针座固定于平台的稳定性较差，若探针座抖动，会引起探针抖动而容易损坏晶圆，并且影响探针台测试数据的精准性。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种探针座及探针台，以提升所述探针座连接于探针台的平台的稳定性。

2、第一方面，本申请提供一种探针座，所述探针座应用于探针台中，所述探针座包括：

3、第一底座，所述第一底座用于固定所述探针台的探针臂；

4、第二底座，所述第二底座设置于所述第一底座的一侧，所述第二底座用于承载于所述探针台的平台；及

5、磁性吸座，所述磁性吸座夹设于所述第一底座及第二底座之间，所述磁性吸座包括承载板及磁性开关，所述承载板具有第一通孔，所述第一通孔沿第一方向贯穿于所述承载板，所述第一方向为所述第一底座与所述第二底座的排布方向，所述磁性开关收容于所述第一通孔内，且所述磁性开关能够沿第二方向进行转动，所述第二方向垂直于所述第一方向，当所述磁性开关转动至第一转动位置时，所述探针座吸附于所述平台，当所述磁性开关转动至第二转动位置时，所述探针座分离于所述平台。

6、其中，所述磁性开关包括旋转盘及永磁组件，所述旋转盘的外周缘抵接于所述承载板，所述旋转盘具有第二通孔，所述第二通孔沿所述第一方向贯穿于所述旋转盘，所述永磁组件收容于所述第二通孔内，当所述磁性开关转动至所述第一转动位置时，所述永磁组件产生磁场，当所述磁性开关转动至所述第二转动位置时，所述永磁组件进行退磁。

7、其中，所述旋转盘具有至少四个第二通孔，所述永磁组件包括第一永磁体、第二永磁体、第三永磁体及第四永磁体，所述第一永磁体、第二永磁体、第三永磁体及第四永磁体分别收容于不同的所述第二通孔内；

8、所述第二底座包括依次相连的第一子座、隔块及第二子座，所述隔块为非磁性隔块，当所述磁性开关转动至所述第一转动位置时，所述第一永磁体及所述第二永磁体正对于所述第一子座，所述第三永磁体及所述第四永磁体正对于所述第二子座，当所述磁性开关转动至所述第二转动位置时，所述第一永磁体及所述第四永磁体正对于所述第二子座，所述第二永磁体及所述第三永磁体正对于所述第一子座。

9、其中，所述第一永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第一磁性，所述第二永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第一磁性，所述第三永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第二磁性，所述第四永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第二磁性，所述第二磁性与所述第一磁性相反。

10、其中，所述第二底座在背离所述第一底座的一侧具有相对设置的第一凸出部及第二凸出部，所述第一凸出部邻近于所述第二底座的边侧设置，所述第二凸出部邻近于所述第二底座的另一边侧设置。

11、其中，所述承载板还具有开口，所述开口连通于所述第一通孔，且所述承载板具有第一抵持部及第二抵持部，所述第一抵持部及所述第二抵持部设置于所述开口的两侧，所述旋转盘还包括旋转手柄，所述旋转手柄至少部分收容于所述开口内，当所述磁性开关转动至第一转动位置时，所述旋转手柄抵持于所述第一抵持部，当所述磁性开关转动至第二转动位置时，所述旋转手柄抵持于所述第二抵持部。

12、其中，所述承载板为非磁性承载板，所述旋转盘为非磁性转盘。

13、其中，所述第一底座为磁性座体，所述第一子座为磁性座体，所述第二子座为磁性座体。

14、其中，所述第一底座具有第三通孔，所述第二底座具有第四通孔，所述承载板还具有第五通孔，所述探针座还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述第三通孔、第四通孔及第五通孔，并将所述第一底座、所述第二底座及所述承载板进行固定。

