压力控制设备和包括该压力控制设备的衬底处理装置的制作方法

本公开涉及一种压力控制设备以及包括该压力控制设备的衬底处理装置。

背景技术：

1、设置在喷墨头中的喷墨嘴将数纳克至数十纳克的微细液滴喷射到衬底上，以形成具有几微米厚度的薄膜。因此，需要精确地控制喷射的油墨的量，以制造显示器或半导体工艺所需质量的薄膜。

2、此处，对喷墨嘴施加负压以精确地控制油墨喷射量。因此，油墨的一端可能会凹入到喷嘴中，这被称为弯液面。

3、弯液面的状态根据连接到喷墨头的贮存器(或油墨罐)的内部气动状态而变化。因此，必须精确地控制贮存器的内部气压，以保持弯液面的状态稳定，并精确地控制喷射量。

技术实现思路

1、本公开的多个方面提供了一种用于稳定地控制贮存器的内部气压的压力控制设备。

2、本公开的多个方面还提供了一种包括该压力控制设备的衬底处理装置。

3、然而，本公开的多个方面不限于本文阐述的内容。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的上述和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员而言将变得更加清楚。

4、根据本公开的一方面，提供了一种压力控制设备，包括：输入端子，接收源气压；进气阀，连接在输入端子和输出端子之间；排气阀，连接到输出端子；压力传感器，连接到输出端子，并通过感测输出端子处的压力产生感测值；以及控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作进气阀和排气阀，其中第一控制回路通过将感测值与第一目标值进行比较来调整进气阀的打开程度，第二控制回路通过将感测值与第二目标值进行比较来调整排气阀的打开程度。

5、根据本公开的另一方面，提供了一种压力控制设备，包括：负压产生模块，接收源负压，并通过第一进气阀和第一排气阀的操作产生过程负压；正压产生模块，接收源正压，并通过第二进气阀和第二排气阀的操作产生过程正压；以及切换模块，选择性地向目标提供过程负压或过程正压，其中，负压产生模块包括：第一输入端子，接收源负压；第一进气阀，连接在第一输入端子和第一输出端子之间；第一排气阀，连接到第一输出端子；第一压力传感器，连接到第一输出端子，并通过感测第一输出端子处的压力来产生第一感测值；以及控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作第一进气阀和第一排气阀，其中第一控制回路通过将第一感测值与第一目标值进行比较来调整第一进气阀的打开程度，第二控制回路通过将第一感测值与第二目标值进行比较来调整第一排气阀的打开程度。

6、根据本公开的一方面，提供了一种衬底处理装置，包括：喷墨头；贮存器，存储油墨，向喷墨头提供油墨，并选择性地接收过程负压或过程正压；以及压力控制设备，选择性地向贮存器提供过程负压或过程正压，其中压力控制设备包括：负压产生模块，接收源负压，并通过第一进气阀和第一排气阀的操作来产生用于控制喷墨头的弯液面的过程负压；正压产生模块，接收源正压，并通过第二进气阀和第二排气阀的操作来产生用于喷墨头的维护的过程正压；以及切换模块，选择性地向目标提供过程负压或过程正压，其中，负压产生模块包括：第一输入端子，接收源负压；第一进气阀，连接在第一输入端子和第一输出端子之间；第一排气阀，连接到第一输出端子；第一压力传感器，连接到第一输出端子，并通过感测第一输出端子处的压力来产生第一感测值；以及第一控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作第一进气阀和第一排气阀，其中第一控制回路通过将第一感测值与第一目标值进行比较来调整第一进气阀的打开程度，第二控制回路通过将第一感测值与第一目标值进行比较来调整第一排气阀的打开程度，并且，正压产生模块包括：第二输入端子，接收源正压；第二进气阀，连接在第二输入端子和第二输出端子之间；第二排气阀，连接到第二输出端子；第二压力传感器，连接到第二输出端子，并通过感测第二输出端子处的压力来产生第二感测值；以及第二控制器，通过同时操作第三控制回路和第四控制回路来同时操作第二进气阀和第二排气阀，其中第三控制回路通过将第二感测值与第二目标值进行比较来调整第二进气阀的打开程度，第四控制回路通过将第二感测值与第二目标值进行比较来调整第二排气阀的打开程度。

技术特征：

1.一种压力控制设备，包括：

2.根据权利要求1所述的压力控制设备，其中，所述第一控制回路在所述感测值小于所述第一目标值时增加所述进气阀的打开程度，并且在所述感测值大于所述第一目标值时减小所述进气阀的打开程度。

3.根据权利要求2所述的压力控制设备，其中，所述第二控制回路在所述感测值小于所述第二目标值时减小所述排气阀的打开程度，并且在所述感测值大于所述第二目标值时增加所述排气阀的打开程度。

4.根据权利要求3所述的压力控制设备，其中，所述第一目标值和所述第二目标值彼此相等。

5.根据权利要求1所述的压力控制设备，其中，所述第一控制回路的第一控制操作的次数与所述第二控制回路的第二控制操作的次数彼此不同。

6.根据权利要求5所述的压力控制设备，其中，在所述第一控制回路运行一次的同时，所述第二控制回路运行多次。

7.根据权利要求1所述的压力控制设备，其中，所述控制器仅在所述进气阀的工作范围内控制所述进气阀的打开程度。

8.根据权利要求1所述的压力控制设备，其中，所述控制器仅在所述排气阀的工作范围内控制所述排气阀的打开程度。

9.根据权利要求1所述的压力控制设备，还包括：

10.根据权利要求9所述的压力控制设备，其中，所述控制器通过基于由所述压力测量设备测量的压力校正从所述压力传感器接收的所述感测值，来产生校正后的感测值。

11.一种压力控制设备，包括：

12.根据权利要求11所述的压力控制设备，其中，所述目标是连接到喷墨头的贮存器。

13.根据权利要求12所述的压力控制设备，其中，所述负压产生模块产生所述过程负压以控制所述喷墨头的弯液面，并且所述正压产生模块产生所述过程正压用于所述喷墨头的维护。

14.根据权利要求11所述的压力控制设备，其中，所述切换模块包括：

15.根据权利要求14所述的压力控制设备，其中，所述切换模块还包括：放气阀，连接到所述第三输出端子，并在打开所述第一切换阀和打开所述第二切换阀之间操作。

16.根据权利要求11所述的压力控制设备，其中，所述正压产生模块包括：

17.一种衬底处理装置，包括：

18.根据权利要求17所述的衬底处理装置，其中，所述切换模块包括：

19.根据权利要求18所述的衬底处理装置，其中，所述切换模块还包括：放气阀，连接到所述第三输出端子，并在打开所述第一切换阀和打开所述第二切换阀之间操作。

20.根据权利要求17所述的衬底处理装置，其中，所述第一控制器仅在所述第一进气阀的工作范围内或所述第一排气阀的工作范围内控制所述第一进气阀或所述第一排气阀。

技术总结提供了一种用于稳定地控制贮存器的内部气压的压力控制设备。该压力控制设备包括：输入端子，接收源气压；进气阀，连接在输入端子和输出端子之间；排气阀，连接到输出端子；压力传感器，连接到输出端子，并通过感测输出端子处的压力产生感测值；以及控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作进气阀和排气阀，其中第一控制回路通过将感测值与第一目标值进行比较来调整进气阀的打开程度，第二控制回路通过将感测值与第二目标值进行比较来调整排气阀的打开程度。技术研发人员：李东和,尹大建,崔峰满,元钟锡,赵亨濬受保护的技术使用者：细美事有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/30