检测具有接合到控制管芯的存储器管芯的存储器设备中的位线断路和短路的制作方法

背景技术：

1、本技术涉及存储器设备的操作。

2、半导体存储器设备已经变得越来越普遍用于各种电子设备。例如，非易失性半导体存储器用于蜂窝电话、数字相机、个人数字助理、移动计算设备、非移动计算设备以及其他设备。

3、电荷存储材料(诸如浮栅)或电荷俘获材料可以用于此类存储器设备中以存储表示数据状态的电荷。电荷俘获材料可以被垂直布置在三维(3d)堆叠的存储器结构中，或者被水平布置在二维(2d)存储器结构中。3d存储器结构的一个示例是位成本可扩展(bics)体系结构，该体系结构包括交替的导电层和介电层的堆叠。

4、存储器设备包括存储器单元，这些存储器单元可被串联布置成nand串，例如，其中选择栅极晶体管设置在nand串的末端处以选择性地将nand串的沟道连接到源极线或位线。然而，这样的存储器设备存在各种挑战。

技术实现思路

技术特征：

1.一种装置，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其中：

3.根据权利要求2所述的装置，其中：

4.根据权利要求1所述的装置，其中：

5.根据权利要求4所述的装置，其中：

6.根据权利要求1所述的装置，其中为了检测所述控制管芯的所述一组位线中的选定偶数位线中的短路，连接到所述选定偶数位线的感测电路被配置为：

7.根据权利要求6所述的装置，其中：

8.根据权利要求6所述的装置，其中：

9.根据权利要求6所述的装置，其中为了检测所述控制管芯的所述一组位线中的与所述选定偶数位线相邻的选定奇数位线中的短路，连接到所述选定奇数位线的感测电路被配置为：

10.根据权利要求6所述的装置，其中为了检测所述存储器管芯的所述一组位线中的选定偶数位线中的短路，连接到所述控制管芯的对应偶数位线的感测电路被配置为：

11.根据权利要求1所述的装置，其中为了检测所述存储器管芯的所述一组位线中的选定偶数位线中的短路，连接到所述控制管芯的对应偶数位线的感测电路被配置为：

12.一种方法，所述方法包括：

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述一组存储块包括nand串，所述方法还包括：

14.根据权利要求12所述的方法，其中：

15.根据权利要求12所述的方法，其中：

16.一种装置，所述装置包括：

17.根据权利要求16所述的装置，其中：

18.根据权利要求16所述的装置，所述装置还包括：

19.根据权利要求18所述的装置，所述装置还包括：

20.根据权利要求18所述的装置，所述装置还包括：

技术总结提出了用于检测存储器设备中的位线断路和短路的装置和技术，在该存储器设备中，存储器管芯被反转并接合到控制管芯。在一种方法中，该控制管芯包括连接到该存储器管芯的一组位线的一组位线，并且该控制管芯的该组位线包括接地晶体管，例如连接到接地节点的晶体管。偶数位线的接地晶体管可被共同控制，而奇数位线的接地晶体管被共同控制。可控制这些接地晶体管，以检测该控制管芯和该存储器管芯的这些位线中的断路和短路。还可使用激光扫描技术来确定位线缺陷的物理位置。技术研发人员：B·墨菲受保护的技术使用者：桑迪士克科技有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/2/29