15、第二方面，本申请提供了一种探针台，所述探针台包括探针臂、平台及所述探针座，所述探针座的一侧固定所述探针臂，所述探针座的另一侧承载于所述平台。所述探针座包括第一底座、第二底座及磁性吸座，所述磁性吸座包括承载板及磁性开关，当所述磁性开关转动至第一转动位置时，使得所述探针座可以通过磁力作用牢固地吸附于所述探针台的平台，从而避免所述探针座发生抖动而影响所述探针的位置，且可以避免所述探针抖动而损坏晶圆和影响测试数据，进而保障所述探针台的测试精度及可靠性，当所述磁性开关转动至第二转动位置时，所述磁性开关可以进行快速地退磁，使得所述探针座不再吸附于所述探针台的平台，从而可以快速地调整所述探针座在所述平台上的位置，进而有效提升所述探针台的测试效率。

技术特征：

1.一种探针座，其特征在于，所述探针座应用于探针台中，所述探针座包括：

2.如权利要求1所述的探针座，其特征在于，所述磁性开关包括旋转盘及永磁组件，所述旋转盘的外周缘抵接于所述承载板，所述旋转盘具有第二通孔，所述第二通孔沿所述第一方向贯穿于所述旋转盘，所述永磁组件收容于所述第二通孔内，当所述磁性开关转动至所述第一转动位置时，所述永磁组件产生磁场，当所述磁性开关转动至所述第二转动位置时，所述永磁组件进行退磁。

3.如权利要求2所述的探针座，其特征在于，所述旋转盘具有至少四个第二通孔，所述永磁组件包括第一永磁体、第二永磁体、第三永磁体及第四永磁体，所述第一永磁体、第二永磁体、第三永磁体及第四永磁体分别收容于不同的所述第二通孔内；

4.如权利要求3所述的探针座，其特征在于，所述第一永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第一磁性，所述第二永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第一磁性，所述第三永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第二磁性，所述第四永磁体在邻近所述第一底座的一端具有第二磁性，所述第二磁性与所述第一磁性相反。

5.如权利要求1所述的探针座，其特征在于，所述第二底座在背离所述第一底座的一侧具有相对设置的第一凸出部及第二凸出部，所述第一凸出部邻近于所述第二底座的边侧设置，所述第二凸出部邻近于所述第二底座的另一边侧设置。

6.如权利要求2所述的探针座，其特征在于，所述承载板还具有开口，所述开口连通于所述第一通孔，且所述承载板具有第一抵持部及第二抵持部，所述第一抵持部及所述第二抵持部设置于所述开口的两侧，所述旋转盘还包括旋转手柄，所述旋转手柄至少部分收容于所述开口内，当所述磁性开关转动至第一转动位置时，所述旋转手柄抵持于所述第一抵持部，当所述磁性开关转动至第二转动位置时，所述旋转手柄抵持于所述第二抵持部。

7.如权利要求2所述的探针座，其特征在于，所述承载板为非磁性承载板，所述旋转盘为非磁性转盘。

8.如权利要求3所述的探针座，其特征在于，所述第一底座为磁性座体，所述第一子座为磁性座体，所述第二子座为磁性座体。

9.如权利要求1所述的探针座，其特征在于，所述第一底座具有第三通孔，所述第二底座具有第四通孔，所述承载板还具有第五通孔，所述探针座还包括紧固件，所述紧固件穿设于所述第三通孔、第四通孔及第五通孔，并将所述第一底座、所述第二底座及所述承载板进行固定。

10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括探针臂、平台及如权利要求1～9任意一项所述的探针座，所述探针座的一侧固定所述探针臂，所述探针座的另一侧承载于所述平台。

技术总结本申请提供一种探针座及探针台。探针座应用于探针台中，探针座包括：第一底座，第一底座用于固定探针台的探针臂；第二底座，第二底座设置于第一底座的一侧，第二底座用于承载于探针台的平台；及磁性吸座，磁性吸座夹设于第一底座及第二底座之间，磁性吸座包括承载板及磁性开关，承载板具有第一通孔，磁性开关收容于第一通孔内，且磁性开关能够沿第二方向进行转动，第二方向垂直于第一方向，当磁性开关转动至第一转动位置时，探针座吸附于平台，当磁性开关转动至第二转动位置时，探针座分离于平台。探针座可以避免发生抖动，保障探针台的测试精度及可靠性，且磁性开关可以快速地退磁，进而提升探针台的测试效率。技术研发人员：欧晓永受保护的技术使用者：深圳市森美协尔科技有限公司技术研发日：20231102技术公布日：2024/7/23