掩模版粉盒开启器的制作方法

本公开总体上涉及光刻工艺，更具体地，涉及提供掩模版(reticle)粉盒(compactbox)开启器的设备、系统和方法。

背景技术：

1、掩模版(也称为分划板或掩模版片)是构建到例如光刻透镜中以提供参考标记的图案。半导体光刻需要处理这种通常由玻璃形成的掩模版，以便产生半导体芯片图案所基于的纳米级图案。

2、掩模版的安全存储和处理通常涉及“粉盒”(cb)运输容器，其中容纳一个掩模版。当使用洁净室规范和方法时，在洁净室中手动操作cb通常是安全的，打开cb以移除或更换掩模版最好在洁净室本身内部的机器人工作单元内进行操作，优选地在洁净室环境中进行单独控制。掩模版的自动处理使掩模版的污染保持在绝对最小值，这是有效半导体制造的必要性。然而，工业标准cb运输和存储容器的设计不是在考虑自动化作为掩模版搬运的主要考虑因素时做出的，因此，关于cb或掩模版，存在非常少的适于实现自动化的特征。

3、尽管缺乏自动化实现特征，但是使用cb用于存储掩模版和简化掩模版处理是有效且经济的，至少因为cb的这种使用避免了掩模版额外的、单独的和不必要的转移并到达工作单元环境中。因此，需要一种自动或半自动cb开启器和掩模版夹持使能系统。

技术实现思路

1、实施方式提供了一种用于粉盒开启器的设备、系统和方法，该粉盒开启器适于与工作单元中的抽屉相关联，并且能够打开其中容纳有掩模版的粉盒。实施方式提供：流通板；多个定位引导件，所述多个定位引导件在所述流通板上，所述多个定位引导件适于与所述粉盒的基座上的引导件配合；多个真空端口，所述多个真空端口在所述多个定位引导件上，能够将所述引导件保持在所述基座上；开盖臂，所述开盖臂在其一端处具有吸盘，其中所述吸盘能够抓持所述粉盒的盖，并且通过所述开盖臂的致动来打开所述盖；旋转致动臂，所述旋转致动臂被升高以在所述抽屉内在所述粉盒的边缘上方进行初始致动，并且当被致动时，所述旋转致动臂使所述旋转致动臂中的每一个的端部处的夹爪向内旋转越过所述边缘并且向下旋转至低于所述掩模版的下平面的高度；以及至少一个成角度的凹口，所述至少一个成角度的凹口在每个所述夹爪中，适于夹持所述掩模版的圆角边缘。一旦所述掩模版的圆角边缘通过所述夹爪的向内运动而被夹持，所述夹爪就被升高，同时所述掩模版保持被夹持，直到所述掩模版处于完全在所述边缘上方的第二高度。

2、因此，实施方式提供了自动或半自动的粉盒开启器和掩模版夹持使能系统。

技术特征：

1.一种粉盒开启器，所述粉盒开启器适于与工作单元中的抽屉相关联，并且能够打开其中容纳有掩模版的粉盒，所述粉盒开启器包括：

2.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，所述流通板提供通过其的真空流，以减少所述掩模版附近的颗粒。

3.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，所述真空端口位于所述定位引导件的基座处。

4.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，所述定位引导件使用匹配角度与所述基座上的所述引导件配合。

5.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，每个所述真空端口对应一个所述定位引导件。

6.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，多个所述真空端口对应一个所述定位引导件。

7.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括至少一个传感器，所述至少一个传感器在所述抽屉上，所述至少一个传感器能够感测所述粉盒以便通知工作单元操作员的决定。

8.根据权利要求7所述的粉盒开启器，其中，所述工作单元操作员是手动的。

9.根据权利要求7所述的粉盒开启器，其中，所述至少一个传感器包括用于指示所述抽屉何时完全打开的打开开关。

10.根据权利要求7所述的粉盒开启器，其中，所述至少一个传感器包括指示所述粉盒何时未被所述真空端口夹持的开路传感器。

11.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括状态灯，所述状态灯在所述抽屉上，用于指示所述粉盒开启器的状态。

12.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，存在两个所述旋转致动臂。

13.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括竖直致动器，所述竖直致动器至少部分地能够升高所述旋转致动臂。

14.根据权利要求1所述的粉盒开启器，其中，所述多个定位引导件的数量为四个，并且靠近所述流通板的角部。

15.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括凸轮闩锁开启器，所述凸轮闩锁开启器能够打开在所述粉盒的前部处的手动闩锁。

16.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括锁芯，所述锁芯能够锁定至少所述抽屉和所述旋转致动臂。

17.根据权利要求16所述的粉盒开启器，还包括安全联锁开关，所述安全联锁开关能够在断电时或在所述工作单元的位置发生显著的陀螺变化时致动所述锁芯。

18.根据权利要求1所述的粉盒开启器，还包括横向滑动件，所述横向滑动件能够在所述臂被升高时改变所述臂之间的距离。

19.根据权利要求13所述的粉盒开启器，所述竖直致动器包括竖直背板和一个或多个致动器。

20.根据权利要求19所述的粉盒开启器，其中，所述致动器包括凸轮或活塞中的一个。

技术总结粉盒开启器，适于打开其中容纳有掩模版的粉盒，包括：流通板；在流通板上的多个定位引导件，适于与粉盒基座上的引导件配合；在多个定位引导件上的多个真空端口，能将引导件保持在基座上；开盖臂，在其一端处具有吸盘，吸盘能抓持粉盒的盖并通过开盖臂的致动打开盖；旋转致动臂，被升高以在抽屉内在粉盒的边缘上方进行初始致动，并且当被致动时旋转致动臂使每一个旋转致动臂的端部处的夹爪向内旋转越过边缘并向下旋转至低于掩模版的下平面的高度；以及在每个夹爪中的至少一个成角度的凹口，适于夹持掩模版的圆角边缘。一旦掩模版的圆角边缘通过夹爪的向内运动被夹持夹爪就被升高，同时掩模版保持被夹持直到掩模版处于完全在边缘上方的第二高度。技术研发人员：J·鲍斯布姆受保护的技术使用者：捷普有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2